Pengenalan:
Peralatan ini telah dipadatkan saiznya, mengekalkan rongga keluli tahan karat vakum tinggi sambil mempermudah mekanisme lain, sehingga menghadkan saiz luaran peralatan kepada tahap meja kerja, dengan ketara mengurangkan keperluan tapak pemasangan. Peralatan ini dilengkapi dengan bekalan kuasa DC dan bekalan kuasa RF. Sumber sasaran DC boleh digunakan untuk penyemburan logam dan bahan konduktif lain, manakala bekalan kuasa RF boleh digunakan untuk penyemburan pelbagai bukan-logam dan oksida logam. Sistem vakum peralatan ini menggunakan pam vakum yang sepenuhnya diimport dengan kelajuan penghisapan yang pantas, tahap vakum akhir yang tinggi, serta prestasi vakum yang sangat baik. Peralatan ini mempunyai struktur yang padat, fungsi yang lengkap, dan mudah digunakan, menjadikannya sangat sesuai untuk pelbagai ujian pelapisan.
Permohonan:
Ia boleh digunakan untuk penyediaan lapisan nipis logam, bidang elektronik, bidang optik, seramik khas, dan sebagainya. Ia juga boleh digunakan untuk penyediaan sampel makmal bagi analisis SEM.