





|
Sumber plasma
|
RF+BIAS
|
||
|
Kuasa
|
1000W
|
1000W
|
|
|
600W
|
600W
|
||
|
Bidang Kepantasan
|
4-8 inci
|
||
|
Bilangan irisan pemprosesan tunggal
|
satu
|
||
|
Dimensi penampilan
|
1140mm x 1050mm x 1620mm
|
||
|
Kawalan sistem
|
Sistem kawalan perindustrian
|
||
|
Tahap Automasi
|
Manual
|
||








Hak Cipta © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Semua Hak Dilindungi