Sistem CMP Ketepatan

MDAM-CMP100 /MDAM-CMP150

Sistem CMP Ketepatan

Gambaran keseluruhan peralatan:

Sistem CMP ketepatan digunakan terutamanya untuk penggilapan dan penipisan cip semikonduktor utama seperti silikon, silikon dioksida dan cip satah fokus antimonida indium, serta penggilapan mekanikal kimia pada bahagian bawah, permukaan dan hujung muka.

Keseluruhan jentera dan semua komponen peralatan sepenuhnya tahan kakisan, dan parameter proses boleh ditetapkan melalui antara muka interaktif skrin sentuh.

Saiz sampel yang boleh diproses:

Saiz sampel ≤152 mm/6 inci

Ketebalan yang boleh dimesin ialah 50 μm ~ 10 mm

Indikator proses yang boleh dicapai:

1. Sisihan ketebalan keseluruhan (TTV) bagi wafer φ75 mm berada dalam lingkungan 2 μm;

2. Sisihan ketebalan keseluruhan (TTV) bagi wafer φ100 mm berada dalam lingkungan 3 μm;

3. Sisihan ketebalan keseluruhan (TTV) bagi wafer φ150 mm berada dalam lingkungan 4 μm.

Jenis sampel yang boleh diproses:

Silikon, silikon karbida, berlian, seramik, galium nitrida, kuarsa, galium antimonida, indium fosfida, galium arsenida, kadmium zink telurida, merkuri kadmium telurida, litium niobat dan bahan semikonduktor lain.

Ciri-ciri Peralatan:

1. Mencapai fungsi pengesanan titik akhir untuk mengawal ketebalan sampel.

2. Fungsi kawalan suhu dan penyejukan plat penggilap dan pengpolis secara dalam talian dan masa nyata.

3. Sistem penyuapan berbilang saluran.

4. Fungsi pembilasan automatik plat penggilap dan pengpolis.

5. Fungsi pembaikan plat automatik.

6. Penyepit dilengkapi dengan jadual pemantauan ketebalan digital dengan ketepatan pemantauan 0.1 μm.

Parameter teknikal:

Konfigurasi Peranti:

Soalan Lazim

1. Mengenai Harga:

Semua harga kami bersaing dan boleh diperundingkan. Harga berbeza-beza bergantung kepada konfigurasi dan kekompleksan penyesuaian peranti anda.

2. Mengenai Sampel:

Kami boleh memberi perkhidmatan pengeluaran sampel untuk anda, tetapi anda mungkin perlu membayar beberapa yuran.

3. Mengenai Pembayaran:

Setelah rancangan disahkan, anda perlu membayar deposit kepada kami terlebih dahulu, dan kilang akan mula menyediakan barangan. Setelah peralatan sedia dan anda membayar baki, kami akan menghantarnya.

4. Mengenai Penghantaran:

Setelah pembuatan peralatan selesai, kami akan menghantar video pemeriksaan kepada anda, dan anda juga boleh datang ke lokasi untuk memeriksa peralatan tersebut.

5. Pemasangan dan Penyelarasan:

Setelah peralatan tiba di kilang anda, kami boleh menghantar jurutera untuk memasang dan menyelaras peralatan. Kami akan memberikan penawaran terpisah untuk bayaran perkhidmatan ini.

6. Mengenai Jaminan:

Peralatan kami mempunyai tempoh jaminan 12 bulan. Selepas tempoh jaminan tamat, jika sebarang bahagian rosak dan perlu diganti, kami hanya akan mengenakan harga kos.

7. Perkhidmatan Selepas Jualan:

Semua mesin mempunyai tempoh jaminan lebih daripada satu tahun. Jurutera teknikal kami sentiasa dalam talian untuk menyediakan perkhidmatan pemasangan, penyahpepijatan, dan penyelenggaraan peralatan kepada anda. Kami boleh menyediakan perkhidmatan pemasangan dan penyahpepijatan di tapak bagi peralatan khusus dan berskala besar.