Model: MDST-6100
Penghabu plasma kering ICP sesuai untuk aplikasi seperti penyingkiran sisa (rawatan awal dan penyingkiran sisa), penyingkiran polimer (PI, BCB, PBO), dan penyingkiran fotorezist selepas implan ion; ruang proses mampu menampung sampel berdiameter 8 inci (dengan keserasian untuk saiz 4 inci dan 6 inci).
Pelepas Fotorezist Plasma Kering ICP
Penghabu plasma kering ICP sesuai untuk aplikasi seperti penyingkiran sisa (rawatan awal dan penyingkiran sisa), penyingkiran polimer (PI, BCB, PBO), dan penyingkiran fotorezist selepas implan ion; ruang proses mampu menampung sampel berdiameter 8 inci (dengan keserasian untuk saiz 4 inci dan 6 inci).
Rupa peralatan ini tertakluk kepada peningkatan dan pelarasan berterusan; produk sebenar yang dihantar akan menjadi rujukan utama.
Kelebihan:
Tahap pengionan plasma dan penguraian yang tinggi
Selepas rawatan plasma, kebolehulangan adalah tinggi
Etsa kering, tiada sumber pencemaran
Kawalan tekanan dan suhu melalui injap kupu-kupu
Boleh mengekalkan plasma pada tekanan tinggi
Pemisahan Sumber Voltan Tinggi dan Penjana Ion
Sambungan gelombang mikro dan litar magnet adalah serasi
Boleh memenuhi keperluan pelanggan
Suhu rendah semasa proses
Kelajuan tindak balas pantas dan masa tindak balas pendek
Model |
MDST6100 |
Sumber plasma |
frekuensi radio |
kuasa |
1000W |
SKOP PERMOHONAN |
8 inci (serasi dengan 4 atau 6 inci) |
Saiz kotak |
25 keping |
Dimensi keseluruhan |
L1696xL2170xT2146 mm |
Kawalan sistem |
PLC |
Sistem kotak bahan |
Automatik |
Gambar Sebenar Peralatan:
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Hak Cipta © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Semua Hak Dilindungi
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
