

projek |
Spesifikasi |
komen |
||
1 |
Gambaran Peralatan |
Nama peralatan: Mesin pembangunan lem seragam penuh automatik |
||
Model peralatan: MD-2C2D6 |
||||
Spesifikasi wafer pengilangan: sesuai dengan wafer piawai 4/6 inci |
||||
Aliran proses lem seragam: Pemotongan bakul bunga → penjajaran pusat → lem seragam (menetes → lem seragam → pengeluaran tepi, belakang pencucian) → pelat panas → pelat sejuk → penempatan bakul Aliran proses pembangunan: Pemotongan bakul bunga → penjajaran pusat → pembangunan (cairan pembangunan → air terion, pencucian belakang → penyusakan nitrogen) → pelat panas → pelat sejuk → penempatan bakul |
||||
Saiz keseluruhan (kira-kira): 2100mm (L) * 1800mm (D) * 2100mm (T) |
||||
Saiz kabinet kimia (kira-kira): 1700(L) * 800(D) * 1600mm (T) |
||||
Jumlah berat (kira-kira): 1000kg |
||||
Ketinggian meja kerja: 1020 ± 50mm |
||||
2 |
Unit kaset |
Kuantiti: 2 |
||
Saiz yang sesuai: 4/6 inci |
||||
Pengesanan kaset: pengesan mikro |
||||
Pengesanan keluaran: Ya, pengesan pantulan |
||||
3 |
robot |
Kuantiti: 1 |
||
Jenis: Robot hisapan vakum dua lengan |
||||
Darjah kebebasan: 4-paksi (R1, R2, Z, T) |
||||
Bahan jari: seramik |
||||
Kaedah pemelekatan substrat: kaedah penyerapan vakum |
||||
Fungsi pemetaan: Ya |
||||
Ketepatan penempatan: ± 0.1mm |
||||
4 |
Unit penengahan |
Jumlah: 1 set |
Penjajaran optik pilihan |
|
Kaedah penjajaran: penjajaran mekanikal |
||||
Ketepatan penengahan: ± 0.2mm |
||||
5 |
Unit lem seragam |
Kuantiti: 2 set (berikut adalah konfigurasi untuk setiap unit) |
||
Kelajuan putaran poros: -5000rpm hingga 5000rpm |
pemegang pemalas |
|||
Ketepatan putaran poros: ± 1rpm (50rpm~5000rpm) |
||||
Penyesuaian minimum laju putaran poros: 1rpm |
||||
Pecutan maksimum poros putaran: 20000rpm/s |
pemegang pemalas |
|||
Lengan penyedot: 1 set |
||||
Laluan paip fotoresisten: 2 laluan |
||||
Diameter penyumbat fotoresisten: 2.5mm |
||||
Insulasi fotoresisten: 23 ± 0.5 ℃ |
pilihan |
|||
Penyumbat pelembap: Ya |
||||
RRC: Ya |
||||
Buffer: Ya, 200ml |
||||
Kaedah pemeletakan lem: pemeletakan pusat dan pemeletakan pemindaian adalah pilihan |
||||
Lengan pengalihan tepi: 1 set |
||||
Diameter penyemprot pengalihan tepi: 0.2mm |
||||
Pemantauan aliran cecair pengalihan tepi: pemeter apung |
||||
Julat aliran cecair pengalihan tepi: 5-50ml/minit |
||||
Paip balik cucuk: 2 cara (4/6 inci setiap satu dengan 1 saluran) |
||||
Pemantauan aliran balik cucuk: pemeter apung |
||||
Julat aliran cecair balik cucuk: 20-200ml/minit |
||||
Kaedah pengetapan cip: penyerapan vakum kawasan kecil Chuck |
||||
Alarm tekanan vakum: sensor tekanan vakum digital |
||||
Bahan Chuck: PPS |
||||
Bahan cawan: PP |
||||
Pemantauan pelepasan cawan: sensor tekanan digital |
||||
6 |
Unit membangun |
Ketupat: ada |
||
Kuantiti: 2 set (berikut adalah konfigurasi untuk setiap unit) |
||||
Kelajuan putaran poros: -5000rpm hingga 5000rpm |
pemegang pemalas |
|||
Ketepatan putaran poros: ± 1rpm (50rpm~5000rpm) |
||||
Penyesuaian minimum laju putaran poros: 1rpm |
||||
Pecutan maksimum poros putaran: 20000rpm/s |
pemegang pemalas |
|||
Lengan membangun: 1 set |
||||
Paip membangun: 2-arat (penyemprot berbentuk kipas/pillar) |
||||
Penapisan pembangun: 0.2um |
||||
Kawalan suhu pembangun: 23 ± 0.5 ℃ |
pilihan |
|||
Julat aliran penyelesaian pembangunan: 100~1000ml/minit |
||||
Mod gerakan lengan pembangunan: titik tetap atau skenning |
||||
Lengan pemanasan: 1 set |
||||
Paip air terdeion: 1 litar |
||||
Diameter penyemprot air terdeion: 4mm (diameter dalaman) |
||||
Julat aliran air terdeion: 100~1000ml/minit |
||||
Paip pengeringan nitrogen: 1 litar |
||||
Diameter penyemprot nitrogen: 4mm (diameter dalaman) |
||||
Julat aliran nitrogen: 5-50L/minit |
||||
Pemantauan aliran pembangun, air terdeion, nitrogen: pemeter aliran float |
||||
Paip balik cucuk: 2 cara (4/6 inci setiap satu dengan 1 saluran) |
||||
Pemantauan aliran balik cucuk: pemeter apung |
||||
Julat aliran cecair balik cucuk: 20-200ml/minit |
||||
Kaedah pengetapan cip: penyerapan vakum kawasan kecil Chuck |
||||
Alarm tekanan vakum: sensor tekanan vakum digital |
||||
Bahan Chuck: PPS |
||||
Bahan Chuck: PPS |
||||
Bahan cawan: PP |
||||
Pemantauan pelepasan cawan: sensor tekanan digital |
||||
7 |
Unit Tackifying |
Kuantiti: 2 |
pilihan |
|
Julat suhu: suhu bilik~180 ℃ |
||||
Ketepatan suhu: Suhu bilik~120 ℃± 0.75 ℃ 120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ (Buang 10mm dari tepi, kecuali lubang pankal ejektor) |
||||
Jumlah penyesuaian minimum: 0.1 ° C |
||||
Kaedah kawalan suhu: Penyesuaian PID |
||||
Julat ketinggian PIN: 0-20mm |
||||
Bahan PIN: badan SUS304, penutup PIN PI |
||||
Jarakan panggang: 0.2mm |
||||
Alarm suhu tinggi: alarm sisihan positif dan negatif |
||||
Kaedah pembekalan: Berbuih, 10 ± 2ml/minit |
||||
Vakum operasi bilik: -5-20KPa |
||||
8 |
Unit papan panas |
Kuantiti: 10 |
||
Julat suhu: suhu bilik~250 ℃ |
||||
Ketepatan suhu: Suhu bilik~120 ℃± 0.75 ℃ 120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃ (Buang 10mm dari tepi, kecuali lubang pankal ejektor) |
||||
Jumlah penyesuaian minimum: 0.1 ℃ |
||||
Kaedah kawalan suhu: Penyesuaian PID |
||||
Julat ketinggian PIN: 0-20mm |
||||
Bahan PIN: badan SUS304, penutup PIN PI |
||||
Jarakan panggang: 0.2mm |
||||
Alarm suhu tinggi: alarm sisihan positif dan negatif |
||||
9 |
Unit papan sejuk |
Kuantiti: 2 |
||
Julat suhu: 15-25 ℃ |
||||
Kaedah penyejukan: pom sirkulasi suhu malar |
||||
10 |
Pasokan Kimia |
Penyimpanan Photoresist: pom lem pneumatik * 4 set (Tangki pilihan atau pom lem elektrik) |
||
Isipadu penyusunan lem: maksimum 12ml setiap sesi, kejituan ± 0.2ml |
||||
Pembuang tepi/bilasan belakang/pasokan RRC: tangki tekanan 18L * 2 (penambahbaikan automatik) |
||||
Pemantauan paras cecair pembuang tepi/bilasan belakang/RRC: sensor fotoelektrik |
||||
Pemantauan paras cecair photoresist: sensor fotoelektrik |
||||
Pengeluaran cecair terbuang adhesif seragam: tangki terbuang 10L |
||||
Pasokan pengembang: tangki tekanan 18L * 4 (Disimpan di luar mesin dalam kabinet kimia) |
||||
Pasokan air air terion: pasokan terus dari kilang |
||||
Pembangunan pemantauan tahap cecair: sensor fotoelektrik |
||||
Pengeluaran sisa pembangunan: pengeluaran sisa kilang |
||||
Pasokan tackifier: tangki tekanan 10L * 1, tangki tekanan 2L * 1 |
||||
Pemantauan tahap tackifier: sensor fotoelektrik |
||||
11 |
sistem Kawalan |
Kaedah kawalan: PLC |
||
Antara muka operasi manusia mesin: skrin sentuh 17 inci |
||||
Sistem Penyediaan Kuasa Tanpa Putus (UPS): Ya |
||||
Tetapkan keizinan enkripsi untuk pengendali peranti, teknikawan, pentadbir |
||||
Jenis menara isyarat: merah, kuning, hijau 3 warna |
||||
12 |
Indikator kebolehpercayaan sistem |
Masa aktif: ≥95% |
||
MTBF: ≥ 500jam |
||||
MTTR: ≤ 4jam |
||||
MTBA: ≥24jam |
||||
Kadar pecahan: ≤ 1/10000 |
||||
13 |
Fungsi lain |
Lampu kuning: 4 set (kedudukan: di atas unit pencampuran lem dan pembangunan) |
||
THC: Ya, 22.5 ℃± 0.5 ℃, 45% ± 2% |
pilihan |
|||
FFU: Kelas 100, 5 set (kawasan unit proses dan ROBOT) |
||||
Hak Cipta © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Semua Hak Dilindungi