Mesin Etching Ion Tindak Balas Pemendapan Etching Bahan , China Mesin Etching Ion Tindak Balas Pemendapan Etching Bahan Manufacturers, Suppliers, Factory

Penerangan Produk

Mesin Reactive Ion Etching RIE

Aplikasi penyelidikan mesin Reactive Ion Etching (RIE) dalam pembuatan semikonduktor dan bidang pemprosesan mikro-nano terutamanya terdapat pada pemprosesan struktur berskala nano, pengetchan bahan baru, pembuatan peranti kompleks, dan kejayaan teknologi antara disiplin. Nilai terasnya terletak pada pencapaian pelepasan bahan yang berketepatan tinggi dan berpilihan tinggi melalui kawalan serentak bagi hentaman fizikal dan tindak balas kimia. Menyokong penerokaan teknologi semikonduktor terkini dan inovasi peranti.

Ciri-ciri Peralatan:

1. Ketepatan dan anisotropi tinggi: Boleh mengetch corak dengan dinding tepi yang tegak dan dimensi yang tepat.
2. Keseragaman dan kebolehulangan yang baik: sesuai untuk pengeluaran berskala besar.
3. Kebolehgunaan bahan yang luas: Dengan memilih kombinasi gas yang berbeza, pelbagai jenis bahan (semikonduktor, dielektrik, logam, dan lain-lain) boleh diutuh.
4. Nisbah pemilihan tinggi: Ia boleh mengutuh bahan tertentu secara tepat tanpa menyebabkan kerosakan yang ketara kepada bahan lain.
5. Pembersihan: Proses kering, mengelakkan masalah seperti pembersihan dan rawatan cecair sisa yang disebabkan oleh pengutuhan basah.

Spesifikasi

Konfigurasi Sistem:

Pemanasan Elektrik	Kamera (Sekat tunggal)
Pemanasan Elektrik		N/A
Jenis elektrod bawah	242mm
Julat suhu proses	-20-100°C
Sumber plasma	600W-1000W
Saiz tolok tekanan proses	100mtorr
Sistem vakum	Unit pam molekul, sistem pam kering, ruang proses
Bilangan ruang pengakis	Kaviti tunggal
Penjepit	TAIP	Saiz/mm	Bahan
Penjepit		N/A	8、6、4、3、2
Pengesan titik akhir	Pilihan
Plasma terikat induktif	Pilihan

Parameter Teknikal：

Bahan pemberesan	Si、Sio, Sin，Sau，Pt，Al
Kadar pengakis	>20nm/min (bahan Si02) Kadar bagi bahan berbeza adalah tidak sama
Kawalan teragih	>85°
Kaedah pemuatan	Muatan terbuka
Paip gas dikawal oleh MFC	Enam tangki gas sedia ada
Pilihan penyejukan belakang helium	Ya
Antaramuka Manusia-Mesin	Operasi skrin sentuh
Mod operasi	Mod automatik penuh, mod tidak automatik penuh
Pemilihan dan konfigurasi peranti automatik	Anda boleh memilih sama ada bahagian import atau tempatan

Kes Permohonan

Pembungkusan & Penghantaran

Profil Syarikat

Sejak 2014, Minder-Hightech adalah wakil jualan dan perkhidmatan dalam industri peralatan produk Semikonduktor dan Elektronik. Kami berazam untuk menyediakan pelanggan dengan Penyelesaian Terunggul, Boleh Percaya, dan Satu Henti untuk peralatan mesin. Sehingga kini, produk jenama kami telah tersebar ke kebanyakan negara industri utama di seluruh dunia, membantu pelanggan meningkatkan kecekapan, mengurangkan kos, dan meningkatkan kualiti produk.

Soalan Lazim

1. Mengenai Harga:
Semua harga kami bersaing dan boleh diperundingkan. Harga berbeza-beza bergantung kepada konfigurasi dan kekompleksan penyesuaian peranti anda.

2. Mengenai Sampel:
Kami boleh memberi perkhidmatan pengeluaran sampel untuk anda, tetapi anda mungkin perlu membayar beberapa yuran.

3. Mengenai Pembayaran:
Setelah rancangan disahkan, anda perlu membayar deposit kepada kami terlebih dahulu, dan kilang akan mula menyediakan barangan. Setelah peralatan sedia dan anda membayar baki, kami akan menghantarnya.

4. Mengenai Penghantaran:
Setelah pembuatan peralatan selesai, kami akan menghantar video pemeriksaan kepada anda, dan anda juga boleh datang ke lokasi untuk memeriksa peralatan tersebut.

5. Pemasangan dan Penyelarasan:
Setelah peralatan tiba di kilang anda, kami boleh menghantar jurutera untuk memasang dan menyelaras peralatan. Kami akan memberikan penawaran terpisah untuk bayaran perkhidmatan ini.

6. Mengenai Jaminan:
Peralatan kami mempunyai tempoh jaminan 12 bulan. Selepas tempoh jaminan tamat, jika sebarang bahagian rosak dan perlu diganti, kami hanya akan mengenakan harga kos.

7. Perkhidmatan Selepas Jualan:
Semua mesin mempunyai tempoh jaminan lebih daripada satu tahun. Jurutera teknikal kami sentiasa dalam talian untuk menyediakan perkhidmatan pemasangan, penyahpepijatan, dan penyelenggaraan peralatan kepada anda. Kami boleh menyediakan perkhidmatan pemasangan dan penyahpepijatan di tapak bagi peralatan khusus dan berskala besar.