גודל וויפר |
4”~ 8” ווופר |
עובי ווופר |
100~750 מיקרונים |
סוג ווופר |
Si, SiC, GaN או חומרים אחרים |
סוג סרט |
סרט כחול, סרט UV רוחב: 230 ~ 300 מ"מ אורך: 100 מטר עובי: 0.05 ~ 0.2 מ"מ |
טבעת נושא לחתיכות וויפר |
6", 8" DISCO |
שיטת טעינה והפרקה |
הצבה והסרה ידנית של וויפר/טבעת נושא |
דיוק מיקום הסרט |
±0.5mm לוחות קמח סטנדרטיים בגודל 6" ו-8" עבור קמחים בגודל 6" ו-8" |
משאבת ואקום |
Minder-Hightech |
בקרת אנטי-סטטית |
מזרק דהיאוניזציה |
יחידה שליטה |
בנימוס של בקרת PLC, עם מסך מגע בגודל 10" |
הגנהגנה מפני סכנות |
מתוכנן עם הגנה על ידי מסך אור ופתון עצירה חירום |
מתח אספקת כוח |
חד-פАЗי AC 220V, 16A |
אוויר מדחוס |
0.45~0.6MPa, שיעור זרימה 70L/דקה |
מיכל מכונה |
מיכל מתכת מוסך פלסטי בלבן |
כמות |
850mm (רוחב)*1750mm (עומק)*1970mm (גובה) |
משקל נטו |
480 ק"ג |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
כל הזכויות שמורות © לתאגיד Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. כל הזכויות שמורות
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
