מערכת חיתוך יון אקטיב RIE , China מערכת חיתוך יון אקטיב RIE Manufacturers, Suppliers, Factory

תיאור המוצר

חיתוך יוני פעיל (RIE)

חיתוך יוני פעיל (RIE) יכול לשמש להכנת מבנים מיקרו-ננו והוא אחת מטכנולוגיות תהלוכות ייצור חומרים סמישים. במהלך תהליך החיתוך RIE, חלקיקים פעילים שונים בפלזמה יוצרים מוצרים מתנדפים עם פני השטח של החומר. המוצרים הללו נלקחים מהשטח של החומר, ובסיום מתקבל חיתוך אניזוטרופי של המבנה המיקרוסקופי על פני השטח של החומר. סדרת מכשירי חיתוך יוני פעיל (RIE) מבוססת על טכנולוגיית פלזמה קפקרית מקושרת ומתאימה לחיתוך לפי דפוס של חומרים סיליקוניים כמו סיליקון חד-הכרystal, סיליקון רב-הכרystal, ניטריד סיליקון (SiNy), אוקסיד סיליקון (SiO), שיש (Quartz) וקרבייד סיליקון (SiC); ניתן להשתמש בה לחיתוך דפוסי והסרת שכבות של חומרים אורגניים כמו צבע מסך (PR), PMMAHDMS וחומרים אחרים; ניתן להשתמש בה לחיתוך פיזי של חומרים מתכתיים כמו ניקל (Ni), כרום (Cr) וחומרים קרמיים; ניתן להשתמש בה לחיתוך חומרים מסוג אינדום פוספיד (InP) בטמפרטורת חדר. עבור כמה מחיתוכים עם דרישות תהלוכתיות גבוהות יותר, גם חיתוך ICP RIE שלנו יכול לשמש.

הצורה הראשית:

1. תומך בגודל דגימה: 4, 8, 12 אינץ', תאימות עם מגוון דגימות קטנות, תומך בהתאמהORIZATION
2. טווח כוח פלזמה RF: 300/500/1000 ווט לפי בחירה;
3. מטוס מולקולרי: 620/1300 ליטר/שנה לפי בחירה, מטוס אנטי-קורוזיה לפי בחירה;
4. מטוס קדימוני: מטוס שמן מכני/מטוס יבש לפי בחירה;
5. שליטה בלחץ: 0 ~1 טורר אופציונלי; ניתן גם לבחור תצורה ללא שליטה בלחץ,
6. גז תהליך: ניתן להתקין עד 9 גזי תהליך בו זמנית; טמפרטורה: 10 מעלות ~ טמפרטורת החדר / -30 מעלות ~ טמפרטורת החדר / טווח טמפרטורה לפי בקשת הלקוח,
7. קירור helymCanBe מתוכנן בהתאם ל用途;
8. כיסוי נשלף למניעת זיהום;
9. מנגנון Load-lock אופציונלי;
10. מערכת שליטה אוטומטית מלאה בלחיצה על כפתור אחד;

质RIE חומרים מתאימים:

1. חומרי סיליקון: סיליקון (Si), דיאוקסיד סיליקון (SiO2), ניטריד סיליקון (SiNx), קרביד סיליקון (SiC)
2. חומרים ממשפחת III-V: פוספידי אינדיום (InP), ארסניד גליאום (GaAs), ניטריד גליאום (GaN)
3. חומרים ממשפחת II-VI: טלורייד קדמום (CdTe)
4. חומרים מגנטיים/חומרים מסגסוגת
5. חומרים מתכתיים: אלומיניום (AI), זהב (Au), טังסטן (W), טיטניום (Ti), טנטלום (Ta)
6. חומרים אורגניים: פוטורזיסט (PR), פולימר אורגני (PMMA/HDMS), אורג

ת Pebines קשורות ל-RIE:

1. חיתוך של חומרים מבוססי סיליקון, דפוסי ננוטביעות, דפוסי מערך ודפוסי עדשה;
2. חיתוך בטמפרטורת החדר של אינדום פוספיד (InP), חיתוך מuster של תכשירים מבוססי InP בתקשורת אופטית, כולל מבני מסלול אור, מבני קור הומonia ומבני גבשושית;
3. חיתוך של חומרים SiC, מתאים לתכשירים מיקרו-גלתיים, תכשירי כוח וכו';
4. חיתוך בסיס פיזיקלי באמצעות ספלטרינג מתבצע על כמה מתכות, כמו ניקל (Ni), כרום (Cr), קרמיות ואחרים שקשה לחטוט אותם כימי, ומגיע לחתוך מuster של חומרים דרך התנגשות פיזיקלית;
5. חיתוך של חומרים אורגניים מתבצע כדי להקטין, להזקיק ולסלק חומרים אורגניים כמו צילום (Photo Resist), PMMA, HDMS, פולימר;
6. חיתוך לשכבת אחת עבור ניתוח כשל של שבבים (Failure Analysis-FA);
7. חיתוך של חומרים דו-מימדיים: W, Mo חומרים דו-מימדיים, גרפין;

תוצאותתוצאת שימוש:

תצורת פרוייקט ותרשים מבנה מכונה

פריט	MD150-RIE	MD200-RIE	MD200C-RIE
גודל מוצר	≤6 אינץ"	≤8 אינץ"	≤8 אינץ"
מקור אנרגיה RF	0-300W/500W/1000W התאמה, התאמה אוטומטית
מְנִיעַת מְלֵאכָה	-/620(ליטר/שניה)/1300(ליטר/שניה)/לפי בקשתך			אנטיספטיקי 620(ליטר/שניה)/1300(ליטר/שניה)/לפי בקשתך
מְנִיעַת קֶדֶם	מְנִיעַ מְכָנִית/מְנִיעַ יָבֵשׁ			מְנִיעַ יָבֵשׁ
לחץ תהליך	דַּחְפַּת לֹא נְהֻגָה/0-1 טור רְוָח דַּחְפַּת נְהֻגָה
סוג גז	H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/לפי בקשתך (עד 9 ערוצים, ללא גזים קורוזיביים וסַמִים)			H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr (עד 9 ערוצים)
טווח הגז	0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/תאום
נעילת טעינה	כן/לא			כן
בקרת טמפרטורת דגימה	10°C~טמפרטורת החדר/~30°C100°C/תאום			-30°C~100°C/תאום
רadiator חימום הליום	כן/לא			כן
פודרת מכסה תהליך	כן/לא			כן
בקרת טמפרטורת קיר המרחב	אין/טמפרטורת חדר~60/120°C			טמפרטורת חדר-60/120°C
מערכת בקרה	אוטומטיוטומטי/תואם
חומר חיתוך	בנוי מסיליקון: Si/SiO2/SiNx··· IV-IV: SiC חומרים מגנטיים/חומרים של סגסוגת חומר מתכתי: Ni/Cr/Al/Au..... חומר אורגני: PR/PMMA/HDMS/אורגני סרט......			סיליקון-בסיס: Si/SiO2/SiNx...... III-V (הערה 3): InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI (הערה 3): CdTe...... חומרים מגנטיים/חומרים של סגסוגת חומר מתכתי: Ni/Cr/A1/Au...... חומר אורגני: PR/PMMA/HDMS /סרט אורגני...

צילומים אמתיים ממעבדות וifactories

אריזה & שipment

פרופילrofile של החברה

Minder-Hightech הוא נציג מכירות ושירות בתעשיית ציוד מוצרים חשמליים וסמיקונדוקטורים. מאז 2014, החברה מתחייבת לספק ללקוחות פתרונות ייחודיים, אמינים וייעודיים עבור ציוד מכני.

שאלות נפוצות

1. אודות מחיר:
כל המחירים שלנו הם מתחרים ונגופי-משא ומתן. המחיר משתנה בהתאם לתצורה והסיבוכיות של ההעתקה של המכשיר שלך.

2. אודות דוגמה:
אנחנו יכולים לספק לך שירותי ייצור דוגמאות, אך עשויים להיות עליך לשלם כמה סכומים.

3. על תשלום：
לאחר אישור התוכנית, עליך לשלם לנו תשלומים מראש, והמפעל יתחיל להכין את המוצרים. לאחר שהציוד יהיה מוכן ואתה משלם את השארית, נשלח אותו.

4. על משלוח:
לאחר השלמת ייצור המיתוג, נשלח אליכם את וידאו ההסכמה, ואתם גם יכולים לבוא לאתר כדי להעריך את המיתוג.

5. התקנה ובדיקה:
לאחר שהמיתוג מגיע למפעל שלכם, נוכל לשלוח מהנדסים להתקין ולהדביק את המיתוג. נספק לכם הצעת מחיר נפרדת עבור שכר השירות הזה.

6. על אחריות:
למיטלנו יש תקופת אחריות של 12 חודשים. לאחר תקופת האחריות, אם חלקים כלשהם ניזוקים וצריכים להוחלף, נטיל רק את מחיר העלות.

דף הבית

עלינו

MH Equipment

פִּתָרוֹן

משתמשים מחוץ לארץ

וידאוideo

צור קשר איתנו

מערכת חיתוך יון אקטיב RIE

חיתוך יוני פעיל (RIE)

הצורה הראשית:

质RIE חומרים מתאימים:

ת Pebines קשורות ל-RIE:

מוצרים נוספים

סדרה MD-FS של מכונת כריכה לקפצרים

סדרה MD-FDS של מכונת כריכה אוטומטית לקפצרים

סדרה MD-EFS - מכונה לסיבוב קפצ'ר

סדרה MD-EDFS - מכונה לסיבוב קפצ'ר מסוג סרט

חֲקִירָה

Articles

Products

Get In Touch