









וופר לשטח |
גודל |
אינץ' |
4,5,6,8 |
דרך חיכוך |
- |
שיטת גרירת תקיעתית אנכית |
|
ציר מוט גלגל גרירה |
סוגים |
- |
מצעי אוויר |
כמות |
- |
1 |
|
מהירות |
סל"ד |
0~5000 |
|
הספק פלט |
קילוואט |
5.5/7.5 |
|
העתק |
מ"מ |
150 |
|
מהירות אספקה |
מיקרון/ש |
0.01~100 |
|
מהירות קדימה מהירה |
מ"מ/דקה |
300 |
|
רזולוציה |
ממ |
0.1 |
|
ציר גוף עבודה |
סוג |
- |
גלגלים כדוריים |
כמות |
- |
1 |
|
מהירות |
סל"ד |
0~300 |
|
הספק |
קילוואט |
0.75 |
|
סוג כף שטח |
- |
ספוגים קרמיים |
|
שיטת סחיבה של וויפר |
- |
הצמדה בvakuum |
|
העברת מעבר של וויפר |
- |
מדריך |
|
פונקציות נוספות |
Zentrierung של וויפר |
- |
- |
ניקוי וויפר |
- |
- |
|
ניקוי כוסי שטיה |
- |
- |
|
גלגל הגריבה |
מ"מ |
φ200 |
|
באינטרנט מדידה |
טווח מדידה |
ממ |
0~1800 |
רזולוציה |
ממ |
0.1 |
|
מדויק חוזר |
ממ |
±0.5 |
|
עיבוד מכני דיוק |
דיוק פנימי-וואפר (TTV) |
ממ |
≤2 |
דיוק בין וואפרים (WTW) |
ממ |
±3 |
|
ח意见反馈ת משטח (Ry) |
ממ |
0.1(הסתיימום 2000#) |
|
מראה |
צביעת מראה |
ממ |
דפוס כתום |
ממדים(ר×ע×ג) |
מ"מ |
690×1720×1780 |
|
משקל |
ק"ג |
1400 |
וופר לשטח |
גודל |
אינץ' |
6,8,12 |
דרך חיכוך |
- |
שיטת גרירת תקיעתית אנכית |
|
ציר מוט גלגל גרירה |
סוגים |
- |
מצעי אוויר |
כמות |
- |
1 |
|
מהירות |
סל"ד |
0~5000 |
|
הספק פלט |
קילוואט |
5.5/7.5 |
|
העתק |
מ"מ |
150 |
|
מהירות אספקה |
מיקרון/ש |
0.01~100 |
|
מהירות קדימה מהירה |
מ"מ/דקה |
300 |
|
רזולוציה |
ממ |
0.1 |
|
ציר גוף עבודה |
סוג |
- |
גלגלים כדוריים |
כמות |
- |
1 |
|
מהירות |
סל"ד |
0~300 |
|
סוג כף שטח |
- |
ספוגים קרמיים |
|
שיטת סחיבה של וויפר |
- |
הצמדה בvakuum |
|
העברת מעבר של וויפר |
- |
מדריך |
|
פונקציות נוספות |
Zentrierung של וויפר |
- |
- |
ניקוי וויפר |
- |
- |
|
ניקוי כוסי שטיה |
- |
- |
|
גלגל הגריבה |
מ"מ |
φ300 |
|
באינטרנט מדידה |
טווח מדידה |
ממ |
0~1800 |
רזולוציה |
ממ |
0.1 |
|
מדויק חוזר |
ממ |
±0.5 |
|
עיבוד מכני דיוק |
דיוק פנימי-וואפר (TTV) |
ממ |
≤3 |
דיוק בין וואפרים (WTW) |
ממ |
±3 |
|
ח意见反馈ת משטח (Ry) |
ממ |
0.13(2000#סיום) |
|
מראה |
צביעת מראה |
ממ |
דפוס כתום |
ממדים(ר×ע×ג) |
מ"מ |
790×2170×1830 |
|
משקל |
ק"ג |
1800 |





כל הזכויות שמורות © לתאגיד Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. כל הזכויות שמורות