מכונה למחק ולבurnished מדויקת מסוג MDAM-CMP100/150, היחיד הראשי וכל חלקי ההחלפה עשויים מפריטים בעלי התנגדות גבוהה לקורוזיה. כל המכונה היא התנגדת לקורוזיה, יציבה, מתנגדת להעתקה ומשתמשת בהתנגדות לריסוס, מה שמתאים לשימוש במחיקה ובpolishing מכני-כימי של חומרים שונים של חומרי סמikonductors. אזור העבודה נפרד מאזור תצוגה והשליטה והוא נתון בשליטה דיגיטלית באמצעות מערכת שליטת מסך מגע. זה נתון בשליטה CNC, ניתן לאחסן ולשחזר.
המערכת של התוכן כולל פונקציית זמן, שיכולה לעבוד באופן רציף למשך 10 שעות ולשלוט במהירות של דיסק המליציה. תבליט השליטה ממוקם מחוץ לאזור העבודה כדי למנוע את הפזרת מים חותכים על תבליט השליטה. כל הפרמטרים של המארח יכולים להיערך על מסך מגע. פרמטרי התהליך של המארח כוללים פונקציות אחסון ו Shivoo כדי לבטוח בהתחשביות ובשחזור התהליך. המדגם של הוויפר נאחז על פני השטח התחתון של הכלי באמצעות שיקוע ואקום, מצויד בשאף ואקום ללא שמן, ויש לו פונקציה עצמאית למניעת הספיגה הפוכה.
המערכת להגדרת מסגרת המדגם עם מנגנון סיבוב אופקי כולל תכונה של התנעה, עם טווח התנעה של 0-100%🎉 ניתן להגדיר את עוצמת הה תנעה והמהירות התדירות בצורה מדויקת דרך הפאנל שליטה. המסגרת מצוידת במנגנון התנעה עצמאי לסיבוב, עם טווח מהירות מתואם של 0-120 סיבוב לדקה. העיצוב הפונקציונלי הזה מבטיח שטיפת מדגם מלא במהלך תהליך החיתוך והשחיפה, מה שמשפר באופן משמעותי את היכולת והיעילות של המכשיר.
המסגרת מצוידת בשולחן מעקב רוחב דיגיטליי עם דיוק של 1 μ m. הלחץ של המסגרת על המדגם של הלוח הוא調整ת רציפה, עם טווח לחץ של 0-3.5 ק"ג ודיוק של 2g/cm², ומצוידת גם במכשיר מדידת לחץ.
הפעולה של דיסק הגריסה והפוליש מבוקרת על ידי הנעה הראשית, ומהירות הדיסק ניתנת להתאמה מ-0 עד 120 סיבובים לדקה. טווח השינוי במהירות הזה מבטיח באופן יעיל את מהירות הגריסה והפוליש של דגימות מחומרים בעלי קשיחות וגודל שונים, ובכך מושגים מדדים תהליכים גבוהים יותר.
החלפת דיסקיות הגריסה ודיסקיות ההברקה פשוטה ומהירה, ודיסקיות מוטבעות מאפשרות לציוד לעבור במהירות מתהליך הגריסה לתהליך ההברקה, מה שמקצר במידה רבה את זמן התהליך. בנוסף, דיסקית הגריסה מצוידת בבלוק תיקון דיסקיות כדי להבטיח שדיסקית הגריסה תישאר שטוחה.