דגם |
MDTS-WT2200 |
מספר צירים של דקיקה |
2 |
מספר ספסלי עבודה |
3, שיטת אינדקס |
ציר מוט גלגל גרירה |
מספר צירי אוויר: 2 מנוע ציר: מנוע תדר משתנה של 7.5 קילוואט מהירות: 0~6000 סיבובים לדקה, התאמה ללא שלבים מימדי גלגל חיתוך: Φ203 מ"מ סוג גלגל חיתוך: גלגל חיתוך יהלומי |
מערכת אספקת גלגל חיתוך |
כמות: 2 קבוצות שיטת שליטה במערכת תזון: מסלול LM וספירלה כדורית הרכבה מנוע הובלה: מנוע סרבו מהירות תזון מינימלית: 0.1 מיקרון/שנייה מהירות תזון מקסימלית: 50 מ"מ/שנייה |
שולחן עבודה |
כמות: 3, מצב אינדקס מנוע ציר: מנוע סרבו מהירות: 0~300 סיבובים לדקה, ניתן להגביר ללא שלבים שיטת היצמדות: היצמדות חלולה |
טבלת עבודה מסתובבת |
מצב הובלה: מנוע סרבו טווח围 סיבוב: 0~240° צורת מיקום: מיקום מדויק בעזרת חיישן |
עובי אוטומטי מערכת מדידה |
שיטת מדידה: מדידה בזמן אמת באמצעות מגע IPG מקוון מספר ראשי מידה: 2 חיישן מידה: חיישן ברמה של 0.1 מיקרון |
העלאה אוטומטית\ מערכת הורדה |
סוג תיבה: קאסטת 6-8 אינץ', 25 שכבות שיטת העלאה\הורדה אוטומטית: משתמש במניפולטור וויפר כדי לוודא שוויפרים דקים מועברים ללא נזק עובי וויפר: 150מ"מ-1000מ"מ |
פונקציית ניקוי שולחן עבודה |
שיטת ניקוי: מברשת שמן & מים + אוויר דו-זרמי |
ניקוי אוטומטי/ מערכת יבוש |
ניקוי: נוזל מים DIW שיטת יבוש: النفחה + יבוש מהירות: עד 1000rpm תואם ללא שלבים |
מערכת ביטול סטטיות |
סרגל יונים או פנימת אוריאון |
מקרר ספינדל |
טמפרטורה: 18-22°C שיעור זרימה: 4~8L/דקה |
מערכת בקרה |
מערכת שליטה: מערכת שליטה ב-PC, מסך מגע עם אור אזהרה בצבעים שלושה INTERFACE אדם-מכונה בשני שפות: סינית/אנגלית |
גודל וויפר מקסימלי |
תואם עד 8 אינץ' מקסימום |
טווח מהירות |
0~6000 RPM |
מהלך ציר Z |
160 מ"מ |
מהירות הזנה ציר Z |
0.1~100מיקרון/שניה |
מהירות חזרה מהירה של ציר Z |
50 מ"מ לשנייה |
דقة ציר Z |
0.1um |
טווח מדידת עובי מקוון |
0~1800 מ"מ |
דقة מדידת עובי מקוון |
0.1um |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
כל הזכויות שמורות © לתאגיד Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. כל הזכויות שמורות
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
