וופר לשטח |
גוֹדֶל |
אינצ'ים |
4,5,6,8 |
קאסטיין וופר |
מספר |
- |
2 |
דרך חיכוך |
- |
שיטת גרירת תקיעתית אנכית |
|
ציר מוט גלגל גרירה |
סוגים |
- |
מצעי אוויר |
כמות |
- |
2 |
|
מהירות |
סל"ד |
0~5000 |
|
הספק פלט |
קילוואט |
5.5/7.5 |
|
העתק |
מ"מ |
150 |
|
מהירות אספקה |
מיקרון/ש |
0.01~100 |
|
מהירות קדימה מהירה |
מ"מ/דקה |
300 |
|
רזולוציה |
ממ |
0.1 |
|
ציר גוף עבודה |
סוּג |
- |
גלגלים כדוריים |
כמות |
- |
3 |
|
סוג כף שטח |
- |
ספוגים קרמיים |
|
שיטת סחיבה של וויפר |
- |
הצמדה בvakuum |
|
מהירות |
סל"ד |
0~300 |
|
העברת מעבר של וויפר |
- |
זרוע רובוט |
|
- |
דיסק מסתובב |
||
פונקציות נוספות |
Zentrierung של וויפר |
- |
העתקת פין |
ניקוי וויפר |
- |
ניקוי מים ואוויר, יבוש ספין |
|
ניקוי כוסי שטיה |
- |
ניקוי אבן שמן |
|
גלגל הגריבה |
מ"מ |
φ200 |
|
באינטרנט מדידה |
טווח מדידה |
ממ |
0~1800 |
רזולוציה |
ממ |
0.1 |
|
מדויק חוזר |
ממ |
±0.5 |
|
עיבוד דיוק |
דיוק פנימי-וואפר (TTV) |
ממ |
≤2 |
דיוק בין וואפרים (WTW) |
ממ |
±3 |
|
ח意见反馈ת משטח (Ry) |
ממ |
0.13(2000#סיום) |
|
מראה |
צביעת מראה |
ממ |
דפוס כתום |
ממדים(ר×ע×ג) |
מ"מ |
1200×2750×1950 |
|
משקל |
ק"ג |
4200 |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
כל הזכויות שמורות © לתאגיד Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. כל הזכויות שמורות
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
