להדגיש
מבוא:
מתקן השטיפה במגנטרון דו-יעדי הוא מתקן שטיפה ייחודי למעבדה שפותח על ידי החברות שלנו. ניתן לספק את המתקן בהספק חשמלי מסוג DC והספק חשמלי מסוג RF, עם הספק הנע בין 500 וاط ל-1000 וاط. בהשוואה לשטיפת פלזמה רגילה, שטיפת מגנטרון מציעה יתרונות כגון אנרגיה גבוהה ומהירות גבוהה, קצב שטיפה גבוה ועלייה נמוכה בטמפרטורת הדגימה. זוהי שטיפה טיפוסית מהירה ובטמפרטורה נמוכה. המטרה של המגנטרון מצוידת במעטפת בינונית מוקצרים במים. הקולטת הידרולית מסירה ביעילות את החום ומניעה הצטברות חום על פני השטח של המטרה, כך ששטיפת המגנטרון יכולה לפעול באופן יציב לאורך זמן. המתקן תוכנן בצורה מרוכזת כדי להשיג איזון בין נפח ובין ביצועים, עם מראה יפה ופונקציות מקיפות. כל המיכון נשלט על ידי מסך מגע, עם תוכנית שטיפה מובנית לחיצה אחת, מה שמאפשר תפעול פשוט ונוח. זהו מתקן אידיאלי להכנה של סרטים דקים במעבדה.
יישום: ניתן להשתמש בו להכנה של סרטים דקים פרו-אלקטריים חד-שכבות או רב-שכבות, סרטים מוליכים, סרטים של סגסוגות, סרטים חצי-מוליכים, סרטים קרמיים, סרטים דיאלקטריים, סרטים אופטיים וכו'