EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
מבוא: הציוד הזה מורכב בעיקר מחדר ואקום נירוסטה, מטרה לספוטרינג מגנטי, מכשיר לקידוח אידוי, שולחן דגימות להצבת הדגימות, יחידת משאבת ואקום, מד ואקום, מערכת זרימת אוויר ומערכת בקרה. היחידה הראשית של הציוד מופעלת על ידי מסך מגע ונמדדת על ידי מד טמפרטורה. הממשק הדיגיטלי לפרמטרים והפעולה האוטומטית שלו מספקים למשתמשים פלטפורמה מעולה למחקר ופיתוח. חלל האווקום משתמש בעיצוב של מטרה תחתונה, ושולחן הדגימות כולל פונקציות חימום וסיבוב, מה שמאפשר השוואה אחידה יותר של השכבה. מערכת איסוף האווקום של הציוד משתמשת בקבוצה של שתי משאבות אווקום. משאבת הסטציה הראשונה היא משאבת מכנית מהירה, אשר מקצרת באופן יעיל את הזמן מהלחץ הנורמלי לאווקום נמוך. המשאבה הראשית היא משאבת מולקולרית טורבו עם מהירות שאיבה גבוהה ומהירות איסוף אווקום מהירה יותר. מערכת איסוף האווקום הכוללת נקייה ומהירה.
יישום: ניתן להשתמש בו להכנה של סרטים דקים פרו-אלקטריים חד-שכבות או רב-שכבות, סרטים מוליכים, סרטים של סגסוגות, סרטים חצי-מוליכים, סרטים קרמיים, סרטים דיאלקטריים, סרטים אופטיים וכו'
