מבוא:
הציוד הזה מורכב בעיקר מחדר ואקום מפלדת אל חלד, מטרה לספיטרינג מגנטי, התקן לקידוח אידוי, שולחן דגימות להצבת הדגימות, יחידת משאבת ואקום, מד ואקום, מערכת זרימת אוויר ומערכת בקרה. היחידה הראשית של הציוד מופעלת על ידי מסך מגע ונמדדת על ידי מד טמפרטורה. הממשק הדיגיטלי לפרמטרים והפעולה האוטומטית שלו מספקים למשתמשים פלטפורמה מעולה למחקר ופיתוח. חדר האווקום משתמש בעיצוב של מטרה תחתונה, ושולחן הדגימות כולל פונקציות חימום וסיבוב, מה שמאפשר השפעה אחידה יותר של הקידוח. מערכת איסוף האווקום של הציוד משתמשת בקבוצה של שתי משאבות אווקום. המשאבה הראשונה היא משאבה מכנית מהירה, אשר מקצרת באופן יעיל את הזמן מהלחץ הנורמלי לאווקום נמוך. המשאבה הראשית היא משאבת מולקולרית טורבו עם קצב שאיבה גבוה ומהירות גבוהה לאיסוף אווקום. כל מערכת איסוף האווקום נקייה ומהירה.
יישום:
ניתן להשתמש בה הכנת סרטים דקים פרואלקטריים חד-שכבי או רב-שכבי, סרטים מוליכים, סרטים של חלקי מתכת, סרטים חצי-מוליכים, סרטים קרמיים, סרטים דיאלקטריים, סרטים אופטיים, וכדומה.