מבוא:
הציוד הוקטן, תוך שימור קavitת הפלדה לאוסטניטית בריק נמוך גבוה, ובעת שהותאמו מנגנונים אחרים, כך שהממדים החיצוניים של הציוד מוגבלים לרמה של שולחן העבודה, ובכך צמצמו במידה רבה את דרישות האתר להתקנה. הציוד מצויד בה alimentator זרם ישר (DC) ומגבר רדיו-תדר (RF). המטרה לזרם ישר (DC) ניתנת לשימוש בפריצה (sputtering) של מתכות וחומרים מוליכים אחרים, בעוד שמגבר הרדיו-תדר (RF) ניתן לשימוש בפריצה של מגוון חומרים לא מתכתיים ואוקסידי מתכות. מערכת הריק של הציוד משתמשת במשאבה לריק מיובאת במלואها, עם מהירות שאיבה מהירה, דרגת ריק סופית גבוהה, וביצועי ריק מעולים. לציוד זה מבנה צפוף, פונקציות שלמות ונוח לשימוש, מה שהופך אותו מתאים במיוחד לבדיקות כיסוי מגוונות.
יישום:
ניתן להשתמש בו להכנה של שכבות דקות מתכת, בתחומים אלקטרוניים, אופטיים, קרמיקה מיוחדת וכו'. ניתן להשתמש בו להכנה של דגימות ל-SEM במעבדה.