מבוא:
הציוד הזה הוא מכשיר קיטוב מגנטרון דו-מטרתי. סט הרכיבים הזה כולל תא נירוסטה בריקות גבוהות, עיצוב עם פתח קדמי, וחלון תצפית מקריסטל קוורץ על הדלת כדי לסייע בתצפיות ובתיעוד הניסויים. במקביל, הציוד מצויד בשלב דגימה מסתובב וחם, אשר יכול לשפר באופן יעיל את האחידות של השכבה והאיכות שלה. סט של מחסומים מותקן על כיסוי העליון, ושני המטרות ניתנים להחלפה על ידי סיבוב המחסומים כדי להשיג קיטוב רב-שכבתי. הציוד הזה דורש שימוש בקבוצת משאבות מולקולריות בריקות גבוהות. המשתמשים יכולים לבחור משאבות מולקולריות קטנות מסחריות מיובאות כדי לחסוך עוד יותר בשטח ההתקנה. במקביל, דגם זה יכול להיות מצויד ברכיב אופציונלי של מד עובי שכבות, אשר מאפשר מעקב בזמן אמת על נתוני עובי השכבה ומספק פרמטרים מהימנים לתהליך הניסוי.
יישום:
ניתן להשתמש בו להכנה של סרטים דקים מתכתיים, בתחומים אלקטרוניים, אופטיים, קרמיקה מיוחדת וכו'. ניתן להשתמש בו להכנה של דוגמיות ל-SEM במעבדה.