מערכת CMP מדויקת

MDAM-CMP100 / MDAM-CMP150

מערכת CMP מדויקת

סקירה כללית של ציוד:

מערכת CMP מדויקת משמשת בעיקר לקליפת ולדקיקת שבבים חצי-מוליכים עיקריים כגון סיליקון, דו-תחמוצת הסיליקון ושבבי מישור מוקד אינדיום-אנטימוני, וכן לפוליש כימי-מכני של התחתית, המשטח והפאה הקצה.

המכונה כולה וכל חלקיה נגדי-קורוזיה באופן מלא, ופרמטרי התהליך ניתן לקבוע דרך ממשק תפעול אינטראקטיבי במסך מגע.

גודל הדגם הניתן לעיבוד:

גודל הדגם ≤152 מ"מ / 6 אינץ'

עובי הניתן לעיבוד הוא 50 מיקרומטר עד 10 מ"מ

מדדים ניתנים להשגה בתהליך:

1. סטיית העובי הכוללת (TTV) של דיסק בקוטר 75 מ"מ היא בתוך טווח של 2 מיקרומטר;

2. סטיית העובי הכוללת (TTV) של דיסק בקוטר 100 מ"מ היא בתוך טווח של 3 מיקרומטר;

3. סטיית העובי הכוללת (TTV) של דיסק בקוטר 150 מ"מ היא בתוך טווח של 4 מיקרומטר.

סוגי הדגימות שניתן לעבד:

סיליקון, קרביד סיליקון, יהלום, חומרים קרמיים, ניטריד גליום, קוורץ, אנטימוניד גליום, פוספיד אינדיום, ארסניד גליום, טלוריד צד"ם-זין, טלוריד מרקורי-צד"ם וליתיום ניובט וחומרים חצי מוליכים אחרים.

מאפיינים של ציוד:

1. הגשמת פונקציית זיהוי נקודת הסיום לשליטה בעובי הדגימה.

2. פונקציית בקרת טמפרטורה והאכלה בזמן אמת של לוחות השחיקה וההחלקת, כולל פונקציית הקירור.

3. מערכת האכלה רב־ערוצית.

4. פונקציית הזרקה האוטומטית של לוחות השחיקה וההחלקת.

5. פונקציית התיקון האוטומטי של הלוח.

6. החיזוק ילווה בשולחן דיגיטלי לבקרת עובי עם דיוק מדידה של 0.1 מיקרומטר.

פרמטרים טכניים:

תצורה של מיכשור:

שאלה נפוצה

1. אודות מחיר:

כל המחירים שלנו הם מתחרים ונגופי-משא ומתן. המחיר משתנה בהתאם לתצורה והסיבוכיות של ההעתקה של המכשיר שלך.

2. אודות דוגמה:

אנחנו יכולים לספק לך שירותי ייצור דוגמאות, אך עשויים להיות עליך לשלם כמה סכומים.

3. על תשלום:

לאחר אישור התוכנית, עליך לשלם לנו תשלומים מראש, והמפעל יתחיל להכין את המוצרים. לאחר שהציוד יהיה מוכן ואתה משלם את השארית, נשלח אותו.

4. על משלוח:

לאחר השלמת ייצור המיתוג, נשלח אליכם את וידאו ההסכמה, ואתם גם יכולים לבוא לאתר כדי להעריך את המיתוג.

5. התקנה ובדיקה:

לאחר שהמיתוג מגיע למפעל שלכם, נוכל לשלוח מהנדסים להתקין ולהדביק את המיתוג. נספק לכם הצעת מחיר נפרדת עבור שכר השירות הזה.

6. על אחריות:

למיטלנו יש תקופת אחריות של 12 חודשים. לאחר תקופת האחריות, אם חלקים כלשהם ניזוקים וצריכים להוחלף, נטיל רק את מחיר העלות.

7. שירות לאחר המכירה:

כל המכונות תופענה בתקופת אחריות של מעל שנה. המהנדסים הטכניים שלנו זמינים תמיד באינטרנט כדי לספק לכם שירותי התקנה, ניפוי שגיאות ותחזוקה של ציוד. אנו יכולים לספק שירותים של התקנה וניפוי שגיאות במקום עבור ציוד מיוחד וגדול.