הקדמה למוצר
תחנת המדידה של סדרת MP-H מתאימה למעבדות R&D, ומאפשרת להשקיע את התקציב פעם אחת. טכנולוגיית תנועת הצ'אק יכולה לעמוד בצרכיך בבדיקת יעילות של כל הוויפר.
תכונות המוצר
1. שלושה שלבי מיקום מיקרוסקופיים להצבה מדויקת והפרדה מהירה של המזרנים;
2. מיקרוסקופ מתלורגי סטנדרטי, בדיקת Pad מעל 1 μm;
3. ניתן לציוד בלייזר לבדיקות FA/חתך לייזר;
4. טכנולוגיית תנועת צ'אק נשלטת פנאומטית להוצאת הצ'אק במהירות.
פרמטרי מוצר
מודל פרובר ידני |
MP-M4/MP-M6/MP-M6mini |
MP-E4/MP-E6/MP-E8/MP-E12 |
MP-H6/MP-H8/MP-H12 |
|
צ'אק. |
חומר החצ'וק |
פלדת אל-חלד/נחושת מוצפת ניקל או זהב |
||
הרמת חצ'וק |
N/A |
עליה מהירה 5 מ"מ, התאמה עדינה 6 מ"מ |
||
הזזה מהירה |
N/A |
N/A |
√ |
|
פלטפורמת מיקרופוזיציונר להגבהה |
N/A |
N/A |
הרמה מהירה 5 מ"מ, התאמה עדינה 40 מ"מ, התאמה גסה 300 μm |
|
מיקרוסקופ |
מיקרוסקופ גוף סטנדרטי (מראה מיקרוסקופ וידאו אופציונלית), ניתן להגדיל עד 100X |
מיקרוסקופ מתלורגיה סטנדרטי PSM-1000 / מיקרוסקופ אופציונלי (GX-6 מתלורגי, סטריאו, וידאו), ניתן להגדיל עד 2000X והמיקרוסקופ ניתן להתאמה כלפי מעלה ולמטה באמצעות בקרה אוירית |
||
|
סקר מפרט |
דליפת זרם |
1pA/V צירי-אותי @ 25 °C; שלושה צירים 100fA/V @ 25 °C; טרי-ציאקסיאלי 10pA@3kv @25°C, תנאי בדיקה: סביבה יבשה לשילוט אריזה (נקודת טל של האוויר נמוכה מ- -40 °C) |
||
סוג מחבר |
ראש בננה/קליפ תנין/ממשק קואקסיאלי/טרי-ציאקסיאלי |
|||
יישום בדיקה |
בדיקת DC/(IV, CV) בדיקת זרם נמוך (סיווג 100fA) בדיקת רעש 1/f בדיקת אפיון מכשיר בדיקת WLR, בדיקת זקנות תדר בדיקה RF עד 110GHz בדיקת הספק גבוה/זרם גבוה/מתח גבוה |
|||
/ |
בדיקת ניתוח כשל |
בדיקת ניתוח כשל |
||
כל הזכויות שמורות © לתאגיד Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. כל הזכויות שמורות