זו מערכת ניקוי פלזמה מיקרוגל בעלת מתח נמוך עבור סמינקונים. על ידי שימוש במיקרוגל בתדר של 2.45GHz לחלון על קיר המאכל הלא-נראה, נוצרת כמות גדולה של פלזמה רציפה, והשבב נקי על ידי כניסה לתוך המאכל.
יתרונות: 1. הפלזמה איננה טעונה ולא תגרום נזק למעגלים 2. שימור טמפרטורה נמוכה במהלך התהליך 3. מהירות תגובה מהירה וזמן תגובה קצר 4. ללא אלקטרודות, ללא מקורות זיהום, חיים ארוכים 5. מסוגל להחזיק פלזמה בלחצים גבוהים 6. חיבורים מיקרו-גליים ומעגלי מגנטיים תואמים 7. דרישות מתח עצבון עצמי נמוכות 8. מקור המתח הגבוה והמחולל מבודדים זה מזה לצורך בטיחות 9. חריטה יבשה, ללא מקורות זיהום
תחומי יישום: עיבוד קדימה לקישור שבבים חצי מוליכים, עיבוד קדימה לאחסון פלסטי, הסרת פוטו-רסיסט, קישור מתכות ועיבוד קדימה