Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
קבלת הצעת מחיר

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

דף הבית
עלינו
ציודquipment MH
סרטון מקרה
פתרון
משתמשים מחוץ לארץ
יצירת קשר
בית > PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • MDICP-5000F מתקן חיתוך ICP אוטומטי מלא
  • MDICP-5000F מתקן חיתוך ICP אוטומטי מלא
  • MDICP-5000F מתקן חיתוך ICP אוטומטי מלא
  • MDICP-5000F מתקן חיתוך ICP אוטומטי מלא

MDICP-5000F מתקן חיתוך ICP אוטומטי מלא

דגם: MDICP-5000F

קבלו הצעת מחיר בחינם
MDICP-5000F מתקן חיתוך ICP אוטומטי מלא
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

תקצירتنفيذي:

המתקן הוא מערכת שואב עם שני תאים. אחד התאים הוא תא דגימה והשני הוא תא החיתוך. יש בין שני התאים נעילה בשואב, והדגימה מועברת על ידי מניפולטור.
הציוד מורכב בעיקר מסיסת ואקום, מערכת תעלות גז, מערכת חשמל, מערכת שליטה, מערכת קירור, מנגנון אספקת סרט ולקיחתו, מערכת אזהרה, וכו'.

מערכת ואקום:

המערכת כוללת פמפה מולקולרית עם מהירות שיפוע של 600 ליטר לשנייה + פמפת ואקום יבשה מיובאת עם מהירות שיפוע של L / s כדי להעלות את תא האטימה לריק גבוה. צוות לחץ דינמי חשמלי מותקן בין הפמפה המולקולרית לתא האטימה. הפמפה היבשה המיובאת היא הפמפת השיפוע התואמת של תא האטימה והפמפת הקדימה של הפמפה המולקולרית. משתמשים בפמפה מכנית נוספת עם מהירות שיפוע של L / s כדי להעלות את תא המדגם לריק. חיבורים מתבצעים באמצעות כבלים סטainless steel בין הפמפה המכנית לחדר הוואקום ולפמפה המולקולרית, וצוות חסימת אוויר אלקטרומגנטי מותקן.

מערכת שליטה בלחץ קבוע

הציוד הוא מותקן עם מערכת שליטה בלחץ קבוע למטה, ותורן שסתום חשמלי מותקן בשורת הוצאת האוויר. באמצעות מדידת מידה של סנכרון סרט (חלקים מיובאים), תורן השסתום נשלט כדי להבטיח שהחדר הוואקום יגיע ללחץ קבוע, מה שמשפר את יציבות התהליך.

מערכת שליטה בלחץ קבוע

הציוד הוא מותקן עם מערכת שליטה בלחץ קבוע למטה, ותורן שסתום חשמלי מותקן בשורת הוצאת האוויר. באמצעות מדידת מידה של סנכרון סרט (חלקים מיובאים), תורן השסתום נשלט כדי להבטיח שהחדר הוואקום יגיע ללחץ קבוע, מה שמשפר את יציבות התהליך.

מערכת מעגל גז

שתי קבוצות של מזון רדיו-ufreq עם התאמה אוטומטית.

מערכת אזהרה

דרישות בטיחות לציוד.
תובנות טכניות
שם
SPC
מותג
מספר/קבוצה
הערה
חדר חיתוך, שורת הוצאת אוויר, חלון לצפייה, פנים שמורות וכו'
סטנדרטי
JSWN
1
מחוסן נגד קריסה
מסגרת, ארון חשמל, חותמות, חלקים סטנדרטיים וכו'
סטנדרטי
JSWN
1
מערכת העלאה של כיסוי תא חיתוך
סטנדרטי
JSWN
1
מחוסן נגד קריסה
אלקטרודה לחיתוך ומערכת תקרור
סטנדרטי
JSWN
1
מחוסן נגד קריסה
מגש מולקולרי (מהירות שטיפת 600 ליטר / ש)
FF620/150
KYKY
1
מחוסן נגד קריסה
מגש יבש להכנסה (מהירות שטיפה 9 ליטרים / ש)
XDS-35I
EDWARDS
1
מחוסן נגד קריסה
מגש מכני (מהירות שטיפה 9 ליטרים / ש)
TRP-36
BWVAC
1
שסתום חשמלי לרגולציה
DCQ-150
JSWN
1
מחוסן נגד קריסה
שסתום חסימה פנומטי עם שקיות אוויר
KF40
JSWN
3
מחוסן נגד קריסה
מונח סרט
KF16
INFICON
1
מחוסן נגד קריסה
בקר זרימת מסה
D07
Sevenstar
4
מחוסן נגד קריסה
בלב דיאפרגמה פנומטי
1/4"רקרוקס
-
4
מחוסן נגד קריסה
菅 סטילית, חיבור菅 וכו'
1/4"רקרוקס
-
4
מחוסן נגד קריסה
מגזר RF / מותאם אוטומטי
-
סין(אופציונליCROWN1310)
1
מגזר RF / מותאם אוטומטי
-
סין(אופציונליCROWN1310)
1
מִדֵּד ריק פּוֹסְתִי
זדפי
ארבי
1
IPC
2U
צ'ין
1
מסך מגע LCD
17 אינץ'
צ'ין
1
מערכת בקרת plc
S7-200
סימנס
1
מערכת שליטה במנוע חשמלי
סטנדרטי
JSWN
1
גילוי מים קרים ומערכת צינורות
סטנדרטי
JSWN
1
גילוי אוויר דחוס ומערכת צינורות
סטנדרטי
JSWN
1
מכונה למים זורקים קריר
HX
צ'ין
1
חדר הזרקה לחיתוך
סטנדרטי
JSWN
1
נעל תחת vakum
SMC
SMC
1
מערכת שליטה במניפולטור
SMC
SMC
1

פרמטר טכני של דואר

1.vakum גבול: חדר חיתוך 9.0×10-5Pa (לחות פנימית≤55%)
חדר הדגמה להזרקה 6.0×10-1Pa
2. חומר חיתוך: Ⅲ, Ⅴ חומר, Si, SiO2 וכו'
3. קצב חיתוך: ~ 1μ לדקה
4. אחידות חיתוך: ≤±5％ (טווח φ125mm)
6. גודל אלקטרודה: φ200mm

שאלות נפוצות

1. אודות מחיר:

כל המחירים שלנו הם מתחרים ונגופי-משא ומתן. המחיר משתנה בהתאם לתצורה והסיבוכיות של ההעתקה של המכשיר שלך.

 

2. אודות דוגמה:

אנחנו יכולים לספק לך שירותי ייצור דוגמאות, אך עשויים להיות עליך לשלם כמה סכומים.

 

3. על תשלום:

לאחר אישור התוכנית, עליך לשלם לנו תשלומים מראש, והמפעל יתחיל להכין את המוצרים. לאחר שהציוד יהיה מוכן ואתה משלם את השארית, נשלח אותו.

 

4. על משלוח:

לאחר השלמת ייצור המיתוג, נשלח אליכם את וידאו ההסכמה, ואתם גם יכולים לבוא לאתר כדי להעריך את המיתוג.

 

5. התקנה ובדיקה:

לאחר שהמיתוג מגיע למפעל שלכם, נוכל לשלוח מהנדסים להתקין ולהדביק את המיתוג. נספק לכם הצעת מחיר נפרדת עבור שכר השירות הזה.

 

6. על אחריות:

למיטלנו יש תקופת אחריות של 12 חודשים. לאחר תקופת האחריות, אם חלקים כלשהם ניזוקים וצריכים להוחלף, נטיל רק את מחיר העלות.

 

7. שירות לאחר המכירה:

כל המכונות תופענה בתקופת אחריות של מעל שנה. המהנדסים הטכניים שלנו זמינים תמיד באינטרנט כדי לספק לכם שירותי התקנה, ניפוי שגיאות ותחזוקה של ציוד. אנו יכולים לספק שירותים של התקנה וניפוי שגיאות במקום עבור ציוד מיוחד וגדול.

מוצרים נוספים

בקשה למידע

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

מדיניות הפרטיות

בקשה למידע דואל ווטסאפ למעלה
×

יצירת קשר