ממס פוטו-רסיסט פלזמה יבשה ICP , China ממס פוטו-רסיסט פלזמה יבשה ICP Manufacturers, Suppliers, Factory

ממס פוטו-רסיסט פלזמה יבשה ICP

הממס היבש לפוטו-רסיסט בפלזמה ICP משמש בעיקר להסרת פולימרים, לבעירה, להסרת שאריות, להסרת פוטו-רסיסט לאחר הדבקת יונים, ולניקוי שאריות על פני השטח. תאי MDST3100 ו-MDST3200 מתאימים לדגימות בגודל 4–8 אינץ', כאשר MDST3100 מטפל ברמת דגימה אחת בבת אחת ו-MDST3200 מטפל בשתי דגימות בבת אחת.

המראה החיצוני של הציוד נתון לשדרוגים התמידיים וההתאמות; המוצר המסופק בפועל יקבע את הסטנדרט.

头图4.jpg

工艺流程.png(5c78296a74).jpg 去除光刻胶去胶机 (5)(130d03181e).jpg

ASHING

הסרת פולימר

DESCUM

ניקוי יבש של שכבת מסכה קשיחה

הסרת פוטורזיסט לאחר הדבקת יונים

הסרת שאריות משטח

הסרת פוטורזיסט בתהליך BAW/SAW

ניקוי יבש של שכבת סרט גרפי נוגד השתקפות

ניקוי לפני לאחר חיתוך

היתרונות:

מעלת יינון ופירוק גבוהה של הפלזמה

לאחר טיפול בפלזמה, ניתן להשיג שחזוריות גבוהה

חיתוך יבש, ללא מקור זיהום

שליטה בלחץ ובטמפרטורה באמצעות שסתומים פרפריים

יכול לשמור על פלזמה בלחץ גבוה

הפרדה בין מקור המתח הגבוה למחולל יונים

חיבורי מיקרוגל ומעגל מגנטי תואמים זה לזה

יכול לענות על דרישות הלקוח

טמפרטורה נמוכה במהלך העיבוד

מהירות תגובה מהירה وزمن תגובה קצר

Test data 2.jpg Test data 1.jpg Test data 3.jpg

דגם		MDST3100	MDST3200
מקור PLASMA		RF	RF
הספק	ICP	1000W	1000W
	BIAS	לא זמין	לא זמין
תחום יישום		4–8 אינץ'	4–8 אינץ'
מספר הוויפרס שעובדים בפעולה אחת		1	2
ממדים כלליים		1300×1190×1847 מ״מ	1300×1650×1850 מ״מ
בקרת מערכת		מערכת שליטה תעשייתית
דרגת האוטומציה		אוטומטי