מכונת הידוק דיאס בדרישת דיוק גבוהה

תיאור:

1. תחנת LF
2. העלאה של מגזין ；
3. החלפת מגזין ללא עצירה ；
4. המגש מכיל כמות: 3 יחידות ；
5. תחנת הזרקה של LF: מפיץ טבעתי אופציונלי ומערכת הזרקה עם חותמת ；

תחנת אגירת דיאס בזרוע נעה 1:

1. שימוש ברוטרי במנוע סרво עתיר כוח (2000 וואט) עם להב גבוהה, תנועת סיבוב של 180 מעלות, ניתן להתאים את לחץ המושך
2. דיוק מיקום הדיאס: < ±25 מיקרומטר> ；
3. דיוק זווית מיקום הדיאס: < ±3° > ；
4. בודק היעדר תבניות.

תחנת וויפר 1:

מתאימה לוויפרים בגודל 12 אינץ' וגם לוויפרים בגודל 8 אינץ' ；

פונקציית הרחבה אוטומטית של הוויפר ；

בדיקת מערכת ה-CCD ומיקום הוויפר ；

התאמת אוטומטית של זווית הוויפר. 。

תחנת התיקון:

1. שימוש במנוע ליניארי ובסרגל מדידה מדויק מאוד כדי להבטיח דיוק.
2. הסיבוב מבוקר על ידי מנוע חמש-פאזה.

תחנת איסוף הדיאים הליניארית 2:

1. שיטה ליניארית לאיסוף ולביצוע השמת הדיאים, עם אפשרות להתאמת הלחץ;
2. דיוק מיקום הדיאס: < ±15 מיקרון~ ±25 מיקרון>;
3. דיוק זווית המטריצה: < ±1° >;
4. בודק היעדר תבניות.

קבלה:

1. קליטת מגזין הניתן להצטבר ；
2. הפעלה ללא עצירה בעת הקליטה.

פונקציה בסיסית ：

1. מערכת הפעלה: Windows 7
2. ממשק ：סינית ואנגלית
3. זמן מחזור ：720 מילישניות (מקסימום) ליחידה לשעה ≥5k
4. דיוק מיקום כולל ：±15 מיקרון~ ±25um
5. מיקום זוויתי כולל ：±1°
6. גודל דיה ：1 מ"מ × 1 מ"מ ～10 מ"מ*10 מ"מ
7. גודל LF ：אורך ≤רוחב 260 מ"מ ≤80 מ"מ²
8. הספק ：220V ±10v ，50 הרץ 700 וاط
9. אוויר （לחץ ）：5～6 קג"כ/סמ²

תפקוד:

1. פונקציית בדיקת חוסר הדיאי
2. תוכנית ללא הגבלה למספר האחסון
3. מערכת UPS חיצונית
4. משאבה וואקום פנימית
5. עם פונקציית מיפוי
6. בדיקת איכות הידוק הדיאי
7. פונקציית בדיקה הפוכה
8. מידות אורך × רוחב × גובה: 2200 מ"מ × 1400 מ"מ × 1600 מ"מ （）
9. משקל: 1500 ק"ג

תחנת איסוף תבניות ：

1. כלי איסוף ：איסוף משטח
2. זרוע נעה ：180°סיבובי
3. לחץ איסוף ：20 גרם ～200ג'

תחנת הדבקת תבניות ：

1. ראש ：סיבובי ，מונח על פני השטח
2. צד הידוק הדיא ：תעבורה ליניארית
3. לחץ הידוק הדיא ：20 גרם ～200ג'
4. תחנת וויפר ：המהלך המרבי: 12 אינץ' × 12 אינץ' (325 מ"מ × 325 מ"מ)
5. מדויק חוזר ：±2 מיקרומטר
6. מהלך המושך: 3 מ"מ (מקסימום)

מערכת ידוק דיא ליניארית ：מדויק חוזר ：±2 מיקרומטר

מערכת הזרקה:

1. מערכת פיזוק כפולה
2. מערכת הטעינה וההורדה
3. מגזין垠
4. גודל מסגרת המוליך המקסימלי ：80 מ"מ ×260 מ"מ