מיון מolds מ Film ל Film

תפקוד:
שולחן עבודה (מודול ליניארי) |
340 מ"מ × 340 מ"מ (מקסימום 12 אינץ') |
רזולוציה |
0.5um |
שולחן וויפרים (מודול ליניארי) |
12 אינץ' מקסימום |
רזולוציה |
1μm |
שולחן וויפרים סיבובי |
אופציונלי |
דיוק מיקום וופר | |
מיקום דיאס מדבקים |
±25μm |
דיוק סיבוב |
±0.5 |
מודול דחיסה |
שיטת חתימה אופציונלית לשימוש בהלחמה |
לחץ תבנית |
40–250 גרם |
זרוע מסתובבת |
180 מעלות |
מערכת PR | |
שיטה |
256 מפלס אפור |
איתור |
דיו / ניקור / סדק בתבנית |
מוניטור |
מסך LCD בגודל 17 אינץ' |
תוקף מסך |
1024*768 |
מערכת אופטיקה |
מצלמה |
מגדיל אופטיקה (ויפר) |
הגדלה ב-0.7 עד 4.5 פעמים, אפשרי גודל גדול יותר באופציה |
זמן מחזור |
200MS/EA |
זמן מחזור של הדבקת תבנית קטן מ-250 מילישניות; קיבולת ייצור גדולה מ-12,000 יחידות; | |
מודול טעינה ופריקה |
טעינה והורדה ידניות טעינה והורדה מאגאזין (אופציונלי) |
דרישות הציוד | |
מתח |
AC220V 150 הרץ |
מקור אוויר |
מינימום 6BAR |
מקור וואקום |
700 מ״מ זעף (משאבה ריקה) |
צריכת חשמל |
3000W |
ממדים ומשקל | |
משקל |
1000ק"ג |
מידות (אורך × רוחב × גובה) |
1700×1400×1700 מ"מ |
דיא חסר |
כן |
חיישן ואקום |
|
כל הזכויות שמורות © לתאגיד Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. כל הזכויות שמורות