מקרים של ציוד וטכנולוגיות למרכזי אריזה בעלי אמינות גבוהה

מקרים של ציוד וטכנולוגיות למרכזי אריזה בעלי אמינות גבוהה

למכשירים אופטו-אלקטרוניים, לחיישנים תת-אדומים לא מוקרים ולחיישנים תת-אדומים באורך גל קצר

סקירת המתקנים:  

חדרים נקיים (רמה 1,000 / רמה 10,000): מחקר ופיתוח וייצור המוני של חיישנים תת-אדומים, לייזרים וגירוסקופים מבוססי MEMS.

החדרים הנקיים מצוידים במערכות HVAC מתקדמות שמשמרות טמפרטורה ורطיבות קבועות, מה שמאפשר בקרה סביבתית מדויקת כדי לענות על דרישות אריזת מעגלים מגוונות. המתקן מתוכנן עם ריצפה מרוממת ומבטיח חיבור אדמה מעולה, שהתנגדותו נמוכה מ־4 אוהם.

מערכת טיפול במים מדוללים: מגיעה להתנגדות סגולית של 18 MΩ·cm (ב־25° צלזיוס), ועונה על דרישות התהליך בנוגע לרמות חלקיקים ומוליכות עבור مواصفות ניקוי ופריטי וויפר מגוונות.

מערכת ייצור אוויר דחוס וחנקן: משתמשת במחשפים חסרי שמן מסוג ברגה משתנה בתדר, בצמד עם יבשים מסוג ספיגת, מסננים בעלי יעילות גבוהה ומייצרי חנקן בריכוז טהרה של 99.999%; התכולה הכוללת של ערפל שמן ונוזלים בגז היא 0.0009 מ״ג למטר מעוקב או פחות.

יכולות תהליך האריזה:

הוקמו קווי ייצור לאריזת ואקום בעיקר עבור מודלים שונים של גלאי אינפרא אדום ללא קירור, עם יכולת אריזה של מתכת וקרמיקה, וקיבולת ייצור שנתית העולה על 100,000 יחידות.

זרימת תהליך האריזה לגלאי אינפרא אדום ללא קירור:

לחברה יש טכנולוגיית אריזת ואקום מתקדמת. התהליכים המרכזיים כוללים ניקוי DI/אורגני, חיבור אוטקטיקי בוואקום, חיתוך ופריסה של וויפרס, הסרת שאריות באמצעות פלזמה, הדבקת ציריות במערכת אוטומטית לחלוטין, חיבור חוטות באופן חצי-אוטומטי או אוטומטי לחלוטין, פינוי ואקום ברמה גבוהה, וסגירה סופית בוואקום.

ניקוי: ניתן להשתמש בפתרונות כגון מים דיאלקטריים, אצטון ואלכוהול לניקוי חומרי אריזה ושבבים באמצעות שימור, שטיפה או ניקוי באולטרason.

שיזור:

משתמש בתהליך לחישול אוטקטי בריקוד עם רמת ריקוד של פחות מ-1 פסקל ומודול דיאוקסידציה מבוסס חומצה פורמית משולב, המאפשר לחישול אוטקטי עם חומרים לחישול בטמפרטורות נמוכות בטווח עד 450° צלזיוס ומקבל יחס חורים של פחות מ-1%; עוצמת המחבר החישולי של המוצר מוגברת באופן משמעותי באמצעות טיפול מקדים בחומר הלוחש והאופטימיזציה של פרופיל תהליך החישול.

חיתוך וויפרס:

משתמש בציוד חיתוך וניקוי משולב של DISCO, בעל יכולות חיתוך וניקוי אוטומטיות לחלוטין. על ידי שימוש בשני סוגי להבים – קשיחים ורכים – התוכנה תומכת בחיתוך חומרים מגוונים, כולל וויפרס (בגודל 8 אינץ' וקטנים יותר), תת-שכבות זכוכית, תת-שכבות ספיר, וקרמיקה.

הסרת שכבת אפר באמצעות פלזמה:

מפעיל ציוד עיבוד פלזמה מתקדם מבוסס RF ובוחר גזים לעיבוד – כגון N2, Ar, CF4 ו-O2 – כדי לנקות את המשטח ולהסיר שכבות זבילה במבנים של שבבים מסוג MEMS.

הדבקת שבבים:

זמינים שני תהליכים: ידני ואוטומטי במלואו, להדבקת דיאים. התהליך הידני מתאים לפרוטוטיפיזציה מהירה, תוך שימוש בפלטפורמת יישור אופטית דו-ממדית כדי לשמור על דיוק הדבקה בתוך 50 מיקרומטר. התהליך האוטומטי במלואו מיועד לייצור המוני, ותומך בהדבקת דיאים אוטומטית במלואו לוויפרס בגודל 8 אינץ' (וגודלים קטנים יותר); הוא תומך בגודלי דיאים בין 0.5 מ"מ × 0.5 מ"מ ל-20 מ"מ × 20 מ"מ, מאפשר תצורות שונות של דפוסי פיזור אפוקסי, ומשיג דיוק הדבקה בתוך 30 מיקרומטר.

הדבקת חוטים:

התהליך תומך בהדבקת כדורים והדבקת מסגרת, תוך שימוש בחוטי זהב או חוטי פלטינה-אירידיום. הוא תומך בקטרים של חוטים בין 20 מיקרומטר ל-50 מיקרומטר, ומאפשר הדבקה בחללים מעמיקים עד עומק של 25 מ"מ. הדבקה אוטומטית במלואה זמינה להדבקת כדורים מזהב. לאחר תהליך ההדבקה, ניתן למדוד את צורת החוט ואת חוזק הגריפה שלו באמצעות מיקרוסקופ מדידה ובוחן גריפה/דחיפה.

שאיבת ריק עליונה:

מערכת פליטה בריקות גבוהה עם 40 תחנות, הכוללת משאבות טורבו-מולקולריות בקוטר גדול ומשאבות יבשות מיובאות. המערכת מגיעה לריק מוחלט של 1×10⁻⁶ פסקל ולריק מוחלט במצב חם של ≤2×10⁻⁶ פסקל, מה שמהווה ערך מתאים לאריזת גלאי אינפרא אדום ללא קירור בריק, וכן להתקנים אחרים הדורשים רמות ריק נאמנות גבוהות.

אריזה הרמטית בריק: משתמשת בתהליך ריתוך חריצים מקבילים בריק או בתהליך איטום התכה בריק גבוה.

חדר ריתוך החריצים המקבילים בריק מוארק על ידי משאבות יבשות וקריו-משאבות, ומקבל רמת ריק תהליכית של 1×10⁻⁴ פסקל;

חדר איטום ההתכה בריק הגבוה מוארק על ידי משאבות יבשות ומשאבות טורבו-מולקולריות, ומקבל רמת ריק תהליכית טובה יותר מ־5×10⁻⁵ פסקל; שני החדרים מתאימים לאריזת רוב ההתקנים הדורשים רמות ריק גבוהות.

הצגת ציוד עיבוד נבחר:

הצגת דוגמאות:  

אריזה נאמנה במיוחד להתקנים אופטו-אלקטרוניים

אריזה לחיישנים אינפרא אדומים ללא קירור ולחיישנים אינפרא אדומים בטווח הגלים הקצרים (SWIR), וכן אריזות ממתכת ומחמר המצריכות אמינות גבוהה במבחני החסימה והריקוד.

מבחן התאמה לסביבה:

סט מלא של ציוד לבדיקת התאמה לסביבה, הכוללים בעיקר: תאי בדיקה לטמפרטורות גבוהות ונמוכות, גלאי דליפות, פלטפורמות שמן פלואוריד, ספסלי רטט, ספסלי מכה, ופלטפורמות מובנות לבדיקת פרמטרי אינפרא אדום.

(אנא פנו למפתחינו לקבלת פרטים ספציפיים על ציוד קו ייצור)