חיטוי יוני תגובתי (RIE) הוא טכניקה מרכזית בתעשיית המיקרואלקטרוניקה והייצור של מוליכים למחצה. כלים של RIE דורשים גזים כדי לפעול כראוי, כגון חמצן, חנקן, שילוב של ניטריד/הידריד וסולפורהקספלואוריד. לכל אחד מהגזים הללו יש פונקציה ייחודית כשמדובר בחטיבה של חומרים בקנה מידה מיקרוסקופי.

מכשור לחיטוי יוני תגובתי במכירה סיטונאית

קשה למצוא דילים טובים על ציוד RIE, אך קיימים מספר מקומות בהם ניתן לחפש. האפשרות הטובה ביותר היא לחפש בשווקים אונליין שונים לציוד תעשייתי. לאתרים יש בדרך כלל מספר מוכרים שונים, מה שמאפשר לך להשוות מחירים ולמצוא את הדילים הטובים ביותר. אפשרות מצוינת נוספת היא תערוכות תעשייה. יצרנים וקונים מתכנסים שם, ולעיתים ניתן למצוא דילים על טכנולוגיית RIE העדכנית ביותר.

בעיות נפוצות בחיטוי יוני תגובתי

במהלך פעילותה, עלולות להתפתח מספר בעיות נפוצות בציוד RIE. דאגה גדולה קשורה לגזים עצמם. מדי פעם, זרימת הגז יכולה להשתנות בצורה לא אחידה, מה שגורם לחטיבה לא אחידה. האיזון של גזים כגון חנקן ומימן יכול להשפיע על איכות החטיבה של החומר. זה עלול להוביל לשגיאות בתוצאה הסופית, ודבר כזה אף אחד לא רוצה.

אופטימיזציה של חטיבה יונית ריאקטיבית תחת 95% N2 ו-5% H2

חטיבה יונית ריאקטיבית (RIE) היא טכניקת עיבוד מוערכת עבור חומרים ב ציוד לעיבוד חוטים תערובת גז לעיצוב בהליך החטיבה, למשל 95% חנקן ו-5% מימן, כדי לשפר את התוצאות. שילוב שכזה יכול לסייע ביצירת דפוסים צלולים וחדים על חומרים. הנה כיצד לנצל במקסימום את הליך זה.

מהו גז סולפא הקספלואוריד בחטיבה יונית ריאקטיבית

קיימות מספר יתרונות גדולים בשימוש ב ציוד חבילת צ'יפים כגז תזונה באיטור יוניים ריאקטיבי. ראשית, SF6 מצוין באמת בהעברת חומרים כמו סיליקון וסיליקון דו-חמצני, שנעשה בהם שימוש נרחב באלקטרוניקה. כלומר, כשמשתמשים בחמף הגופרית, ניתן להשיג דפוסים נקיים ומדויקים הנדרשים לרכיבים אלקטרוניים קטנים.

היכן ללמוד עוד על איטור יוניים ריאקטיבי

אם ברצונכם להיכנס לעומק בנושא ציודquipment להזנת קיצים ישנם מספר מקורות שיכולים לעזור. ראשית, ניתן לבדוק באינטרנט. קיימים גם אתרים, פורומים ובלוגים רבים העוסקים בטכנולוגיה והנדסה. בפלטפורמות אלו מופיעים לרוב מאמרים שנכתבו על ידי מומחים בתחום האיטור היוניים הריאקטיבי, המציגים את מחשבותיהם וחווייתם עם השיטה.