ממס פוטו-רסיסט לדגימות מסוג צינור, מערכת בעירת דגימות

ציוד להסרת פוטורזיסט באמצעות מיקרוגל לבלוקים של וויפרס

המראה החיצוני של הציוד נתון לשדרוגים התמידיים וההתאמות; המוצר המסופק בפועל יקבע את הסטנדרט.

ה-MDST-3300 הוא מערכת אשבור במיקרוגל לביצוע בלוקים, המבוססת על קסטים לווייפרס, המיועדת ליישומים כגון הסרת פוטורזיסט, הסרת שאריות לאחר תהליך חימום, ניקוי וויפרס, הסרת שאריות לאחר תהליכים רטובים, ניקוי שאריות משטח הוויפרס והסרת שאריות לאחר תהליך הפיתוח. אלקטרונים חופשיים נעים ויוצרים פלזמה הפועלת על הפוטורזיסט על פני השטח של הוויפרס הנמצאים בתוך הקסיט הזקוק בתוך המגש. פלזמה צפופה ורציפה נוצרת על ידי הפעלת אנרגיית מיקרוגל בתדר 13.56 MHz על דפנות המגש הריק. המגש מסוגל להכיל קסיטים זכוכיתיים לווייפרס בגודל 4–8 אינץ'.

ה-MDST-2300 מספק ניקוי פלזמה מהיר וחופשי מפגיעות. המערכת מגשימה את אפקט הניקוי הזה דרך תגובות כימיות בין רדיקלים מופעלים לפוטורזיסט על פני שטח הוויפרס.

עקרון פעולה:

משמים שדה חשמלי על גז התהליך כדי ליינן אותו לפלזמה. הרכיבים "הפעילים" של הפלזמה כוללים יונים, אלקטרונים, אטומים, רדיקלים חופשיים, מינים במצב מעורר (מצבים מתמידים) ופוטונים. טיפול בפלזמה משתמש בתכונות של הרכיבים הפעילים האלה כדי להניע תגובות פיזיקליות וכימיות — כגון חמצון, הפחתה, שבירת קשרים, צירוב ופולימריזציה — ובכך לשנות את מאפייני המשטח של הדגימה. תהליך זה מעדכן את ביצועי המשטח ומאפשר להשיג מטרות כגון ניקוי, שינוי משטח וסריקת שאריות.

הטבות:

1. תקעים גמישים להחזקת מוצרים מתאימים לוויפרים בעלי צורה לא סדירה;

2. פלזמה בטמפרטורה נמוכה מונעת נזק תרמי לוויפרים;

3. פלזמה חשמלית נייטרלית מונעת נזק חשמלי לוויפרים;

4. פלזמה בעלת יעילות גבוהה ואחידות גבוהה מבטיחה הסרה אפקטיבית של פוטו-רסיסט;

5. רמת יינון ופירוק גבוהה של הפלזמה;

6. תהליך חריטה יבשה מאלץ מקורות זיהום;

7. בקרת הלחץ והטמפרטורה מתבצעת באמצעות שסתום פרפר;

8. מסוגל לשמור על פלזמה בלחצים גבוהים של גז;

9. מקור מתח גבוה מופרד מהמחולל יונים;

10. תואם לקישור מיקרוגל ותצורות מעגל מגנטי.

מבנה המוצר:

מערכת הטיפול במשטח פלזמה כוללת בעיקר שלושה חלקים: תאי ריק ומערכת הריק, מחולל תדר רדיו ומערכת הבקרה.

(א) תאי ריק ומערכת יצירת הריק:

תאי הריק מותקן באופן קבוע בתוך מסגרת הארון, עם דלתות ניתנות להסרה משני הצדדים, מה שמאפשר נוחות רבה בתחזוקת התא הפנימי ומערכת הריק. מערכת יצירת הריק מורכבת בעיקר מצלעות גומי קורוגיות, חיבורים מסוג KF וממיסות ריק, כאשר הרכיב המרכזי הוא ממיסת הריק (קבוצת ממיסות הריק).

(ב) מחולל תדר רדיו:

מחולל התדר הרדיו מצויד בהספק של 1000 וואט לייצור תדר רדיו, ואנרגיית מיקרוגל מוזרמת לתא קוורץ פלזמה דרך מכשיר התאמה כדי ליצור פלזמה.

(ג) מערכת הבקרה:

מערכת זו משתמשת במסכי תצוגה תעשייתיים, מערכות בקרת PC תעשייתית, ועיצוב ממשק סיני. בקרת תהליך של ציוד: פמפיית ואקום מתחילה -> סחלון הגב פתוח -> מגיעה דרגת ואקום מוגדרת -> גז תהליך מופץ -> מקור RF מייצר אנרגיה RF -> אנרגיה RF מופקת אל תוך החדר -> פלזמה נוצרת בחדר -> זמן עבודה עד שהאקום נש הציוד זמין בשני מצבים: אוטומטי ודווקא.

מפרטי מוצר: