הדבר הראשון שנעשה הוא לכסות את פני השטח של החומר הבסיסי בחומר שמשתנה תחת השפעת אור. זה חומר פוטוסנסיטיבי, שיש לו תפקיד מכריע בתהליך. לאחר מכן אנו משתמשים במסך עם דפוס כלשהו על שטחו, ומניחים אותו מעל השכבה הזו. המסך משמש כStencil עם חורים שמעבירים אור דרך מקומות נבחרים. לאחר מכן, אנו מגלה את הדפוס על המסך לאור UV שאיננו יכולים לראות. האור הזה יוצר תמונה של החומר הפוטוסנסיטיבי, בצורה דומה לכך כיצד אור השמש יכול ליצור צל כאשר אתה מאיר אותו דרך צורה חתוכה. הצעד הסופי כולל את טביעה של הבסיס בפתרון מסוים שנקרא מפתח. התהליך הזה מסיר את החלק של שכבה הפוטוסנסיטיבית שהחשיפה לאור והצגה דפוס על החומר הבסיסי.
IN מחבר תיל אחת מהחלקים הגדולים ביותר שחייבים להישלט הם השגיאות שמתרחשות במהלך שלושת השלבים העיקרייים, ומאוד חשוב לקבל תוצאות טובות ומדויקייקות. כיסוי a) הכיסוי כולל את הכיסוי התואם של החומר הפוטוסנסייבי על החומר הבסיסי. כלומר, כל חלק של החומר הבסיסי חייב לקבל את אותה מידה של המרכיב המיוחד. במילים אחרות, אנו משתמשים בדרך כלל במכונות כדי להשיג את אותו פני השטח ישרים ומplevelים מושלמים. במהלך שלב זה, אנו בודקים את איכות (אין גבעולות או פגמים בצד השטח)
הפתרון של המפתח משמש כדי להסיר את החלק שהותגלה של החומר, יוצר תבנית במהלך שלב 3; פיתוח. אבל עדיין ניתן לטעות בשלב זה. לא רוצים להשאיר את החומר בפתרון זמן רב מדי ואם הפתרון חזק מדי, הוא יאכל את התבנית שאנו מנסים ליצור. לכן, עלינו לשלוט בצורה מאוד מדוייקת בזמן והריכוז של פתרון המפתח כדי לקבל תוצאות טובות.
היתרון העיקרי של מכונה למחבר חוטים הוא היכולת לתאר רכיבים קטנים ביותר. זה מאפשר לנו לייצר חלקים קטנים ומעללים. השיטה גם מועילה מאוד לייצור מסיבי; היא מאפשרת לנו לייצר הרבה חלקים תוך זמן קצר. זה במיוחד קריטי בתעשיות עם דרישה גבוהה מאוד לפארט מסוים זהה (כמו תעשיית ייצור אלקטרוניקה).
מצד שני, יש גם כמה חסרונות. העלות הגבוהה של פוטוליתוגרפיה באמצעות מסך ביחס למכונות וכן החומרים שמשתמשים בהם היא אחת המגבלות הגדולות ביותר של השיטה זו. המכונות יכולות להיות יקרות בצורה אסורה, ובנוסף אנו זקוקים בחומרים גולמיים באיכות גבוהה, שגם הם עלולים להשתלם בעלות גבוהה מאוד.ßerdem, אי אפשר ליצור תכונות קטנות יותר מ- 10 ננומטר באמצעות שיטה זו. זה משמעותי מכיוון שאנו מנסים לבנות דברים קטנים וחזקים יותר כל הזמן. בנוסף, התהליך הזה חשוף במיוחד לתזוזה ועליו להתבצע בסביבה נקייה מאוד (המכונה בדרך כלל נקראת 'חדר נקי'). דרישה זו יכולה להפוך את הדברים קצת מורכבים ויקר יותר.
בתחומים מאלקטרוניקה עד לרפואה, פוטוליתוגרפיה של התאמה באמצעות מסכה היא מבוססת על מחקר ופיתוח בסיסיים. יישום החומר SU-8 הוא חיוני לחלוטין בתעשיה האלקטרונית לייצור תכשירים מיקרואלקטרוניים כמו מעגלים משלבים, חיישנים ומצגות. ייצור המבנים האלה דרש מספר כלים מיוחדים שתוכננו לביצוע עבודה זו, עם דוגמאות טובות כמו מערכת ההתאמה באמצעות מסכה EVG(R) ומערכת איחוד לוחות (wafer bonding) EVG(R).
לדוגמה, בחקר רפואי, פוטוליתוגרפיה משמשת לבניית תעלות מיקרוסקופיות לאנליזה של נוזלים גוף; טכנולוגיה זו היא חלק ממה שנקרא מעבדה על שבב. באמצעות טכנולוגיה זו ניתן לחקור נוזלים במהירות ובמדויק כדי להאיר עוד אור על בריאותו של המטופל. השימוש במעריך מסכה (mask aligner) בפוטוליתוגרפיה לייצור מערכות מיקרו וננו-פלואידיות גם הוא אפשרי. אם נכונות, המערכות האלה יגדילו את הדיוק של מנות התרופות עבור המטופלים, ויעלו את התועלת והבטיחות של הטיפולים.
כל הזכויות שמורות © לתאגיד Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. כל הזכויות שמורות