חריצה כימית שיקוע תגובה חריצה יונית מכונת חריצה יונית-Reactive (RIE) , China חריצה כימית שיקוע תגובה חריצה יונית מכונת חריצה יונית-Reactive (RIE) Manufacturers, Suppliers, Factory

תיאור המוצר

RIE Reaction Ion Etching Machine

היישומים המחקריים של מכונות חריצה בפלזמה (RIE) בתחומי ייצור השבבים והעיבוד המיקרו-ננומטרי באים לידי ביטוי את עיבוד המבנים בסקלת ננומטר, חריצה של חומרים חדשים, ייצור של התקנים מורכבים, ופריצות דרך בטכנולוגיות בין-תחומיות. הערך המרכזי שלה נמצא ביצירת הסרת חומר ברמת דיוק ובבחירה גבוהה באמצעות שליטה משותפת של פגיעה פיזיקלית ותגובות כימיות. תומכת במחקר בקצה הקידמי של טכנולוגיית השבבים והחדשנות בהתקנים.

מאפיינים של ציוד:

1. דיוק גבוה ואניזוטרופיה: היא מאפשרת חריצה של צורות עם קירות צדדים חדים ומידות מדויקות.
2. אחידות וחוזר על עצמו טובות: מתאימות לייצור בקנה מידה גדול.
3. יישום רחב של חומרים: על ידי בחירת שילובי גז שונים, ניתן לחפור diverse חומרים ( מוליכים למחצה, דיאלקטרים, מתכות וכו')
4. יחס סלקטיביות גבוה: הוא יכול לחפור באופן מדויק חומרים ספציפיים מבלי לגרום לנזק משמעותי לחומרים אחרים.
5. ניקוי: תהליך יבש, מ previa שאלות כמו ניקוי וטיפול בנוזל פסול שנוצר בתהליך החפירה הרטובה.

מפרט

התקנת מערכת:

חימום חשמלי	מְכוּנָה (מִפְתָּח בּוֹדֵד)
חימום חשמלי		N/A
סוג אלקטרודה תחתונה	242מ"מ
טווח טמפרטורת תהליך	-20-100°c
מקור PLASMA	600W-1000W
גודל מד לחץ תהליך	100mtorr
מערכת וואקום	יחידות משאבה מולקולרית, מערכות משאבה יבשה, מיכל תהליך
מספר מיכלי האטימה	חדר יחיד
קLEMות	סוּג	גודל/mm	חומר
קLEMות		N/A	8、6、4、3、2
גלאי נקודת קצה	אפשרות
פלזמה מצומדת אינדוקטיבית	אפשרות

פרמטרים טכניים:

חומר חיתוך	Si, Sio, Sin, Sau, Pt, Al
מהירות האטימה	>20 ננומטר/דקה (חומר Si02) המהירויות של חומרים שונים אינן זהות
שליטה מבוזרת	>85°
שיטת טעינה	טעינה פתוחה
קו גז נשלט על ידי MFC	שישה מיכלי גז זמינים
אופציה לקרור בגב הליום	כן
ממשק אדם-מכונה	ממשק מסך מגע
מצב פעולה	מצב אוטומטי מלא, מצב לא אוטומטי מלא
בחירת והגדרת התקנים אוטומטיים	ניתן לבחור בין חלפים מיובאים למקומיים

מקרי שימוש

אריזה & שipment

פרופילrofile של החברה

מאז 2014, מינדר הייטק הינה נציגת מכירות ושרות בתעשייה של ציוד למכשור אלקטרוני וסמי-קונדקטור. אנו מחויבים לספק ללקוחות פתרונות מתקדמים, אמינים ומקיף אחד-לuned עבור ציוד מכשורי. נכון להיום, מוצרי המותג שלנו התפשטו למדינות מפותחות ברחבי העולם, ועוזרים ללקוחות לשכלל יעילות, להפחית עלויות ולשכלל את איכות המוצרים.

שאלות נפוצות

1. אודות מחיר:
כל המחירים שלנו הם מתחרים ונגופי-משא ומתן. המחיר משתנה בהתאם לתצורה והסיבוכיות של ההעתקה של המכשיר שלך.

2. אודות דוגמה:
אנחנו יכולים לספק לך שירותי ייצור דוגמאות, אך עשויים להיות עליך לשלם כמה סכומים.

3. על תשלום:
לאחר אישור התוכנית, עליך לשלם לנו תשלומים מראש, והמפעל יתחיל להכין את המוצרים. לאחר שהציוד יהיה מוכן ואתה משלם את השארית, נשלח אותו.

4. על משלוח:
לאחר השלמת ייצור המיתוג, נשלח אליכם את וידאו ההסכמה, ואתם גם יכולים לבוא לאתר כדי להעריך את המיתוג.

5. התקנה ובדיקה:
לאחר שהמיתוג מגיע למפעל שלכם, נוכל לשלוח מהנדסים להתקין ולהדביק את המיתוג. נספק לכם הצעת מחיר נפרדת עבור שכר השירות הזה.

6. על אחריות:
למיטלנו יש תקופת אחריות של 12 חודשים. לאחר תקופת האחריות, אם חלקים כלשהם ניזוקים וצריכים להוחלף, נטיל רק את מחיר העלות.

7. שירות לאחר המכירה:
כל המכונות תופענה בתקופת אחריות של מעל שנה. המהנדסים הטכניים שלנו זמינים תמיד באינטרנט כדי לספק לכם שירותי התקנה, ניפוי שגיאות ותחזוקה של ציוד. אנו יכולים לספק שירותים של התקנה וניפוי שגיאות במקום עבור ציוד מיוחד וגדול.

דף הבית

עַל אָמַת

ציודquipment MH

פתרון

משתמשים מחוץ לארץ

וידאוيديו

לְהִתְחַבֵּר אֵלֵינוּ

חריצה כימית שיקוע תגובה חריצה יונית מכונת חריצה יונית-Reactive (RIE)

RIE Reaction Ion Etching Machine

מאפיינים של ציוד:

מוצרים נוספים

סדרה MD-FS של מכונת כריכה לקפצרים

סדרה MD-FDS של מכונת כריכה אוטומטית לקפצרים

סדרה MD-EFS - מכונה לסיבוב קפצ'ר

סדרה MD-EDFS - מכונה לסיבוב קפצ'ר מסוג סרט

חֲקִירָה

Articles

Products

Get In Touch

חריצה כימית שיקוע תגובה חריצה יונית מכונת חריצה יונית-Reactive (RIE)

RIE Reaction Ion Etching Machine

מאפיינים של ציוד:

מוצרים נוספים

חֲקִירָה

Articles

Products

Get In Touch

התקשרו אלינו