Reactive Ion Etching System RIE , China Reactive Ion Etching System RIE Manufacturers, Suppliers, Factory

Vöruskýring

Reaktiv jónabryni (RIE)

Reactive ion etching (RIE) getur verið notuð til að forbera mikro-nano strúkturnar og er einn af rannsóknarræktunaraðgerðum við framleiðslu hlutafalls. Á meðan RIE etching ferlið gerist, myndast ýmisstæðir virkar leikjapartikelur í plasma þáttir sem samþætta sig við yfirborðið á efnum til að búa til flugvæðar vöru. Þessar vöru eru fjarlægðar frá yfirborðinu á efnum, og lokar því anisotrópisk mikrostrúktúr etching á yfirborðinu á efnum. Vörurnar í röðinni reactive ion etcher (RIE) byggja á flatplata-kapasitíva tengd plasma teknologi og passa fyrir mönunar etching af silís efnum eins og enungarsilís, margflokkaður silís, silís nitrid (SiNy), silís oksíð (SiO), kvarts (Quartz) og silís carbide (SiC); getur verið notuð fyrir mönunar- og efna de-layering etching af efnalífi eins og photoresist (PR), PMMAHDMS og öðrum efnum; getur verið notuð fyrir efnaskipta etching af metál efnum eins og níkel (Ni), króm (Cr) og keramískum efnum; getur verið notuð fyrir efnaskipta etching af metál efnum eins og indium phosphide (InP) við hermligri hitastig. Fyrir sum etching með hærri ræktunarforleiti, má líka nota ICP RIE etching okkar.

Aðalstilling:

1. Stuðningur fyrir mælisölu: 4, 8, 12 töflur, samþykkt með margföldum litlum mælisölum, stuðningur fyrir síðgreiningu
2. RF rafplasmar afmarkaður: 300/500/1000 W valinlegur;
3. Þungapumpa: 620/1300 //s valinleg, valinn korrúsjónspumpusetningur;
4. Fornpumpa: vélolpumpa/tárumpa valinleg;
5. Trykjavöruð: 0~1 Torr valið; konfigúrar án trykjavöru eru líka mögulegar,
6. Ferlagsgas: að hámarki 9 ferlagsgasar geta verið tengdir saman; hiti: 10 gráður ~ hermeiti/-30 gráður~ hermeiti/sérsniðin hitarúm,
7. Bakvið heliumkylingu er hægt að víkka eftir notkun;
8. Fjarlægba fangspakki mot pollution;
9. Hleðslulás er valin;
10. Alveg sjálfvirk stýringarkerfi með einni hnappi;

RIE Samsvarandi efni:

1. Efni sem byggja á silíkon: silíkon (Si), silíkon dióksíð (SiO2), silíkon nitrið (SiNx), silíkon karbíð (SiC)
2. III-V efni: indium fosfíð (InP), gallíum arseníð (GaAs), gallíum nitrið (GaN)
3. II-VI efni: kadmíum telúríð (CdTe)
4. Magnúska stofa/samblandastofa
5. Metálstofa: alúmín (AI), gull (Au), tungsten (W), títán (Ti), tántál (Ta)
6. Fjölgengistofa: ljósmörk (PR), fjölgengi polymer (PMMA/HDMS), org

RIE Tengd Aðgerðir:

1. Skurð á silíkonfyrirtækjum, nánuritmyndum, fylki mynda og linsskjal;
2. Hitiþungur etching á indium phosphide (InP), myndgerð etching á InP-þjónustu í ljósfræðilegum tækifærum, þar á meðal vígfyrirbærir, hljómkúmmi fyrirbærir og hryggfyrirbærir;
3. Etching á SiC-efni, eignast til mikrobólva tækifastra, krafttækifastra o.s.frv.;
4. Samskeytt etching er notuð fyrir ákveðin metál, eins og nikkel (Ni), króm (Cr), keramík og önnur efni sem eru vandamál að etcha kjemiliga, og myndgerð etching á efnum er náð með samskeytingarbombing;
5. Etching á sameinduðum efnum er notuð fyrir etching, reynslu og fjarlægingu sameinduðra efna eins og ljósmot (Photo Resist), PMMA, HDMS, Polymer;
6. De-layering etching fyrir spurningarskilningu á chips (Failure Analysis-FA);
7. Græðsla af tveggja víddar stofum: W, Mo tveggja víddar stofur, graphene;

Niðurstöður á viðskiptaumfelli:

Verkefni stilling og vélar gerðarskÿringur

Item	MD150-RIE	MD200-RIE	MD200C-RIE
Vöru Stærð	≤6 þyngdi	≤8 þyngdi	≤8 þyngdi
RF vöruvöruvörn	0-300W/500W/1000W Vinnur, sjálfvirkt samstillt
Sameindar pumpe	-\/620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Sérsniðin			Efnahreinsun620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Sérsniðin
Forspánpumpe	Vélamælupumpe\/turrpumpe			Þurrdæla
Ferliþrýsting	Óstjórnvað þrýsting\/0-1Torr stjórnaður þrýsting
Gástegund	H\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/SF6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Sérsniðin (Upplín að 9 slemborð, enginn korrósívar\/giftig gás)			H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr (Upp í 9 kanar)
Gássvið	0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/sérsniður
Hleðslulæsi	Já/Nei			Já
Hitastjórnun prufu	10°C~Herbergis hiti/-30°C~100°C/sérsniður			-30°C~100°C/sérsniður
Bakvið heliumkyling	Já/Nei			Já
Línun á ferlihólunni	Já/Nei			Já
Hitastjórnun veggja hólunnar	Engin/Rúmstempur~60/120°C			Rúmstempur-60/120°C
Stjórnkerfi	Sjálfvirkt/sérsniðið
Ettingarmaterial	Silíkonsbasið:Si/SiO2/SiNx··· IV-IV: SiC Magnúsafjöldamaterial/flokkamaterial Metallmaterial: Ni/Cr/Al/Au..... Efnisefni: PR/PMMA/HDMS/Efnisefni þynning......			Silicon-basð: Si/SiO2/SiNx...... III-V (athugasemd 3): InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI (athugasemd 3): CdTe...... Magnúsafjöldamaterial/flokkamaterial Metall-svið: Ni/Cr/A1/Au...... Efnastofur: PR/PMMA/HDMS /fjölbreytt mynd......

Raunverulegar myndir af rannsakaðu og verkjafyrirtækjum

Pakking & Afhentun

Fyrirtækisupplýsingar

Minder-Hightech er sölu- og þjónustufræði fyrir tækifæri í rafmagns- og elektróníusviðfanginu. Áður en 2014, var fyrirtækið áhugavert við að borga viðskiptavinum bestu, fullyrðilegu og einnig alls konar lausnir fyrir tækin.

Algengar spurningar

1. Um verð:
Allt voru verð eru einkenni og samþætta. Verðið breytist eftir því hvað konfigúrúnin er og hvernig flóknari sé sjálfstætt fyrir tækið.

2. Um úrtak:
Við getum boðið úrtaksframleiðsluþjónustur fyrir þig, en þú ætlar að greiða einhverja gjaldmiður.

3. Um greiðslu:
Eftir að planið hefur verið staðfest, þarftu að greiða okkur forsendu fyrst, og ríkisvörumerki byrjar að búa til vörurnar. Eftir að tækifærið er klárað og þú hefur greiðið endargreiðslu, sendum við það.

4. Um sendingu:
Eftir að framleiding tækisins er lokið, sendum við þér athugunarmyndsband, og þú getur líka farið á staðsetninguna til að skoða tækið.

5. Uppsetning og ferning:
Eftir að tækjaskipulag er komið í verkstæðina þína getum við send haustverkamenn til að setja upp og athuga tækið. Við munum bera ykkur til áskrift fyrir þessaþjónustukostnað.

6. Um vöruverja:
Tækjam okra 12 mánaða tryggingartímabil. Eftir tryggingartímabilið, ef einhver hluti er brotinn og þarf að skipta út, munum við aðeins kenngjá kostprísið.

Forsíða

Um okkur

MH Equipment

Lausn

Notendur í erlendum

Myndband

Hafa samband

Reactive Ion Etching System RIE

Reaktiv jónabryni (RIE)

Aðalstilling:

RIE Samsvarandi efni:

RIE Tengd Aðgerðir:

Aðrar vöruútskriftir

MD-FS röð kapparvélar

MD-FDS röð sjálfvirku kapparvélar

MD-EFS röð kapparvélar

MD-EDFS röð plím kapparvélar

Fyrirspurn

Articles

Products

Get In Touch