Inngangur:
Tæki fyrir magnetron-sprautunargufu eru sérstök rannsóknarstofn-tæki fyrir gufugjörð sem þróuðum við fyrirtækið okkar. Tækin eru hægt að útbúa með jafnstraumafmæli og RF-afmæli. Afmælisvæðið er frá 500 W til 1000 W. Í samanburði við hefðbundna plösmusprautunargufu hefur magnetron-sprautunargufa kosti eins og hærra orku, hærra hraða, hærra afsetningaráhraða og lægra hitastig á prufuúrvali. Magnetron-málningarmarkmiðið er útbúið með vatnskýldum millilag. Vatnskýlirinn getur áhrifamiklar tekið burtu hitann og kynnst hitasafnun á yfirborði markmiðsins, svo að magnetron-málningin geti starfað stöðugt í langan tíma. Eftir þétt hönnun hefur verið náð jafnvægi milli rúmmáls og afkvæmis, útlit tækisins er fallegt og það hefur almennan virkni. Allt tækið er stýrt með snertistýringu og innbyggðum einhnappastýringarforriti fyrir málningu, sem gerir notkun þess auðveldri og það er í raun huglæg tæki fyrir framleiðslu þunnra filmu í rannsóknarstofn.
Notkun:
Hægt er að nota það til að framleiða einlaga eða marglaga rafeindaleiðandi þunnar filmur, leiðandi filmur, legeringsfilmur, hálfleiðandafilmur, keramískar filmur, dielektriskar filmur, ljósfræðilegar filmur o.s.frv.