Inngangur:
Þetta tæki samanstår aðallega af vakuumskáldu úr rostfritt stál, sputter-magnetrónmörk, þyngdarmyndunaraðgerð, prófborði til að setja próf á, vakuumpumpueiningu, vakuummælingavísum, loftinntökukerfi og stjórnkerfi. Aðalhlutinn í þessu tæki er stjórnaður með snertistýringu og mældur með hitastýringarvísum. Stafrænn viðmótsgátt fyrir stillingar og sjálfvirk rekstrarleiðsaga veita notendum frábæran rannsóknar- og þróunarstað. Vakuumskáldan hefur neðri mörk, og prófborðið hefur hitunarfunktsjón og snúningssnið, sem gerir mögulegt að ná jafnari þyngdarmyndun. Kerfið til að ná vakuumi í þessu tæki notar tvö-stigavakuumpumpugruppu. Fyrsta stigs pumpa er hraðvirk mekanísk pumpa sem minnkar áhrifamikil tímaþörf frá venjulegum loftþrýstingi til lágvakuums. Aðalpumpan er rafmagnspumpa með háa þrýstingstíðni og hraðari vakuumnám. Heildarkerfið til að ná vakuumi er hreint og hratt.
Notkun:
Hægt er að nota það til að framleiða einlaga eða marglaga rafeindaleiðandi þunnar filmur, leiðandi filmur, legeringsfilmur, hálfleiðandafilmur, keramískar filmur, dielektriskar filmur, ljósfræðilegar filmur o.s.frv.