Nákvæm CMP-kerfi

MDAM-CMP100 / MDAM-CMP150

Nákvæm CMP-kerfi

Yfirlit yfir búnað:

Nákvæmt CMP-kerfi er aðallega notað til slípunar og þunnunarskána á helstu hálfleiðarhringja, svo sem silíkón, kísilíoxíð og indín-antimóníð fókusplönuhringja, og kemísk-mekkánískur polishing á neðri, efri og enda yfirborði.

Allt tækið og allir hlutar tækninnar eru fullkomnlega mótvært með óróttun, og hægt er að stilla ferluparámetra í gegnum snertiskjá reiknivélina.

Stærð vörpúða sem hægt er að vinna:

Stærð vörpúða ≤ 152 mm / 6 tommur

Þunnustu sem hægt er að vinna er 50 μm ~ 10 mm

Náðar ferlumarkvörpunar:

1. Heildarþyngdarmismunur (TTV) á 75 mm hringskífu er innan 2 μm;

2. Heildarþyngdarmismunur (TTV) á 100 mm hringskífu er innan 3 μm;

3. Heildarþyngdarmismunur (TTV) á 150 mm hringskífu er innan 4 μm.

Tegundir sýna sem hægt er að vinna:

Silíkón, silíkónkarbíð, dimantur, keramik, gallínítríð, kvarts, gallíntímálmur, indíumfosfíð, gallíntvíleifur, kadmíum-bleikjatellúr, kvikasilfur-kadmíum-tellúr, litíumníóbát og aðrar hálfleiðismagnvöru.

Eiginleikar tækja:

1. Upplausn á endapunktsskynjunarfalli til stjórnunar þykktar sýnunnar.

2. Í rauntíma stjórnun á hitastigi og kælingu á slíp- og polírsléttu.

3. Fjölraungar fæðuskerfi.

4. Sjálfvirk vökvaþvottaraðferð fyrir slíp- og polírsléttu.

5. Sjálfvirk endurbótarskerfi fyrir sléttu.

6. Fasthaldarinn er útbúinn með stafrænni þykktarmælitöflu með mæligildi á 0,1 μm.

Tæknilegar breytur:

Útbúnaður tæknisins:

Algengar spurningar

1. Um verð:

Allt voru verð eru einkenni og samþætta. Verðið breytist eftir því hvað konfigúrúnin er og hvernig flóknari sé sjálfstætt fyrir tækið.

2. Um úrtak:

Við getum boðið úrtaksframleiðsluþjónustur fyrir þig, en þú ætlar að greiða einhverja gjaldmiður.

3. Um greiðslu:

Eftir að planið hefur verið staðfest, þarftu að greiða okkur forsendu fyrst, og ríkisvörumerki byrjar að búa til vörurnar. Eftir að tækifærið er klárað og þú hefur greiðið endargreiðslu, sendum við það.

4. Um sendingu:

Eftir að framleiding tækisins er lokið, sendum við þér athugunarmyndsband, og þú getur líka farið á staðsetninguna til að skoða tækið.

5. Uppsetning og ferning:

Eftir að tækjaskipulag er komið í verkstæðina þína getum við send haustverkamenn til að setja upp og athuga tækið. Við munum bera ykkur til áskrift fyrir þessaþjónustukostnað.

6. Um vöruverja:

Tækjam okra 12 mánaða tryggingartímabil. Eftir tryggingartímabilið, ef einhver hluti er brotinn og þarf að skipta út, munum við aðeins kenngjá kostprísið.

7. Eftir sölu þjónusta:

Allar vélar hafa ársgang eða lengra. Tæknistjórar okkar eru alltaf aðgengilegir á netinu til að veita þér uppsetningu, skilgreiningu og viðhaldsþjónustu fyrir búnaðinn. Við getum veitt uppsetningu og skilgreiningu á staðnum fyrir sérstakan og stóran búnað.