Þetta er lágspenna mikrobólsvillumeiða hreinsunarkerfi fyrir haldafræði. Með því að nota mikroból á tíðni 2,45GHz við gluggann á veggi rúmkerfisins, eru stórir fjöldi samfelld Plasma búin til, og spjallin eru hreinsuð með því að fara inn í rúmið.
Undirbætandi aðstæður: 1. Plasma er óhlaðin og mun ekki valda skemmdum á rásarhverfum 2. Halda hitastigið lágt á meðan meðferðin fer fram 3. Hraði viðbráða er hröður og viðbrögðin stutt 4. Engar rafstöðvar, engin mengunaraðstæður, lang líftími 5. Getur viðhaldað plösum undir hátt þrýstis 6. Míkróbylgjuhnit og segulrásir eru samhæfðar 7. Lágar kröfur til sjálfvirkra spennuáhrif 8. Háspennukelda og framleiðslaerfi eru einangruð frá hverju öðru af öryggisástæðum 9. Þurrðaretsing, engin mengunaraðstæður
Notkunarsvið: Fyrir undirbætanda meðferð fyrir tengingar á hálfleiðarhringja, undirbætanda meðferð fyrir plastpakkun, fjarlægingu ljósavörpunnar, tengingar á málm og undirbætanda meðferð