MDLB-MC200 Photomask cleaner

- Nei, ekki.

Verkefni

Sérstöðu

Athugasemdir

1

Yfirlit yfir tæki

Tækjaheiti: Ljósþungu stofnari

Tækipróf: MDLB-MC200

Almenningar stærðir (þekkt): 1300mm (B) * 1000mm (L) * 1950mm (H)

Heildarvegur tækkisins (þekkt): 300KG

Staðsetningartöflur: 900 ± 50mm

Grundstæður stærðir: viðeigandi fyrir 2/4/5/6/8 colli ferninga maska plötur

Verkfæri flæði: handvirkt setja upp wafers → stofnun (børð, stofnunarlausn → hátryggt vatn → megasona vatn → afionized vatn → kólníll gas drafning) → handvirkt fjarlægja wafers

Tækjategund: hálfátt, handvirkt hlaða og úthlaða

2

Tækjagerð

Skál: rústalaus stál, slættur, mótvaranlegur, auðvelt að þykkja

Þykkingarherbergi: PP, slættur, mótvaranlegur, auðvelt að þykkja

Vatnslína: notuð er PU/PFA vatnslína

Vinna ljósi: mótvaranlegt gult ljós

Opnunargát: tvöfaldar durum með varp á opnun

Rýringarskjár: 10 töflu fullt litagett rýringarskjár * 1

FFU: Flokki 100

Lækka botnstöðva: tiltæk

3

Há stöðugur servo-móturr

Fjöldi: 1

Hraði: -3000~3000rpm

Tóm fyrir hlaup

Hæsta hröðun á spindlum: 3000rpm/S

Tóm fyrir hlaup

Hraðanauðkynning: ± 1rpm (50rpm~3000rpm)

Hraðulysing: 1rpm

4

Svæfnumari sjálfvirkur

Fjöldi: 3

Hraði svæfnums: 1~30 °/S

5

Þyðingaraðil

Þyðingarsvæfn: 1 slefi af ójónaðsvatni, 1 slefi af kúlþungahiti

Megasonic Arm: 1 Megasonic, 1 háþrýst vatn

Borðslefa: 1 borð, 1 vatn, 1 þyðingalausn

Þyðingaraðferð: sjálfvirki þyðing

Ójónaðsvatnsdráttargerð: tiltæk

Úfisk (ójónaðsvatn): 1 leið

Forsendugerð: Þyðingalausn: Membránpumpe

Ójónaðsvatn: birt beint af verkfanginu

Þrýstingartankur með líkvamstjái

6

Borðabursta

Magn: 1 (með sjálfvirkri hreinsunargervi)

Hraði: upp á 1000rpm, víxlhraða

Hæð handvirkt víxlbara

7

Bætur fyrir hlutana

Magn: 5

Efni: PPS + rjúpastaður stál

Stærð: Svið fyrir 2/4/5/6/8 tomma ferningsskygguborð

Gervi til að fastsetja grunnþéttina: Klóagervi

8

Stjórnkerfi

Stjórnkerfi: notar PLC stjórnun

Forrit: 100 hópar, hverur hópur bestið af 100 skrefum, með hámarksskrefatíma á 3000.0 sekúndur

Upplausn: 0.1S

Það er hægt að vista forritið, kalla það fram, breyta því og eyða því

Stilltu afslóðarréttindi: fyrir tímarafærismenn, verktakendur, stjórnenda og gerðara á sama tíma

Távutökuþýsti: rauður, gulur, grænn 3 litir