Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Fá tilboð

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Forsíða
Um Okkur
MH Tækifæri
Lausn
Notendur Uti á Landinu
Myndband
Hafa Samband Við Okkur
Heim > PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • MDICP-5000F Fullvísleg loftlæst samþjálfur plasma brottingaraðferðarvél
  • MDICP-5000F Fullvísleg loftlæst samþjálfur plasma brottingaraðferðarvél
  • MDICP-5000F Fullvísleg loftlæst samþjálfur plasma brottingaraðferðarvél
  • MDICP-5000F Fullvísleg loftlæst samþjálfur plasma brottingaraðferðarvél

MDICP-5000F Fullvísleg loftlæst samþjálfur plasma brottingaraðferðarvél

Lýsingarmynd: MDICP-5000F

Fáðu ókeypis tilboð
MDICP-5000F Fullvísleg loftlæst samþjálfur plasma brottingaraðferðarvél
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

Yfirlitskýring:

Áfangurinn er kerfi af tveimur herbergjum í vakuða. Eitt herbergi er innsetningargerðin og hinar herbergi eru brottingargerðin. Vakuðalas af gerðinni er sett upp milli innsetningarherbergisins og brottingargerðarinnar, og innsetningargerðin fer fram með handvirki.
Tökuæfið er afgangslega sett saman af vacuumkerfi, gásferðakerfi, rafrænakerfi, stjórnunarkerfi, kólnakerfi, myndbandssendingu og -tökuþættingu, vísingarkerfi, o.s.frv.

Vökuumskerfi:

Kerfið bestar á molekúlupummi með pumms-hraða 600 L/s + umboðnum drykkapumpi með pumms-hraðu L/s til að pumpa ettingarkamara í hávacuum. Dynnefjartryggjaákvörðunarvél er sett upp á milli molekúlupumpsins og ettingarkamarsins. Umboðinn drykkapumpur er fyrirpumpi fyrir ettingarkamara og forystupumpi fyrir molekúlupumpinn. Notuð er annan mekanískan pumpu með pumms-hraðu L/s til að vacuumfæra prufukamara. Rostlausar bollustrengir eru notaðir fyrir tengingu milli mekanískrar pumps og vacuumkamarsins og molekúlupumpsins, og magnetrýnileg loftstýringarstoppvalv er sett inn.

Styðja tryggju stjórnunarkerfi

Tökuvarpið er úrbúið með stuðulstæðri þrýstingarstjórnunarskemmt fyrir neðan, og skiptareglur eru settar inn í loftútferðarleiðina. Með mælingarfilm (innflutt hluti) er reglulegur spilvalve stjórnaður til að gera þrýstingarkamara stuðulstæða, svo að ferliþegundin sé bætt við.

Styðja tryggju stjórnunarkerfi

Tökuvarpið er úrbúið með stuðulstæðri þrýstingarstjórnunarskemmt fyrir neðan, og skiptareglur eru settar inn í loftútferðarleiðina. Með mælingarfilm (innflutt hluti) er reglulegur spilvalve stjórnaður til að gera þrýstingarkamara stuðulstæða, svo að ferliþegundin sé bætt við.

Gásferðakerfi

Tvær raðir af RF afmörkuðu með sjálfvirku samstillingu.

Varparkerfi

Tryggingarákvæði fyrir tæki.
Stafrænir
Nafn
Spc
Merki
Númer/Neyð
Athugasemd
Skorðunarhól, loftútferðarleiðir, athugaðuhál, forráð tengisvæði o.s.frv.
Staðall
JSWN
1
Roknviðgerð
Rammi, rafskáp, loka, staðbundnar hlutar o.s.frv.
Staðall
JSWN
1
Upphæfingarverk fyrir ettingarhús
Staðall
JSWN
1
Roknviðgerð
Ettingaraðildi og hlæðingu kerfi
Staðall
JSWN
1
Roknviðgerð
Mólkumpa (dróugardráttur 600 L/s)
FF620/150
KYKY
1
Roknviðgerð
Inngangur torrkumpa (dróugardráttur 9 L/s)
XDS-35I
Edwards
1
Roknviðgerð
Vélkumpa (dróugardráttur 9 L/s)
TRP-36
BWVAC
1
Rafmagnsstillt gæsluveður
DCQ-150
JSWN
1
Roknviðgerð
Lufnabregðandi stöðugildiveður
KF40
JSWN
3
Roknviðgerð
Þinnimálmur
KF16
INFICON
1
Roknviðgerð
Svæðismengi stillari
D07
Sevenstar
4
Roknviðgerð
Lufðiaphragm svæði
1⁄4″VCR
-
4
Roknviðgerð
Rjúpastaður af rúsí, rústæki, o.s.frv.
1⁄4″VCR
-
4
Roknviðgerð
RF vöruvörðun þátttakmarkari
-
Kín (ValfrjálseCROWN1310)
1
RF vöruvörðun þátttakmarkari
-
Kín (ValfrjálseCROWN1310)
1
Samsett vacuum metri
ZDF
RB
1
Ípc
2U
China
1
LCD snertiskjár
17 tommur.
China
1
PLC stjórnkerfi
S7-200
Siemens
1
Rafdrifstýringarkerfi
Staðall
JSWN
1
Kælingarvatnsgáttun og leitiskerfi
Staðall
JSWN
1
Þokkvatnsgáttun og leitiskerfi
Staðall
JSWN
1
Kæliskrómur af vatni
HX
China
1
Hröðunarinnislóð
Staðall
JSWN
1
Vakuúmlausn
SMC
SMC
1
Stjórnunarkerfi fyrir hattara
SMC
SMC
1

Póstteknískur stika

1. Lágmarksvakuúm: Hröðunarherbergi 9.0×10-5Pa (Húsþyngd≤55%)
Injektilóðin 6.0×10-1Pa
2. Fræsingarmaterial: Ⅲ, ⅤMaterial, Si, SiO2 o.s.frv.
3. Fræsinguhráti: ~ 1μ/min
4. Fræsingajafna: ≤±5％(φ125mm vöruvísir)
6. Lóðastærð: φ200mm

Algengar spurningar

1. Um verð:

Allt voru verð eru einkenni og samþætta. Verðið breytist eftir því hvað konfigúrúnin er og hvernig flóknari sé sjálfstætt fyrir tækið.

 

2. Um úrtak:

Við getum boðið úrtaksframleiðsluþjónustur fyrir þig, en þú ætlar að greiða einhverja gjaldmiður.

 

3. Um greiðslu:

Eftir að planið hefur verið staðfest, þarftu að greiða okkur forsendu fyrst, og ríkisvörumerki byrjar að búa til vörurnar. Eftir að tækifærið er klárað og þú hefur greiðið endargreiðslu, sendum við það.

 

4. Um sendingu:

Eftir að framleiding tækisins er lokið, sendum við þér athugunarmyndsband, og þú getur líka farið á staðsetninguna til að skoða tækið.

 

5. Uppsetning og ferning:

Eftir að tækjaskipulag er komið í verkstæðina þína getum við send haustverkamenn til að setja upp og athuga tækið. Við munum bera ykkur til áskrift fyrir þessaþjónustukostnað.

 

6. Um vöruverja:

Tækjam okra 12 mánaða tryggingartímabil. Eftir tryggingartímabilið, ef einhver hluti er brotinn og þarf að skipta út, munum við aðeins kenngjá kostprísið.

 

7. Eftir sölu þjónusta:

Allar vélar hafa ársgang eða lengra. Tæknistjórar okkar eru alltaf aðgengilegir á netinu til að veita þér uppsetningu, skilgreiningu og viðhaldsþjónustu fyrir búnaðinn. Við getum veitt uppsetningu og skilgreiningu á staðnum fyrir sérstakan og stóran búnað.

Fleiri vörur

Fyrirspurn

Höfundarréttur © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Allur réttur áskilinn.

Stefna um persónuupplýsingar

Fyrirspurn Email WhatsApp EFTIR
×

Hafðu samband