Kvikmyndavélar kerfi með inndreifandi tengingu (ICP) , China Kvikmyndavélar kerfi með inndreifandi tengingu (ICP) Manufacturers, Suppliers, Factory

Tökuhlutplasmarískur (icp) kerfi

Induktívað ríperaíonskurðunartækni er tegund af RIE. Þessi tækni náum á milli plösuíónþéttni og ínorku með því að stýra jörnuflæði óháð, sem leidir til betri nákvæmni og sveigjanleika í skurðunaraðferðinni.

Vörurun okkar í háþéttu inductively coupled reactive ion etching (ICP-RIE) röð byggir á inductively coupled plasma tækni og er ætluð til nákvæmra etsinga og samsettra halvleiðara etsinga. Hún hefur yfirburðalega góða ferliðstöðugleika og endurtekningarferli og er hentug fyrir notkun í silíkón sem órlegur hlutur, ljóseinkafræði, upplýsingatækni og samskipti, aflbúnaði og mikrobylgjuhlutum.

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment details

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment supplier

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment factory

Sérsniðin efni:

1. Silíkón-bundin efni: silíkón (Si), silíkondíoxíð (SiO2), silíkonitrid (SiNx), silíkónkarbíð (SiC)...

2. III-V efni: indan fosfíð (InP), gallín arseníð (GaAs), gallín nitrid (GaN)...

3. II-VI efni: kadmín telluríð (CdTe)...

4. Magnúska stofa/samblandastofa

5. Málmeffni: ál (Al), gull (Au), vólfram (W), títan (Ti), tantal (Ta)...

6. Organísk efni: ljósleysiefni (PR), organíske eðlisgerðir (PMMA/HDMS), organíske þunnar plötur...

7. Ferroelectric/ljóseinkaeffni: litín níóbati (LiNbO3)...

8. Dielectric efni: safír (Al2O3), kristallglas...

Tengd umsókn:

1. Ristaritun: Notuð fyrir 3D skjáa, örsmæðavæði í ljóshnagri, hálfleiðarafræði o.s.frv.;

2. Etun á samsetjum hálfleiðurum: Notuð fyrir LED, ljósvarpi, ljósleiðni o.s.frv.;

3. Mynstursmeyju undirstöðu (PSS);

4. Etun á litíum-níóbati (LiNO3): Nemi, hálfleiðarafræði;

Umslagna niðurstöður

Quartz \/ silíkon \/ grating rískur

Nota BR maska til að rískja quartz eða silíkon hluti, grating fylki mönnum hefur þunnustu línu upp á 300nm og hliðveggjarhallið mönnunar er nálægt > 89° , sem getur verið notað til 3D skjár, mikilvæg óptísk tækifæri, optoelektrónskt samþætting o.s.frv.

Samsettur \/ hlutmálsrískur

Nákvæm stjórnun yfir hitastig yfirborðs prufu getur vel stjórnað ettingarformlega af GaN-ásamt, GaAs, InP og metálum. Hún er viðeignuð fyrir blárósaleg fyrirbæri, leysur, röskunargreiningu og fleiri notkunum.

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment manufacture

Etting á silís-basiðum efni

hún er viðeignuð fyrir etting silíkonabasisstofa eins og Si, SiO2 og SiNx. Hægt er að gera etting á silíkonslóðum yfir 50nm og djúp etting á silíkongrögum fyrir neðan 100um.

Stafrænir

Verkefni stilling og vélar gerðarskÿringur

Item	MD150S-ICP	MD200S-ICP	MD150CS-ICP	MD200CS-ICP	MD300C-ICP
Vöru Stærð	≤6 þyngdi	≤8 þyngdi	≤6 þyngdi	≤8 þyngdi	Sérsniðið ≥12petra
SRF Varmur	0~1000W/2000W/3000W/5000Vílík, sjálfvirkt samstill\,13.56MHz/27MHz
BRF Varmur	0~300W/0~500W/0~1000Vílík, sjálfvirkt samstill,2MHz/13.56MHz
Sameindar pumpe	Ófroskleitt: 600/1300 (L/s)/Sérsniðið			Froskleyst: 600/1300 (L/s)/Sérsniðið		600/1300(L/s)/Sérsniðið
Forspánpumpe	Vélpumpe / þurrapumpe			Efnaskapaður þurrapumpe		Vélpumpe / þurrapumpe
Forskoðupumpe	Vélpumpe / þurrapumpe			Vélpumpe / þurrapumpe
Ferliþrýsting	Óstjórnandi þrýsting/0-0.1/1/10Torr stjórnaður þrýsting
Gástegund	H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/NH3/C2F6/Sérsniðin (Upp á 12 slemborð, enginn efnafræðilegur & giftig gás)			H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/CHF3/ C4F8/NF3/NH3/C2F6/Cl2/BCl3/HBr/ Sérsniðin (upp í 12 röður)
Gássvið	0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/1000sccm/Sérsniðin
Hleðslulæsi	Já/Nei			Já
Hitastjórnun prufu	10°C~Herbergis hiti / -30°C~150°C / Sérsniðin			-30°C~200°C/Sérsniðin
Bakvið heliumkyling	Já/Nei			Já
Línun á ferlihólunni	Já/Nei			Já
Hitastjórnun veggja hólunnar	Engin/Stofa tem-60/120°C			Stofa tem~60/120°C
Stjórnkerfi	Sjálfvirkt/sérsniðið
Ettingarmaterial	Silíkons-basi: Si/SiO2/ SiNx/ SiC..... Frumstofu stofur:PR/Orgán þynning......			Silíkons-basi: Si/SiO2/SiNx/SiC III-V: InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI: CdTe...... Magnethefjarverkfræðiþáttur \/ sambandsþáttur Metallhefjarverkfræðiþáttir: Ni\/Cr\/Al\/Cu\/Au... Fjölnýr þáttar: PR\/fjölnýrt breiðslu...... Silísíngar djúpgræðsla

Pakking & Afhentun

Algengar spurningar

1. Um verð:

Allt voru verð eru einkenni og samþætta. Verðið breytist eftir því hvað konfigúrúnin er og hvernig flóknari sé sjálfstætt fyrir tækið.

2. Um úrtak:

Við getum boðið úrtaksframleiðsluþjónustur fyrir þig, en þú ætlar að greiða einhverja gjaldmiður.

3. Um greiðslu:

Eftir að planið hefur verið staðfest, þarftu að greiða okkur forsendu fyrst, og ríkisvörumerki byrjar að búa til vörurnar. Eftir að tækifærið er klárað og þú hefur greiðið endargreiðslu, sendum við það.

4. Um sendingu:

Eftir að framleiding tækisins er lokið, sendum við þér athugunarmyndsband, og þú getur líka farið á staðsetninguna til að skoða tækið.

5. Uppsetning og ferning:

Eftir að tækjaskipulag er komið í verkstæðina þína getum við send haustverkamenn til að setja upp og athuga tækið. Við munum bera ykkur til áskrift fyrir þessaþjónustukostnað.

6. Um vöruverja:

Tækjam okra 12 mánaða tryggingartímabil. Eftir tryggingartímabilið, ef einhver hluti er brotinn og þarf að skipta út, munum við aðeins kenngjá kostprísið.

7. Eftir sölu þjónusta:

Allar vélar hafa ársgang eða lengra. Tæknistjórar okkar eru alltaf aðgengilegir á netinu til að veita þér uppsetningu, skilgreiningu og viðhaldsþjónustu fyrir búnaðinn. Við getum veitt uppsetningu og skilgreiningu á staðnum fyrir sérstakan og stóran búnað.

Forsíða

Um Okkur

MH Tækifæri

Lausn

Notendur Uti á Landinu

Myndband

Hafa Samband Við Okkur