ICP þurr plöntu ljósvarnahlutanna hreinsunarkerfi
ICP þurra plöntu ljósvarnahlutanna hreinsunarkerfið er aðallega notað til fjarlægingar á pólýmerum, brennslu, afvötnunar, fjarlægingar ljósvarnahlutanna eftir íþróttarinnsetningu á jónum og hreinsunar yfirborðsafgangs. MDST3100 rýmið getur tekið við 4–8 tommu úrtökum með einu úrtaki í einu, en MDST3200 rýmið getur tekið við 4–8 tommu úrtökum með tveimur úrtökum í hverri röð.
Útlitið á búnaðinum er undir stöðugri uppfærslu og stillingu; raunverulegt sendingarvörur gilda.



ASHING
Polymer fjarlægning
DESCUM
Þurr hreinsun á harðmörkum lagi
Fjarlægja fótspor eftir íonskotun
Fjarðarréttun á yfirborði
Fjarlægja fótspor í BAW/SAW ferlinu
Þurr hreinsun á andskynjulági myndsköpunarfilmanna
Hreinsun yfirborðs eftir ettingu
Kostur:
Hár stig plösumeðferðar og skiptingar
Eftir plösumeðferð er endurtekningarmöguleikinn háur
Þurrðarefni, engin mengunarheimild
Stýra þrýstingi og hitastigi með fjölskrefjuslóðum
Getur viðhaldað plösumi við háan þrýsting
Aðskilningur á háspennuorkukeldu og jónmyndandi tæki
Mikrogolfa- tenging og segulhringur eru samhæfðir
Getur uppfyllt kröfur viðskiptavina
Lágt hitastig í meðferð
Hraðvirk reyndarhraði og stutt svarstund



Líkan |
MDST3100 |
MDST3200 |
|
PLASMA vist |
RF |
RF |
|
Aflið |
ICP |
1000w
|
1000w
|
BIAS |
Na |
Na |
|
UMFAÐUR ÞÉTTA |
4–8 tommur |
4–8 tommur |
|
Fjöldi vefja sem unnuð eru í einu framkvæmdaferli |
1 |
2 |
|
Heildarstærðir |
1300x1190x1847 mm |
1300x1650x1850 mm |
|
Kerfisstjóri |
Vinnslu stýringar kerfi |
||
sjálfvirknigráða |
Sjálfvirkt |
||
Raunmyndir af búnaði :







Höfundarréttur © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Allur réttur áskilinn.