Röð-úrtaks rörgerðar ljósvarnahlutanna hreinsunarkerfi / Úrtaks-brennslukerfi

Búnaður til afvötnunar á RF-myndhólfum í skiptum

Útlitið á búnaðinum er undir stöðugri uppfærslu og stillingu; raunverulegt sendingarvörur gilda.

MDST-3300 er mikrogelgjandi brennikerfi sem vinnað er í skiptum með kvarts-kassettum fyrir hringlaga plötur, hannað fyrir notkun eins og afvötnun á myndhólfi, afvötnun á litlum restum, hreinsun á hringlögum plötum, afvötnun á eftir vötnunarskiptum eftirfarandi restum, hreinsun á yfirborði hringlógra plóta og afvötnun á eftir þróunarskiptum eftirfarandi restum. Frítt ferandi rafeindir mynda plasma sem áhrifar myndhólfsins á yfirborði hringlógu plóta í kvarts-kassettunni inni í rýmdinni. Samfelld, háþétt plasma myndast með því að beita 13,56 MHz mikrogelgjaorku á veggina í tómrum rýmdinni. Rýmdin getur tekið við kvarts-kassettum fyrir 4–8 tommu hringlógar plötur.

MDST-2300 veitir hröða, óskaðlega plasma-hreinsun. Kerfið nálgast þessa hreinsun með efnumyndunum milli virkjaðra radíkala og myndhólfsins á yfirborði hringlógu plótsins.

Virkjanáttur:

Rafsvið er beitt við ferlisgas til að ionisera það í plasma. „Virku“ hlutir plasma innihalda jónar, rafeindir, atóm, frjálsar radíkalar, upphafskenndar tegundir (stöðugar ástand) og ljósboltar. Plasma-behandling notar eiginleika þessara virku hluta til að vekja líkamslegar og efnafræðilegar viðbrögð – svo sem oxun, reducing, brjótun á tengslum, samsetningu og polymerization – og þannig breyta yfirborðs-eiginleikum prufu. Þessi ferli bætir yfirborðs-aðgerðum og ná áformum eins og hreinsun, yfirborðs-breytingum og fjarlægingu afgangs.

Áherslur:

1. Sjölfstæðar fasthaldarföng fyrir vörur leyfa viðmiðun á óreglulega lögunar hrúgum;

2. Plasma við lága hitastig kynnst ekki hitaskemmdir á hrúgum;

3. Rafstraustlaust plasma kynnst ekki rafskemmdir á hrúgum;

4. Hávirk plasmaframleiðsla jafnt yfir flatarmálið tryggir árangursríka fjarlægingu á ljósvarnahlut;

5. Hágráða ionisering og skipting plasma;

6. Þurrðarefnið útþurrðunar felur ekki uppruna á saumum;

7. Ytriþrýstingur og hitastig stýrt með fjölskáldu klappi;

8. Getur viðhaldað plasma við háan gasþrýsting;

9. Rafmagnsveita með háspennu er aðskilin frá ionframleiðaranum;

10. Samhæfist við mikrogolfa- og segulhringingaruppsetningu.

Vörustreymi:

Plasmaskipulagið er aðallega með þremur hlutum: tómloftkamri og tómloftkerfi, útvarpsfrekvensframleiðandi og stýrikerfi.

a) Stökkuherbergi og stökkuframleiðslukerfi:

Stökkuherbergið er fest inn í ramma skápsins, með afnámlegum hurðum á báðum hliðum, sem gerir viðhald innra stökkuherbergisins og stökku kerfisins mjög þægilegt. Vatnsleysiframleiðslukerfið samanstendur aðallega af gólfblönduðum rörum, KF tengingum og tómloftpumpum, þar sem kjarninn er tómloftpumpan (tómloftpumpuhópur).

b. RF-framleiðandi:

RF-framleiðandinn er búinn 1000W rafmagnsveitingu til að framleiða RF og örbylgjuofn orku er gefið inn í plasma kvarts herbergi í gegnum samræmingu tæki til að mynda plasma.

(C) Stjórnkerfi:

Þetta kerfi notar iðnaðarskjá, PC iðnaðarstýringarkerfi og kínverska tengi hönnun. Ferli stjórnun búnaðar: tómrúm pumpa byrjar -> Baffle valvur opnast -> sett tómrúm gráðu er náð -> ferli gas er sett -> RF uppspretta framleiðir RF -> RF orku er gefið inn í framhúsið -> plasma myndast í framhúsi -> vinnutíma þar til tómrúm er Tækið er í tveimur aðgerðum: sjálfvirkum og handvirkum.

Mælingar vöru: