Córas CMP Reachtúil

MDAM-CMP100 / MDAM-CMP150

Córas CMP Reachtúil

Léargas ar an trealamh:

Úsáidtear an córas CMP cruinn go príomha le haghaidh lappála agus tanaíochta chipanna príomhshemiconnacht ar nós silicéim, di-oxíd silicéim agus chipanna focal indiam antamónaide, agus polaíocht cheimiceach-mhechanach na bunáin, an uachta agus an aghaidh deiridh.

Tá an mhaisín iomlán agus gach chuid den ollmhaisín go hiomlán in aghaidh na gcóirí, agus is féidir na paraiméadair próisis a shocrú trí thaispeánaí bualadh idirghníomhach.

Méid an sampla a d’fhéadfá a phróiseáil:

Méid an sampla ≤ 152 mm / 6 orlach

Is féidir tiús ó 50 μm go dtí 10 mm a phróiseáil

Tá na taispeántaithe próisis a bhfuil sé in ann a bhaint amach:

1. Tá an difríocht iomlán sa thiús (TTV) ar bhuaile φ75 mm laistigh de 2 μm;

2. Tá an difríocht iomlán sa thiús (TTV) ar bhuaile φ100 mm laistigh de 3 μm;

3. Tá an difríocht iomlán sa thiús (TTV) ar bhuaile φ150 mm laistigh de 4 μm.

Cine scileanna is féidir iad a phróiseáil:

Silicium, carbide silicium, diamaint, cearamaice, nítríd galaimh, criostal gairidh, antamónaid galaimh, fosfíd indiam, arsaide galaimh, teallúraid cadmium zinc, teallúraid mercury cadmium, niobát litiam agus eile de mhatéirialta leictreoinín.

Naisc iompair:

1. Cruthaigh an fheidhm bhríseach atá leagtha amach chun tiomáint tharlaíochta an scileáin.

2. Rialú agus fuarú fo-thuairisciúla i ré a fheictear ar an líne don bhord lámháilte agus polaíochta.

3. Córas múlti-chinn.

4. Feidhm uasghlanaithe uathoibríoch do bhord lámháilte agus polaíochta.

5. Feidhm uathoibríoch athchóirithe an bhórd.

6. Tá an t-ullmhúchán curtha le tábla monatóireachta digiteach ar tharlaíocht le cruinneas monatóireachta de 0.1μm.

Paraméadair theicniúla:

Cumrú Uirlisí:

Ceisteanna Coitianta

1. Faoin mBriathar:

Is iad na príseanna againn comhréidíoch agus in ann a chur i gcás. Déanann an priosún a athrú de bharr na cinneadh agus na n-iontrálacha tionscnamhacha do scagaire.

2. Faoin nAmharc:

Is féidir linn seirbhísí tagairt samplach a sholáthar duit, ach is féidir leat cuid de na cosaintí a chur ar fáil.

3. Faoin Phaidéan:

Nuair a gcuiretar an phlean i bhfeidhm, caithfidh tú priomhphhéiriún a íoc dúinn ar dtús, agus tosóidh an bhfabhar le cúram na n-earraí. Nuair a bheidh an t-equipment réadaithe agus íoctar an tsuímh, déanfaidh muid é a sheoladh.

4. Faoin Dileasú:

Nuair a bheidh an tsaothar eitighteachaithe críochnaithe, seolfaimid an físeán glacadh duit, agus is féidir leat teacht go háit an tsaothair chun an t-equipment a sheiceáil.

5. Slatú agus Tomhlú:

Tar éis go mbeidh an t-equipment ar fáil sa bhfabhc seo, is féidir linn iníonaithe a sheoladh chun an t-equipment a shuiteáil agus a dhoilbhithe. Thiocfaimid roinnt eile um an tservis seo chun cotaíocht a thabhairt duit.

6. Faoin Bhunscor:

Tá céimniú 12-mhíithe ar ár n-ábhar. Tar éis na gcéimnitiú, má tá aon phartascthaite agus bíonn orthu a athrú, ní dhéanfaimid ach costas an phríse a thuiscint.

7. Seirbhís i ndiaidh na dtráchtála:

Tá béimh ar gach peann den t-eachtraíos os cionn bliana amháin. Tá ár n-innealtóirí teicniúla i gcónaí ar líne chun seirbhísí suiteála, dífhabhtaithe agus oibrithe a chur ar fáil duit. Is féidir linn seirbhísí suiteála agus dífhabhtaithe in aice láimhe a chur ar fáil do thogra speisialta agus móra.