Córas Etching Plasma Le Ceangal Indiúchta (ICP) , China Córas Etching Plasma Le Ceangal Indiúchta (ICP) Manufacturers, Suppliers, Factory

Córas smachta plasmar cumhdaigh innea (icp)

Inductively coupled reactive ion etching teicneolaíocht is ea cineál RIE. Bíonn an teicneolaíocht seo ag scríobh amach dílteachta ions plasmóid agus fuinneamh ions trí rialú neamhspleách a chur ar leagan ions, mar sin ag feabhsú cruinnis agus séasmhacht an phróisis etching.

Tá na táirgí sraithe ICP-RIE (iontaithe reachtúil inductively coupled plasma) bunaithe ar teicneolaíocht plasmóid inductively coupled agus iad dírithe ar iontaoireacht reachtúil agus ar riachtanais reachtóireachta le haghaidh leictreánach comhdhéanta. Tá seans ann go bhfuil sé stablach agus is féidir é a atosrú go cruinn, agus is oiriúnach do na feidhmchláir i leictreánach siliciam, optoeileactraic, eolais agus cumarsáid, gléasraí cumhachta, agus gléasraí microtonn.

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment details

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment supplier

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment factory

Materiáil Aplaca:

1. Miotail bunaithe ar shiliciam: silicium (Si), dióksaid silicium (SiO2), niatriad silicium (SiNx), carbide silicium (SiC)...

2. Miotail III-V: fosfáid indium (InP), arsenide gallium (GaAs), niatriad gallium (GaN)...

3. Miotail II-VI: telluraid cadmium (CdTe)...

4. Materiáilí magnetacha/comhphríomhmhínithe

5. Miotail: alaimínim (Al), ór (Au), tungstain (W), titianam (Ti), tantalam (Ta)...

6. Pianmhaire: photoresist (PR), polaiméar organach (PMMA/HDMS), scamaireann organach...

7. Miotail ferroelectric/photoelectric: liotaim niobát (LiNbO3)...

8. Miotail dielectric: safáid (Al2O3), criostail...

Feidhmchláir gaolmhara:

1. Grádiú gcruthaithe: úsáidtear i léaráidí 3T, glantóirí opticeach beaga, optoeileictreonach, srl.;

2. Criomh etching semachtóra comhdhéanta: úsáidtear i bpleanlaí LED, lasair, cumarsáid fhothcheannta, srl.;

3. Substraid liathróid phatrúnaithe (PSS);

4. Lithium niobate (LiNO3) etching: deteoirí, optoeileictreonach;

Torthaí phróiseála

Smacht Grianghráfa / Sileáin / Grating

Ag úsáid brath BR chun sileáin nó siol a shmachadh, bíonn cruth phléam na ngrianghráif seo le líne is lú go dtí 300nm agus is giorra ná >89° iad an bosca cruthuithe, atá á chur i bhfeidhm don eagrán 3D, uirlisí óga optics, comhrácht optice-eletróna, agus céanna

Smacht Compound / Semiconductóire

Riachtanás cheart ar théamperatúr an phléidhseála is féidir leis an gcéim a bheith faoi chontae go maith ar chóras éagsúla na n-éadach GaN, GaAs, InP agus meatalacha. Is féidir léiriúchán gorm LED, lazeáirí, cumarsáid ópteach agus feabhsanna eile leo.

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment manufacture

Scailpadh máterial bunaithe ar sileain

is féidir léiriúchán mhatarál sílice-bhunaithe mar Si, SiO2, agus SiNx. Is féidir léiriúchán líne sílice fosta 50nm agus léiriúchán dhubhcha sílice thíos 100um a bhaint amach.

Sonraí teicniúla

Cumraíocht tionscnamh agus íomhá struchtúr na mhinicí

Earra	MD150S-ICP	MD200S-ICP	MD150CS-ICP	MD200CS-ICP	MD300C-ICP
Méid an Táirge	≤6 cearr	≤8 cearr	≤6 cearr	≤8 cearr	Saincheap≥12colm
Foinse Earráid SRF	0~1000W/2000W/3000W/5000W Athrúchán, comhphéinte aitheach\, 13.56MHz/27MHz
Foinse Earráid BRF	0~300W/0~500W/0~1000W Athrúchán, comhphéinte aitheach, 2MHz/13.56MHz
Púmp Mhóleacail	Gan cruthú: 600/1300 (L/s)/Saincheap			Leictreonach: 600/1300 (L/s)/Saincheap		600/1300(L/s)/Saincheap
Pumpe Foreline	Pump meicneachail \/ pump tharla			Pump tharla dí-chorruithe		Pump meicneachail \/ pump tharla
Pump réamh-tharla	Pump meicneachail \/ pump tharla			Pump meicneachail \/ pump tharla
Brú phróiseas	Brú neamhchomhroinnt \/ 0-0.1 \/ 1 \/ 10Torr brú comhroinnt
Cineál gáise	H2 \/ CH4 \/ O2 \/ N2 \/ Ar \/ SF6 \/ CF4 \/ CHF3 \/ C4F8 \/ NF3 \/ NH3 \/ C2F6 \/ Saincheaptha (Go háirithe 12 slí, gan glas corrúsach & toxici)			H2 \/ CH4 \/ O2 \/ N2 \/ Ar \/ SF6 \/ CF4 \/ CHF3 \/ C4F8 \/ NF3 \/ NH3 \/ C2F6 \/ Cl2 \/ BCl3 \/ HBr \/ Saincheaptha (Go háirithe 12 slí)
Raon gáis	0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/1000sccm/Seachad
LódáilLock	Igíonn Seo\/Níl Seo			Tá
Seiceáil teocht samplach	10°C~TeomhuightheSeomra/-30°C~150°C/Seachad			-30°C~200°C/Seachad
Fiosrú theithne héilime	Igíonn Seo\/Níl Seo			Tá
Linseáil spás pocsiúcháin	Igíonn Seo\/Níl Seo			Tá
Seiceáil teocht fhréamh spáis	Níl/TeomhuightheSeomra-60/120°C			TeomhuightheSeomra~60/120°C
Córas Rialaithe	Gnáth-riachtanach
Boghdán-mháirial	Bunús-siliciún: Si/SiO2/ SiNx/SiC..... Materiál éadrom: PR/Éadrom film......			Bunús-siliciún: Si/SiO2/SiNx/SiC III-V: InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI: CdTe...... Materiál magnetach \/ comhpháirt alloy Materaíl meatalta: Ni\/Cr\/Al\/Cu\/Au... Materaíl orgánacha: PR\/scagán orgánach...... Glúine siúilthe síce

Pacáil agus Seoladh

Ceisteanna Coitianta

1. Faoin mBriathar:

Is iad na príseanna againn comhréidíoch agus in ann a chur i gcás. Déanann an priosún a athrú de bharr na cinneadh agus na n-iontrálacha tionscnamhacha do scagaire.

2. Faoin nAmharc:

Is féidir linn seirbhísí tagairt samplach a sholáthar duit, ach is féidir leat cuid de na cosaintí a chur ar fáil.

3. Faoin Phaidéan:

Nuair a gcuiretar an phlean i bhfeidhm, caithfidh tú priomhphhéiriún a íoc dúinn ar dtús, agus tosóidh an bhfabhar le cúram na n-earraí. Nuair a bheidh an t-equipment réadaithe agus íoctar an tsuímh, déanfaidh muid é a sheoladh.

4. Faoin Dileasú:

Nuair a bheidh an tsaothar eitighteachaithe críochnaithe, seolfaimid an físeán glacadh duit, agus is féidir leat teacht go háit an tsaothair chun an t-equipment a sheiceáil.

5. Slatú agus Tomhlú:

Tar éis go mbeidh an t-equipment ar fáil sa bhfabhc seo, is féidir linn iníonaithe a sheoladh chun an t-equipment a shuiteáil agus a dhoilbhithe. Thiocfaimid roinnt eile um an tservis seo chun cotaíocht a thabhairt duit.

6. Faoin Bhunscor:

Tá céimniú 12-mhíithe ar ár n-ábhar. Tar éis na gcéimnitiú, má tá aon phartascthaite agus bíonn orthu a athrú, ní dhéanfaimid ach costas an phríse a thuiscint.

7. Seirbhís i ndiaidh na dtráchtála:

Tá béimh ar gach peann den t-eachtraíos os cionn bliana amháin. Tá ár n-innealtóirí teicniúla i gcónaí ar líne chun seirbhísí suiteála, dífhabhtaithe agus oibrithe a chur ar fáil duit. Is féidir linn seirbhísí suiteála agus dífhabhtaithe in aice láimhe a chur ar fáil do thogra speisialta agus móra.

Leathanach Baile

Maidir Linn

Acmhainn MH

Réiteach

Úsáideoirí Os Cionn na nOileán

Físeán

Teasáil Linn