Bainne ICP dona phléismithe tirim chun an fhotoreasist a bhaint , China Bainne ICP dona phléismithe tirim chun an fhotoreasist a bhaint Manufacturers, Suppliers, Factory

Bainne ICP dona phléismithe tirim chun an fhotoreasist a bhaint

Úsáidtear an bainne ICP dona phléismithe tirim chun an fhotoreasist a bhaint go príomha, chun an t-éadach a dhúnta, chun an scum a bhaint, chun an fhotoreasist a bhaint tar éis ionchur ión, agus chun na fuilí ar an uachtar a ghlanadh. Tá an seomra MDST3100 in ann 4- go 8-orlachán samplaí a ghlacadh le cumas próiseála aon-bhainne amháin, agus tá an seomra MDST3200 in ann 4- go 8-orlachán samplaí a ghlacadh le cumas dhá bhainne san áireamh.

Tá an t-áisearcacht ar an gcóras á leathnú agus á athrú go leanúnach; is é an táirge atá ar siúl mar a thagann sé i bhfeidhm.

头图4.jpg

工艺流程.png(5c78296a74).jpg 去除光刻胶去胶机 (5)(130d03181e).jpg

Glanadh

Bain Polyméar

DESCUM

Glanadh tirim de shraith maisc crua

Seachadadh fotoresist tar éis ionú

Bainistiú le haithne ar fharraige

Táirgeadh an tsoláthair

Glanadh tirim de shraith scannáin ghrafíochta frith-inléite

Glancháil an phléidíochta i ndiaidh caitheamh

Buntáistí:

Graim ionaithe plasma ar ardleibhéal agus briseadh síos

Tar éis an chórais plasma, tá an athdhéanamh ar ardleibhéal

Eitseáil tirim, gan fhoinse a chuir isteach sa chomhshaol

Bain úsáid as vailísí mothúcháin chun an bhrú agus an teocht a rialú

Is féidir plasmar a choimeád ag brú ard

Roinntear an foinse ardphréimhse agus an ginearáidir ionaithe

Tá an ceangal micrethon agus an chiorcuit maighnéadach comhoiriúnach

Is féidir riachtanais an chustaiméara a chur i bhfeidhm

Teocht íseal le linn an phróisis

Luath-ghluaiseacht shasta agus am freagartha gearr

Test data 2.jpg Test data 1.jpg Test data 3.jpg

Sampla		MDST3100	MDST3200
Foinse plasma		RF	RF
Cumhacht	ICP	1000W	1000W
	BIAS	Na	Na
Raon Feidhme		4-8 orlach	4-8 orlach
Líon na bhileoga a phróiseáiltear in aon oibríocht amháin		1	2
Toisí iomlána		1300x1190x1847mm	1300x1650x1850mm
Rialtaí Sistém		Córas Rialaithe Stairiúil
leibhéal uathoibriúchais		Uathoibríoch