tionscadal |
Sonraíochtaí |
tuairimí |
||
1 |
Réamhfhiosrú na n-inbhear |
Ainm an chomhadaí: Máiníne fáilte aonuigh le glas a leagan |
||
Mudél an chomhadaí: MD-2C2D6 |
||||
Speisifícaí wafer próiseála: comhthionndaithe le wafers 4/6-ince stadta |
||||
Cosán próiseála glas: Sliotadh bréige → lárchuid → glas (scailc → glas → bainistiú ciorcal, cúl sceart) → placa teithne → placa fuar → socruithe bréige Cosán próiseála leathnú: Sliotadh bréige → lárchuid → leathnú (tuiscint leathnaithe → uisce neamhchoibhlithe, cúl sceart → tormaí nitreóg) → placa teithne → placa fuar → socruithe bréige |
||||
Méid iomlán (go háirithe): 2100mm (B) * 1800mm (F) * 2100mm (U) |
||||
Méid scáil cheimic (go háirithe): 1700(W) * 800(F) * 1600mm (U) |
||||
Cúlra cumhachta (go leor): 1000kg |
||||
Airde bharra obair: 1020 ± 50mm |
||||
2 |
Aonad casette |
Cuantas: 2 |
||
Méid comhshuite: 4/6 inch |
||||
Athruithe casette: athraithe ríomhaire míbhog |
||||
Athruithe scoilte amach: Tá, seansóir imithe bunúsach |
||||
3 |
robata |
Cuantas: 1 |
||
Cineál: rothar dhá chosóg suighneacht fholamh |
||||
Grád cónaí: 4-áis (R1, R2, Z, T) |
||||
Bainisteoir mhéid: ceimic |
||||
Modh comhréagála straitéis: modh glacadh fhoirfe |
||||
Funtas mapaigh: Tá |
||||
Tocmhacht suiteála: ± 0.1mm |
||||
4 |
Aonad lárchomhairle |
Uimhir: 1 Set |
Comhréagáil optics leithghairid |
|
Modh comhréagála: comhréagáil meicniúil |
||||
Tocmhacht lárchomhairle: ± 0.2mm |
||||
5 |
Aonad ghlúine uilechime |
Méid: 2 séideán (is é seo na comhaidriúcháin do gach aonad) |
||
Luas chrua spiondal: -5000rpm~5000rpm |
rológ fúireachta |
|||
Níos éasca rotha spindál: ± 1rpm (50rpm~5000rpm) |
||||
Íoslaghdú is lú de shráid rotha spindál: 1rpm |
||||
Luas is airde rotha spindál: 20000rpm/s |
rológ fúireachta |
|||
Braonóir: 1 suite |
||||
Cearnóg Photoresist: 2 cearnóg |
||||
Diaméadar noz Photoresist: 2.5mm |
||||
Foghlam Photoresist: 23 ± 0.5 ℃ |
roghnach |
|||
Noz glanadh: Tá |
||||
RRC: Tá |
||||
Buafar: Tá, 200ml |
||||
Modh cur ghlúin: tá rochtán leathnú an chlaidhim agus scannáil leithne roghnach |
||||
Lámh bheirniú císte: 1 suite |
||||
Diaméad nólán bheirniú císte: 0.2mm |
||||
Rianú srutha bheirniú císte: meatach fúaim |
||||
Réimse srutha bheirniú císte: 5-50ml/min |
||||
Cineál riarthrom: 2 bealach (4/6 inch gach aon chláir le 1 chonnla) |
||||
Rianú srutha riarthrom: meatach fúaim |
||||
Réimse srutha fuiseoige riarthrom: 20-200ml/min |
||||
Modh fichiú: cinnteacht veachmhná lóipe |
||||
Rangfhocail fúiseoige: seansóir dhígiteach fúiseoige |
||||
Méid material: PPS |
||||
Méid cupán: PP |
||||
Monitíonn fúiseoige na cupáin: seansóir dhígiteach fúiseoige |
||||
6 |
Aonad forbartha |
Sciotóg: tá |
||
Méid: 2 séideán (is é seo na comhaidriúcháin do gach aonad) |
||||
Luas chrua spiondal: -5000rpm~5000rpm |
rológ fúireachta |
|||
Níos éasca rotha spindál: ± 1rpm (50rpm~5000rpm) |
||||
Íoslaghdú is lú de shráid rotha spindál: 1rpm |
||||
Luas is airde rotha spindál: 20000rpm/s |
rológ fúireachta |
|||
Braic forbartha: 1 suite |
||||
Píobaireacht forbartha: 2-chothrom (sraith shúileach/fhanach) |
||||
Filtriú forbartha: 0.2um |
||||
Cuir ar chomhshaol teocht an forbartha: 23 ± 0.5 ℃ |
roghnach |
|||
Rang rith solúise bainistíochta: 100~1000ml/min |
||||
Modh chur i bhfeidhm don arán bainistíochta: pointeacht fíor nó scannáil |
||||
Arán bainistíochta: 1 suite |
||||
Píobál uisce dhíonachta: 1 ciorcal |
||||
Diaméadar nádúr uisce dhíonachta: 4mm (inneall diaméar) |
||||
Rang rith uisce dhíonachta: 100~1000ml/min |
||||
Píobál éagsúla deachtaireachta díon: 1 ciorcal |
||||
Diaméadar nádúr díon: 4mm (inneall diaméar) |
||||
Rang rith díon: 5-50L/min |
||||
Monitúr idirbheart, uisce dhíonachta, agus rith díon: comhaid íoc fúaim |
||||
Cineál riarthrom: 2 bealach (4/6 inch gach aon chláir le 1 chonnla) |
||||
Rianú srutha riarthrom: meatach fúaim |
||||
Réimse srutha fuiseoige riarthrom: 20-200ml/min |
||||
Modh fichiú: cinnteacht veachmhná lóipe |
||||
Rangfhocail fúiseoige: seansóir dhígiteach fúiseoige |
||||
Méid material: PPS |
||||
Méid material: PPS |
||||
Méid cupán: PP |
||||
Monitíonn fúiseoige na cupáin: seansóir dhígiteach fúiseoige |
||||
7 |
Aonad taccaireacht |
Cuantas: 2 |
roghnach |
|
Rang teochta: teocht comharcha~180 ℃ |
||||
Níos deacair le chéile teocht: Teocht comharcha~120 ℃± 0.75 ℃ 120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ (Bain 10mm ón gcríoch, mar sin nach n-áirítear fothóg phionna an ejector) |
||||
Gluais íosta: 0.1 ° C |
||||
Modh rialú teochta: ordughadh PID |
||||
Rang airde PIN: 0-20mm |
||||
Méid PIN: corp SUS304, cap pionna PIN PI |
||||
Spás beithiú: 0.2mm |
||||
Rangaireacht uisce: ráiteas ranga chun cead agus cúl chun cead |
||||
Modh soláthartha: Boilgeadh, 10 ± 2ml/min |
||||
Vaccam oibre: -5-20KPa |
||||
8 |
Aonad pláta te |
Cantair: 10 |
||
Ranguimhthe: téamh comhartha~250 ℃ |
||||
Níos deacair le chéile teocht: Teocht comharcha~120 ℃± 0.75 ℃ 120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃ (Bain 10mm ón gcríoch, mar sin nach n-áirítear fothóg phionna an ejector) |
||||
Meastachán is lú: 0.1 ℃ |
||||
Modh rialú teochta: ordughadh PID |
||||
Rang airde PIN: 0-20mm |
||||
Méid PIN: corp SUS304, cap pionna PIN PI |
||||
Spás beithiú: 0.2mm |
||||
Rangaireacht uisce: ráiteas ranga chun cead agus cúl chun cead |
||||
9 |
Aonad pláta fuar |
Cuantas: 2 |
||
Ranguimhthe: 15-25 ℃ |
||||
Modh easpa: pompa ciriceála teocht chonsant |
||||
10 |
Soláthar Ríomhaireachta |
Stóráil Photoresist: pompa glúin pneiméadach * 4 suite (Teangán roghnaithe nó pompa glúin leitrict) |
||
Meid glúin a thabhairt amach: uaireanta is mó 12ml, tuairisc ± 0.2ml |
||||
Bainistiú ollmhargadh/sgéalú chúl/RRC: teangán under 18L * 2 (athchóirithe go huathoibhneacha) |
||||
Monitúr leibhéal ollmhargaidh/sgéalú chúl/RRC: seansóir fhitheoil |
||||
Monitúr leibhéal photoresist: seansóir fhitheoil |
||||
Easpa ghlúin chóir a chur amach: teangán easpa 10L |
||||
Soláthar forbairt: teangán sprioc 18L * 4 (Stóráilte i gcupárd ríomhaireachta faoin mbiachál) |
||||
Soláthar uisce neamhshuimiúil: soláthar díreach ón gciste |
||||
Forárdú maireachtála dréimire: seansóir fhothach |
||||
Scailp forbartha: scailp scolb fo-thogha |
||||
Soláthar taccaidh: tank brúch 10L * 1, tank brúch 2L * 1 |
||||
Maireachtál taccaidh: seansóir fhothach |
||||
11 |
córas Rialaithe |
Modh rialaithe: PLC |
||
Inneall oibríochta duine-machnaimh: scáileán lámhtheasta 17 colún |
||||
Forsní amháin (UPS): Tá |
||||
Socruitheadh chriptithe don oibrí eicíonra, teicneolaíochta, riarthóirí |
||||
Cineál sínal taca: dearg, buí, glas 3 dath |
||||
12 |
Méadaithe uafásacha an chórais |
Am chrua: ≥95% |
||
MTBF: ≥ 500h |
||||
MTTR: ≤ 4h |
||||
MTBA： ≥24h |
||||
Ráta scagtha: ≤ 1/10000 |
||||
13 |
Funtctionanna eile |
Gloine buí: 4 séid (suas anuas an aonad chur chuige agus forráiltear ghlúin) |
||
THC: Ios, 22.5 ℃± 0.5 ℃, 45% ± 2% |
roghnach |
|||
FFU: Rang 100, 5 séid (an réimse údálaíochta agus na háreanna ROBOT) |
||||
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Cóipcheart © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Gach ceart ar cosaint.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
