

| projekt    | Spetsifikatsioonid    | märkmed  | ||
| 1 | Seadme ülevaade | Varustuse nimi: Täiesti automaatne ühtlane kliidi arendusmasin  | ||
| Varustuse mudel: MD-2C2D6  | ||||
| Protsessitud plaadite spetsifikatsioonid: sobivad 4/6-tollsete standardplaadidega  | ||||
| Ühtlase kliidi protsess: Korgjooneline lõigamine → keskpunktiks viimine → ühtlane kliit (pilgutamine → ühtlane kliit → äärde eemaldamine, tagasi puhastamine  ) → soojne plaat → külm plaat → korgjoone asetamine Arendusprotsess: Korgjooneline lõigamine → keskpunktiks viimine → arendamine (arendusrasv → deioniiseeritud vesi, tagasi puhastamine → nikselduva kuiva) → soojne plaat → külm plaat → korgjoone asetamine | ||||
| Terviklik suurus (umbes): 2100mm (L) * 1800mm (P) * 2100mm (K)  | ||||
| Keemiliste kaubade kasti suurus (umbes): 1700(L) * 800(P) * 1600mm (K)  | ||||
| Kokku kaal (umbes): 1000kg  | ||||
| Töölaud kõrgus: 1020 ± 50mm  | ||||
| 2 | Kasettiüksus  | Kogus: 2  | ||
| Vastuvõetav suurus: 4/6 tolli  | ||||
| Kassettade tuvastamine: mikroklahvi tuvastamine  | ||||
| Välja tõstmise tuvastamine: Jah, peegelsensor  | ||||
| 3 | robot | Kogus: 1  | ||
| Tüüp: Kaks kaela vakuumabsorptsiooniroobot  | ||||
| Vabadusastmed: 4-axel (R1, R2, Z, T)  | ||||
| Sõrme materjal: keramik  | ||||
| Aluse kitsendusmeetod: vakuumabsorptsioonimeetod  | ||||
| Kaardistusfunktsioon: Jah  | ||||
| Positsioneerimise täpsus: ± 0,1mm  | ||||
| 4 | Kesetamineüksus  | Kogus: 1 Komplekt    | Valikuline optiline joondamine  | |
| Joondusmeetod: mehaaniline joondamine  | ||||
| Kesetamise täpsus: ± 0,2mm  | ||||
| 5 | Ühtlane liimaühik | Kogus: 2 komplekti (allpool on iga ühiku konfiguratsioonid)  | ||
| Tiivne kiirtus: -5000tpm~5000tpm  | kandja idler  | |||
| Tiivne pöörlemiskiirus: ± 1tpm (50tpm~5000tpm)  | ||||
| Tiivne pöörlemiskiiruse minimaalne kohandamine: 1tpm  | ||||
| Tiivne pöörlemiskiiruse maksimaalne kiirendus: 20000tpm/s  | kandja idler  | |||
| Vilgarm: 1 komplekt  | ||||
| Fotorezistiti tee: 2 teed  | ||||
| Fotorezisti sõlmestiku läbimõõt: 2.5mm  | ||||
| Fotorezisti isolatsioon: 23 ± 0,5 ℃  | valikulised  | |||
| Lubrikatsiooni sõlmestik: Jah  | ||||
| RRC: Jah  | ||||
| Puhver: Jah, 200ml  | ||||
| Löögi pannemismeetod: keskpunktse pannemine ja skaneerimispannemine on valikulised  | ||||
| Äärise eemaldamise kael: 1 komplekt  | ||||
| Äärise eemaldamise noodeli läbimõõt: 0,2mm  | ||||
| Äärise eemaldamise vedeliku voolu jälgimine: pliidmõõtur  | ||||
| Äärise eemaldamise vedeliku voolukulu ulatus: 5-50ml/min  | ||||
| Tagasiplahvituskanne: 2 viisi (iga 4/6 tolli kanaliga 1 juht)  | ||||
| Tagasiplahvitusvoolu jälgimine: pliidmõõtur  | ||||
| Tagasiplahvitusvedeliku voolukulu ulatus: 20-200ml/min  | ||||
| Põrandapüksimise meetod: väikese ala vakuumse adsorptsioon Chuck  | ||||
| Vakuumi surve hoiatus: digitaalne vakuumi surve sensor  | ||||
| Chuck materjal: PPS  | ||||
| Kupi materjal: PP  | ||||
| Kupi ventiliator monitor: digitaalne survemeetja  | ||||
| 6 | Arendusüksus | Läbipääste:jah  | ||
| Kogus: 2 komplekti (allpool on iga ühiku konfiguratsioonid)  | ||||
| Tiivne kiirtus: -5000tpm~5000tpm  | kandja idler  | |||
| Tiivne pöörlemiskiirus: ± 1tpm (50tpm~5000tpm)  | ||||
| Tiivne pöörlemiskiiruse minimaalne kohandamine: 1tpm  | ||||
| Tiivne pöörlemiskiiruse maksimaalne kiirendus: 20000tpm/s  | kandja idler  | |||
| Arenduskiil: 1 komplekt  | ||||
| Arenduskanne: 2-tee (ventiiliselt/kolmnurkne noozel)  | ||||
| Arendaja filtratsioon: 0.2um  | ||||
| Arendaja temperatuuri kontroll: 23 ± 0,5 ℃  | valikulised  | |||
| Arendusvoogi voolusuund: 100~1000ml/min  | ||||
| Arenduskae liikumisrežiim: fikseeritud punkt või skaneerimine  | ||||
| Liivkae: 1 komplekt  | ||||
| Desooniseeritud vee kanal: 1 tsükkel  | ||||
| Desooniseeritud vee sprajdi läbimõõt: 4mm (sisemõõt)  | ||||
| Desooniseeritud vee voolusuund: 100~1000ml/min  | ||||
| Nitrogeeni kuivamiskanal: 1 tsükkel  | ||||
| Nitrogeeni sprajdi läbimõõt: 4mm (sisemõõt)  | ||||
| Nitrogeeni voolusuund: 5-50L/min  | ||||
| Arendaja, destileeritud vesi, süsinikvahe jälgimine: pliiatsliikmete sularulet  | ||||
| Tagasiplahvituskanne: 2 viisi (iga 4/6 tolli kanaliga 1 juht)  | ||||
| Tagasiplahvitusvoolu jälgimine: pliidmõõtur  | ||||
| Tagasiplahvitusvedeliku voolukulu ulatus: 20-200ml/min  | ||||
| Põrandapüksimise meetod: väikese ala vakuumse adsorptsioon Chuck  | ||||
| Vakuumi surve hoiatus: digitaalne vakuumi surve sensor  | ||||
| Chuck materjal: PPS  | ||||
| Chuck materjal: PPS  | ||||
| Kupi materjal: PP  | ||||
| Kupi ventiliator monitor: digitaalne survemeetja  | ||||
| 7 | Liimiv liides | Kogus: 2  | valikulised  | |
| Temperatuuriba: tuba temperatuur~180 ℃  | ||||
| Temperatuuri ühtsus: Tuba temperatuur~120 ℃± 0.75 ℃  120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ (Eemalda 10mm äärist, välja arvatud võrkpinna nõlgnahk) | ||||
| Vähim kohandusmäär: 0.1 ° C  | ||||
| Temperatuuri juhtimismeetod: PID kohandamine  | ||||
| PIN kõrguse vahemik: 0-20mm  | ||||
| PIN materjal: SUS304 keha, PIN pinna PI  | ||||
| Pakutud tühimik: 0,2mm  | ||||
| Ületemperatuuri hoiatus: positiivne ja negatiivne hälve hoiatus  | ||||
| Toimetamismeetod: Puhkimine, 10 ± 2ml/min  | ||||
| Tuba töötamine vakuumis: -5-20KPa  | ||||
| 8 | Soojusplaatüksus | Kogus: 10  | ||
| Temperatuuriba: ruumtemperatuur~250 ℃  | ||||
| Temperatuuri ühtsus: Tuba temperatuur~120 ℃± 0.75 ℃  120,1℃~ 180℃ ± 1,5℃ 180,1℃~250℃ ±2,0℃ (Eemalda 10mm äärist, välja arvatud võrkpinna nõlgnahk) | ||||
| Vähim muutmistäht: 0,1 ℃  | ||||
| Temperatuuri juhtimismeetod: PID kohandamine  | ||||
| PIN kõrguse vahemik: 0-20mm  | ||||
| PIN materjal: SUS304 keha, PIN pinna PI  | ||||
| Pakutud tühimik: 0,2mm  | ||||
| Ületemperatuuri hoiatus: positiivne ja negatiivne hälve hoiatus  | ||||
| 9 | Külmusplaatüksus  | Kogus: 2  | ||
| Temperatuurivahemik: 15-25 ℃  | ||||
| Jahutamismeetod: püsiv temperatuuri sirkuleerimispummi jahutamine  | ||||
| 10 | Keemiliste ainetega toimetulek | Fotoressi salvestamine: pneumatiline liimipumpp * 4 komplekti (valikuline tank või elektriliimipumpp)  | ||
| Liimi andmise maht: maksimum 12ml ühes sessioonis, täpsus ± 0.2ml  | ||||
| Äärise eemaldamine/ tagapoolne pesemine/RRC toimetulek: 18L survitank * 2 (automaatne täitmine)  | ||||
| Äärise eemaldamise/tagapoolse pesemise/RRC veetase jälgimine: fotoelektriline sensor  | ||||
| Fotoressi veetase jälgimine: fotoelektriline sensor  | ||||
| Ühtlaselt liimist lähtestatud jäätise väljastamine: 10L jäätiseta tank  | ||||
| Areneja toimetulek: 18L survitank * 4 (salvestatud masina välises keemiatarmis kabinetis)  | ||||
| Destilleeritud vesi: tootja otsene pakkumine  | ||||
| Areneva vedeliku tase jälgimine: fotoelektriline sensor  | ||||
| Areneja jäätmete vabastamine: tootja jäätmete vabastamine  | ||||
| Tackifieri pakkumine: 10L rööpklaas * 1, 2L rööpklaas * 1  | ||||
| Tackifieri tase jälgimine: fotoelektriline sensor  | ||||
| 11 | juhtimissüsteem | Juhtimisviis: PLC  | ||
| Inimmasin liides: 17 tolli kuulus  | ||||
| Püsivõimsusallikas (UPS): Jah  | ||||
| Seadistage seadmeoperatsioonide krüpteerimisloovused, tehnikud, administraatorid  | ||||
| Signaaltorni tüüp: punane, kollane, roheline 3 värvi  | ||||
| 12 | Süsteemi usaldusväärsuse näitajad  | Üleskäigu aeg: ≥95%  | ||
| KES: ≥ 500h  | ||||
| KMTR: ≤ 4h  | ||||
| KABA: ≥24h  | ||||
| Murdumisaste: ≤ 1/10000  | ||||
| 13 | Muud funktsioonid  | Kollane valgus: 4 komplekti (asukoht: liimimixeri ja arendusüksuse kohal)  | ||
| THC: Jah, 22,5 ℃± 0,5 ℃, 45% ± 2%  | valikulised  | |||
| FFU: Klasse 100, 5 komplekti (protsessiühik ja ROBOT piirkond)  | ||||


Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Kõik õigused kaitstud