
UV-valguse allika kesklaine |
405nm |
Eksponeerimise ühtlus |
Üle 90% |
Väikseim elemendi sirglõigu laius |
0,5 µm |
Ühekordse eksponeerimisvälja eksponeerimisala |
0,16*0,16 mm (@0,5 µm) |
Kirjutamiskiirus |
80 mm²/min (1 µm joone laius) |
Toetatud pildifailivormingud |
DXF, GDS, bmp, png jne. |
Konfiguratsioon |
Põhiversioon |
Professionaalne versioon |
|
Valgusallikas |
Kõrgvõimseline LED: 405 nm |
||
DMD-mikroskeem |
DLP6500 |
||
Ühekorruse eksponeerimisala |
0,16*0,16 mm (@0,5 µm), 0,4*0,4 mm (@0,7 µm), 0,8*0,8 mm (@1 µm), 1,6*1,6 mm (@2 µm) |
||
Kaamera |
Laiavööndiline mikroskoopikaamera (toetab suuruse mõõtmist) |
||
Minimaalne võrdsete kaugustega joone laius |
0,8 µm |
0.5μm |
|
Koondamise täpsus |
±0,3 µm |
±0,3 µm |
|
Kattuvus täpsusega |
±0,5 µm |
±0,5 μm |
|
Kirjutamiskiirus |
20 mm²/min (1 µm tunnuse joone laius) |
80 mm²/min (1 µm tunnuse joone laius) |
|
Liikumisaste |
Kõrge täpsusega lineaarmootor (korduspositsioneerimise täpsus ±0,25 µm), tasandusmehhanism, käsiraotusaste |
Kõrge täpsusega lineaarmootor (korduspositsioneerimise täpsus ±0,25 µm), tasandusmehhanism, elektrooniline raotusaste |
|
Objektiivivaheti |
Käsitsi objektiivi vahetamine |
Mootoriga objektiivi vahetamine |
|
Fokuseerimismoodul |
CCD-pildi automaatfokus |
Laseraktiivne fokuseerimine |
|
Toetatud plaadisuurused |
4 tolli |
4-tolline/8-tolline |
|
Proovi paksus |
0-10 mm |
0–10 mm |
|















Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Kõik õigused kaitstud