Esimesena kaetame põhimaterjali pinnat kihi erilise valgusreaktiivse materjaliga. See on fotosensitiivne materjal, mis mängib olulist rolli protsessis. Pärast seda kasutame maaskeeti, millel on pinnal mingi kujund ning asetame selle üle selle kihi. Maaskeet teenib stentsina, milles on lohed, mis edastavad valgust ainult kindlates asukohtades. Järgmiseks avaldame maaskeedil olevale kujundile UV-valgust, mida me ei näe. See valgus loob fotosensitiivsest materjalist pildi, sama nagu päikesevalgus võib luua varju, kui see läbib lõigatud kuju. Viimaseks hoiame alusmaterjali peegli tüüpi lahuses, mida nimetatakse arendajaks. See protsess eemaldab fotosensitiivse kihi osa, mis on valgusele alt jäänud, ja esitleb kujundit põhimaterjalil.
Sisse Draadside seostaja üks suurimaid osi, mida tuleb kontrollida, on vigad, mis tekivad kolme peamise sammu jooksul, ja on väga oluline saada head ja täpseid tulemusi. Puhastamine a) Puhastamisprotsess hõlmab põhivara tasakaalust katmist fotosensitiivse materjaliga. Teisisõnu, iga põhivarade tüki peab sisaldama sama koguse eriettevahendist. Muu hulgas kasutame me tavaliselt masinaid, et saavutada see täiuslikult sirge ja tasane pind. Sellel juhul kontrollime kvaliteeti (ei tohi olla üleminekuid ega puudusi pind poolel).
Arenduslik võimas on kasutatud, et eemaldada materjalist kuju loomiseks kolmandal sammul; arendamine. Kuid see samm võib ikka veel läbi minna valesti. Me ei taha jätta materjali liiga kaua lahusesse ja kui meie lahend on liiga tugev, siis see hävitab kuju, mida me püüame luua. Seega peame kontrollima arendusliku lahenduse ajastust ja koonusetikku väga hoolikalt, et saada head tulemusi.
Peamised eelised Jooksuühenduse masina on suutlikkus modelleerida erakorraliselt väikeseid komponente. See võimaldab meil toota väga väikseid, kõrge jõudlusega osi. Meetod on ka massitootmise jaoks väga kasulik; see lubab meil toota palju osi lühikese perioodi jooksul. See on eriti oluline tehisvalmistamises, kus on suur nõudlus kindla tüüpi identsete osade järel (nagu elektronikatoostuses).
Teisalt on siiski ka mõned negatiivsed omadused. Kahepoolselt maskitud fotoliitograafia kõrge maksumus, nii masinate kui ka selleks kasutatavate materjalide poolest, on üks suurimaid väljakutseid, mis selle meetodi kaasnevad. Masinad võivad olla äärmiselt kallid ja me vajame kvaliteetseid tooraineid, mis samuti maksavad raskeid raha. Samuti ei ole võimalik teha selle meetodi abil funktsioone, mis on väiksemad näiteks 10 nm. See on oluline, kuna me püüdlused tihti ehitada üha väiksemaid ja tugevamaid asju. Lisaks on protsess äärmiselt tundlik kontamatsioonide suhtes, seega peab see toimuma väga puhast keskkonnas (tavaliselt nimetatakse seda puhaskoorma). Selle nõue võib muuta asjad natuke keerulisemaks ja kallimaks.
Aladest elektronikast ravimiteeni pani maski joondaja fotoliitograafia on põhitud põhilarudes ja arenduses. SU-8 rakendamine on elektroonikatööstuses absoluutselt oluline mikroelektronsete seadmete, nagu integreeritud ringid, sensored ja ekraanid tootmiseks. Nende struktuuride loomiseks on vajalikud olnud mitmed erilised tööriistad, milleks on hea näide EVG(R) maski joondaja ja EVG(R) kivega sidumissüsteem.
Näiteks meditsiinilises uurimises kasutatakse fotoliitograafiat mikroskoopsete kanalite loomiseks kehaainede analüüsiks; see tehnoloogia on osa sellest, mida nimetatakse chipilaboratooriumiks. Selle tehnoloogia abil saavad vedelikud olla kiiresti ja täpselt analüüsitavad, et anda rohkem teavet pacienti terviseseisu kohta. Fotoliitograafias kaubandusmärkide kasutamine mikro- ja nanofluusi süsteemide valmistamiseks on võimalik. Kui need süsteemid on õiged, suurendaks see ravimikoguste täpsust pacientidele, parandades ravimeetodite efektiivsust ja ohutust.
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Kõik õigused kaitstud
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
