Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Avaleht
Meist
MH Seadistus
Lahendus
Välismaalased Kasutajad
Video
Kontakt Meega
Kodu> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • Materjali keemiline etsimine Setete valmistamine Reaktsiooniohutus ioonetsimise masin RIE
  • Materjali keemiline etsimine Setete valmistamine Reaktsiooniohutus ioonetsimise masin RIE
  • Materjali keemiline etsimine Setete valmistamine Reaktsiooniohutus ioonetsimise masin RIE
  • Materjali keemiline etsimine Setete valmistamine Reaktsiooniohutus ioonetsimise masin RIE
  • Materjali keemiline etsimine Setete valmistamine Reaktsiooniohutus ioonetsimise masin RIE
  • Materjali keemiline etsimine Setete valmistamine Reaktsiooniohutus ioonetsimise masin RIE
  • Materjali keemiline etsimine Setete valmistamine Reaktsiooniohutus ioonetsimise masin RIE
  • Materjali keemiline etsimine Setete valmistamine Reaktsiooniohutus ioonetsimise masin RIE
  • Materjali keemiline etsimine Setete valmistamine Reaktsiooniohutus ioonetsimise masin RIE
  • Materjali keemiline etsimine Setete valmistamine Reaktsiooniohutus ioonetsimise masin RIE
  • Materjali keemiline etsimine Setete valmistamine Reaktsiooniohutus ioonetsimise masin RIE
  • Materjali keemiline etsimine Setete valmistamine Reaktsiooniohutus ioonetsimise masin RIE

Materjali keemiline etsimine Setete valmistamine Reaktsiooniohutus ioonetsimise masin RIE

Toote kirjeldus

RIE Reaction Ion Etching Machine

RlE reaktiivse ioonide lagundamise masinate uurimisrakendused pooljuhtmetööstuse ja mikro-nano töötlemise valdkonnas ilmnevad eelkõige nanoskaalaste struktuuride töötlemisel, uute materjalide lagundamisel, keerukate seadmete valmistamisel ja piirivaldkondlike tehnoloogiate läbimurdel. Selle tuumaväärtus seisneb füüsilise pommitamise ja keemiliste reaktsioonide koordineeritud kontrolli kaudu saavutatavas kõrge täpsuse ja selektiivsusega materjalide eest. Toetab pooljuhttehnoloogia ja seadmete uuenduste teaduse eesrinda.

Seadme omadused:

1. Kõrge täpsus ja anisotroopsus: Võib lagundada joonistusi, millel on järsud küljed ja täpsed mõõtmed.
2. Hea ühtsus ja korduvus: sobib suuremahuliseks tootmiseks.
3. Lai materjali sobivus: Erinevate gaasi kombinatsioonide valikuga saab eri materjale (pooljuhtideid, dielektrikume, metalle jne) etšida.
4. Kõrge selektiivsussuhe: See võib täpselt etšida teatud materjale, põhjustamata olulist kahju teistele materjallidele.
5. Puhastamine: Kuivprotsess, vältides niiske etšimise põhjustatud probleeme, nagu puhastamine ja jäätmete vedeliku käsitlemine.
Spetsifikatsioon
Süsteemi konfigureerimine:
Elektriline küttepaak
Kamber (üksik kamber)
N/A
Alumise elektroodi tüüp
242mm
Protsessitemperatuuri vahemik
-20-100°C
Plasmaallikas
600W-1000W
Protsessirõhu mõõteriista suurus
100mtorr
Vakuumsüsteem
Molekulaarpumpade üksused, kuivpumpamissüsteemid, protsessikamber
Uurimiskambrite arv
Üksik kamber
Klambid
TÜÜP
Suurus/mm
Materjal
N/A
8, 6, 4, 3, 2
Lõpppunkti tuvastaja
Valik
Induktiivselt seotud plasmma
Valik
Tehnilised parameetrid:
Ärgeerimismaterjal
Si, Sio, Sin, Sau, Pt, Al
Uurimise kiirus
>20 nm/min (SiO2 materjal) Erinevate materjalide määr on erinev
Jaotatud juhtimine
>85°
Laadimismeetod
Avatud laadimine
Gaasitoru juhtimine MFC abil
Kasutatavad on kuus gaasipadja
Heliumpõhja jahutusvõimalus
Jah
Inimkonna liides
Puutekuvar juhtimine
Töörežiim
Täiesti automaatne režiim, mitte täiesti automaatne režiim
Automaatseadmete valik ja konfigureerimine
Saad valida kas importimisi või kohalikke osi
Rakendusteaduslikud juhulised
Pakendamine ja kohaletoimetamine
Ettevõtte profiil
Alates aastast 2014 on Minder-Hightech olnud müügi- ja hoolduspartner pooljuhtide ja elektroonikatööstuse seadmete valdkonnas. Meie pühendume klienditeenindusele, mis on kvaliteetne, usaldusväärne ja komplektne masinavalmistuslahendustepakkuja. Tänapäevani on meie brändi tooted levinud enamatesse tööstusriikidesse üle maailma, aidates klientidel parandada efektiivsust, vähendada kulusid ja täiustada toodete kvaliteeti.
KKK
1. Hindade kohta:
Meie kõik hinnad on konkurentsivõimas ja läbipaistvad. Hind sõltub seadme konfiguratsiooni ja kohandamise keerukusest.

2. Mustrite kohta:
Võime pakkuda teil näidisetooteid, kuid te peate maksuma mõned tasud.

3. Maksmise kohta:
Kava kinnitamise järel peate meile esmakordselt maksumaks kaupade ettevalmistamise hoiustena. Kui seadmed on valmis ja te olete tasunud jäägi, saadame need edasi.

4. Toimetamine kohta:
Seadmete tootmise lõpetamise järel saadame teile vastuvõtuvideo, samuti võite te seda vajadusel kontrollida kohtadel.

5. Installimine ja silumine:
Kui seade on teie tööstuses, saadame meie insenerid selle installimiseks ja silumiseks. Selle eest pakume eraldi hindamist.

6. Tagasi kinnitusest:
Meie seadmed on tagatud 12 kuud. Tagakaitse perioodi möödudes, kui mingi osa on katki ja tuleb asendada, tehakse selle eest ainult materjalihind.

7. Poodimüügiteenindus:
Kõikidel masinatel on üle aasta kehtiv garantiiaeg. Meie tehnilised insenerid on alati saadaval, et pakkuda seadme paigaldus-, seadistus- ja hooldusteenuseid. Eriliste ja suurte seadmete puhul võime pakkuda kohapealse paigaldus- ja seadistusteene.

Päring

Päring Email Whatsapp PEAL
×

Oleme ühenduses