Σύστημα Ενεργοποιημένης Ιονικής Εξωδείας RIE , China Σύστημα Ενεργοποιημένης Ιονικής Εξωδείας RIE Manufacturers, Suppliers, Factory

Περιγραφή Προϊόντος

Εξαρτητική ιονική επεξεργασία (RIE)

Η ετερογενή ιονική εξαλείψη (RIE) μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την παρασκευή μικρο-νανο δομών και αποτελεί μια από τις τεχνολογίες της διαδικασίας παραγωγής παραγόντων που βασίζονται στην ηλεκτρονική. Κατά τη διάρκεια της διαδικασίας εξαλείψεως RIE, διάφορα ενεργά σωματίδια στο πλάσμα σχηματίζουν θολώδη προϊόντα με την επιφάνεια του υλικού. Αυτά τα προϊόντα αφαιρούνται από την επιφάνεια του υλικού και τελικά επιτυγχάνεται η ανισότροπη μικροεπεξεργασία της επιφάνειας του υλικού. Τα προϊόντα της σειράς εξαλειπτικών ιονικών αντιδράσεων (RIE) βασίζονται στην τεχνολογία πλατυφυλλών πλάσματος που συνδέονται καπακτικά και είναι κατάλληλα για το υποτυπωμένο σχεδιασμένο εξαλειπτικό των υλικών σιλικίου όπως το μονοκριστάλλινο σιλίκιο, το πολυκριστάλλινο σιλίκιο, το διαζευγμένο σιλίκιο (SiNy), το διοξείδιο σιλίκιου (SiO), τον κρύσταλλο (Quartz) και το διαζευγμένο σιλίκιο-ανθρακιού (SiC). Μπορούν επίσης να χρησιμοποιηθούν για το υποτυπωμένο σχεδιασμένο και εξαλειπτικό επεξεργασίας των οργανικών υλικών όπως το φωτορυθμιστικό (PR), PMMAHDMS και άλλα υλικά. Επίσης, μπορούν να χρησιμοποιηθούν για την φυσική εξαλείψη μετάλλων όπως τον χάλβο (Ni), τον κρόμιο (Cr) και κεραμικών υλικών και για την θερμοκρασίας δωματίου εξαλείψεων του υλικού ίνδιου φοσφίδιου (InP). Για μερικές εξαλείψεις με υψηλότερες απαιτήσεις διαδικασίας, η ICP RIE εξαλείψεων μας μπορεί επίσης να χρησιμοποιηθεί.

Κύρια Συνδρομή:

1. Υποστήριξη μεγέθους δείγματος: 4, 8, 12 εκ., συμβατή με διάφορα μικρά μεγέθη δειγμάτων, υποστήριξη παραγωγής κατά τη παραγγελία
2. Εμφάνιση RF πλάσματος: επιλογή 300/500/1000 W;
3. Μοριακός κύλινδρας: επιλογή 620/1300 l/s, επιλογή αντιφθορικού συστήματος κυλινδρών;
4. Προηγούμενος κύλινδρας: μηχανικός ελαιοκυλινδρας/ξηρός κύλινδρας επιλογή;
5. Ελεγχός πίεσης: 0 ~1 Torr προαιρετικά; μπορεί επίσης να επιλεγεί κανήνας ρύθμισης ελέγχου πίεσης,
6. Προϊόντα αερίων: μέχρι 9 προϊόντα αερίων μπορούν να εγκαθιστούν ταυτόχρονα; θερμοκρασία: 10 βαθμοί ~ διαμέρισμα θερμοκρασίας/ -30 βαθμοί~ διαμέρισμα θερμοκρασίας/ παρατείνεται η ζώνη θερμοκρασίας,
7. Μπορεί να ρυθμιστεί η επαναφορά ψύξης με λιθιο σύμφωνα με την εφαρμογή;
8. Αφαιρετέα επιβλήτρα για αποφυγή ρύπων;
9. Προαιρετική φόρτωση-κλειδώματος;
10. Πλήρως αυτόματο σύστημα ελέγχου με μία πλήκτρο;

Υλικά που υποστηρίζονται από την RIE:

1. Υλικά με βάση καμία: καμία (Si), διοξείδιο καμίας (SiO2), νιτρίδιο καμίας (SiNx), καρβουριλικό καμίας (SiC)
2. Υλικά III-V: ίνδιο φοσφίδιο (InP), γαλλιοϊνικό (GaAs), γαλλιονιτρίδιο (GaN)
3. Υλικά II-VI: καδμιοτελλούριο (CdTe)
4. Μαγνητικά υλικά/υλικά αλλοιώματος
5. Μεταλλικά υλικά: άλουμινο (AI), χρυσός (Au), τουνγκστένιο (W), τιτάνιο (Ti), τάνταλο (Ta)
6. Οργανικά υλικά: φωτορεζιστ (PR), οργανικό πολυμερές (PMMA/HDMS), org

Εφαρμογές σχετικές με RIE:

1. Εξαγωγή υλικών με βάση τον κόσμο, νανοεικονογραφικά μοτίβα, παράγωγα μοτίβα και μοτίβα φακού;
2. Εντομοποίηση σε δωματιακή θερμοκρασία του υδραργυρίου φοσφίδιου (InP), μορφοποιημένη εντομοποίηση συσκευών βάσει InP στις αισθητικές επικοινωνίες, περιλαμβανομένων των δομών κύματος, των δομών επιστροφικού καυστικού και των δομών ροδιού;
3. Εντομοποίηση υλικών SiC, προσαρμοσμένη για μικροκυματικές συσκευές, συσκευές δυνάμεως κλπ;
4. Φυσική εντομοποίηση με σπατάλη εφαρμόζεται σε ορισμένα μέταλλα, όπως τονικό (Ni), τονικό (Cr), κεραμικές και άλλα υλικά που είναι δύσκολα να εντομωθούν χημικά, και επιτυγχάνεται μορφοποιημένη εντομοποίηση υλικών μέσω φυσικής επιθέσεως;
5. Εντομοποίηση οργανικών υλικών εφαρμόζεται για την εντομοποίηση, καθαρισμό και αφαίρεση οργανικών υλικών όπως φωτορυθμικό (Photo Resist), PMMA, HDMS, Πολυμερές;
6. Εντομοποίηση αποστρώτη για την ανάλυση αποτυχίας χίπ (Failure Analysis-FA);
7. Ενgravινγ των διδιάστατων υλικών: W, Mo διδιάστατα υλικά, γραφένιο;

Αποτελέσματα εφαρμογής:

Διάγραμμα διαμόρφωσης έργου και δομής μηχανήματος

Αντικείμενο	MD150-RIE	MD200-RIE	MD200C-RIE
Μέγεθος Προϊόντος	≤6 ευσταθών	≤8 ευσταθών	≤8 ευσταθών
Πηγή RF δύναμης	0-300W/500W/1000W Συνδιαστική, αυτόματη σύμπτωση
Μοριακός Κύλινδρος	-\/620(Λ\/s)\/1300(Λ\/s)\/Custom			Αντισηπτικό 620(Λ\/s)\/1300(Λ\/s)\/Custom
Συμπυκνωτική μετάβαση	Μηχανική μετάβαση\/ξερή μετάβαση			Ξηρά Αντλία
Πίεση προϊόντος	Ανελεγχόμενος πίεστης\/0-1Torr ελεγχόμενος πίεστης
Τύπος αερίου	H\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/SF6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Custom (Έως και 9 διαδρομές, χωρίς διαβρωτικά και δηλητηριώδη αέρια)			H2\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/F6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Cl2\/BCl3\/HBr (Έως και 9 διαδρομές)
Περιοχή αερίου	0~5sccm\/50sccm\/100sccm\/200sccm\/300sccm\/500sccm\/custom
ΦόρτωσηΚλείδωμα	Ναι/Όχι			Ναι
Δειγματική ελέγχου θερμοκρασίας	10°C~Θερμοκρασία Δωματίου/-30°C~100°C/Προσαρμογή			-30°C~100°C/Προσαρμογή
Υποστήριξη ψύξης με λιθium	Ναι/Όχι			Ναι
Ενδιάμεση στέγαση καβούρντα	Ναι/Όχι			Ναι
Έλεγχος θερμοκρασίας του τοιχώματος	Όχι/Θερμοκρασία Δωματίου~60/120°C			Θερμοκρασία Δωματίου-60/120°C
Σύστημα Ελέγχου	Αυτόματο/Προσαρμογή
Υλικό εκτύπωσης	Σιλικονοβάσεια: Si/SiO2/SiNx··· IV-IV: SiC Φερομαγνητικά υλικά/υλικά αλλοιώσεων Μεταλλικό υλικό: Ni/Cr/Al/Au..... Οργανικό υλικό: PR/PMMA/HDMS/Οργανικό ταινία......			Σιλικονοβάσεια: Si/SiO2/SiNx...... III-V (σημείωση 3): InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI (σημείωση 3): CdTe...... Φερομαγνητικά υλικά/υλικά αλλοιώσεων Μεταλλικό υλικό: Ni/Cr/A1/Au...... Οργανικό υλικό: PR/PMMA/HDMS / οργανική ταινία...

Πραγματικές φωτογραφίες από εργαστήρια και εργοστάσια

Συσκευασία & Παράδοση

Προφίλ Εταιρείας

Η Minder-Hightech είναι αντιπρόσωπος πώλησης και υπηρεσίας στον τομέα εξοπλισμού βιομηχανίας προϊόντων ηλεκτρονικού και πυρηνικού. Από το 2014, η εταιρεία είναι αφιερωμένη να παρέχει στους πελάτες Εξαιρετικές, Εξαρεστές και Μια-Στάση Λύσεις για εξοπλισμό μηχανημάτων.

Συχνές Ερωτήσεις

1. Περί τιμής:
Όλες οι τιμές μας είναι ανταγωνιστικές και διαπραγματεύσιμες. Η τιμή διαφέρει βάσει της συγκεκριμένης ρύθμισης και της πολυπλοκότητας προσαρμογής του συστήματος.

2. Σχετικά με το δείγμα:
Μπορούμε να σας παρέχουμε υπηρεσίες δειγματικής παραγωγής, αλλά ίσως να πρέπει να καταβάλετε μερικά τέλη.

3. Σχετικά με την Πληρωμή:
Μετά την επιβεβαίωση του σχεδίου, πρέπει να μας πληρώσετε προπληρωμή, και η εργοστάσιο θα ξεκινήσει να ετοιμάζει τα προϊόντα. Μετά το ολοκλήρωμα της εξοπλισμού και την πληρωμή του υπολοίπου, θα το αποστείλουμε.

4. Σχετικά με την Παράδοση:
Μετά την ολοκλήρωση της κατασκευής του εξοπλισμού, θα σας στείλουμε το βίντεο αποδοχής και μπορείτε επίσης να έρθετε στον χώρο για να ελέγξετε τον εξοπλισμό.

5. Εγκατάσταση και Ρύθμιση:
Όταν ο εξοπλισμός φτάσει στην εργοστάσιό σας, μπορούμε να αποστείλουμε μηχανικούς για να εγκαταστήσουν και να ρυθμίσουν τον εξοπλισμό. Θα σας προσφέρουμε ξεχωριστή προσφορά για το τέλος αυτής της υπηρεσίας.

6. Σχετικά με την Ασφάλεια:
Το εξαρτηματός μας έχει περίοδο εγγύησης 12 μηνών. Μετά την περίοδο εγγύησης, αν καθετές μέρη είναι κατεστραμμένες και χρειάζεται να αντικατασταθούν, θα φορτίσουμε μόνο την τιμή κόστους.

Αρχική σελίδα

Σχετικά με Εμάς

MH Equipment

Λύση

Χρήστες Εκτός Από την Επιχείρηση

Βίντεο

Επικοινωνία μαζί μας

Σύστημα Ενεργοποιημένης Ιονικής Εξωδείας RIE

Εξαρτητική ιονική επεξεργασία (RIE)

Κύρια Συνδρομή:

Υλικά που υποστηρίζονται από την RIE:

Εφαρμογές σχετικές με RIE:

Περισσότερα Προϊόντα

Μηχάνημα Ενδιάμεσης Κατασκευής Καπακτόρων σε Σειρά MD-FS

Αυτόματο Μηχάνημα Ενδιάμεσης Κατασκευής Καπακτόρων σε Σειρά MD-FDS

Μηχάνημα Ενδιάμεσης Κατασκευής Καπακτόρων σε Σειρά MD-EFS

Μηχανή Συμπεριφοράς Κινδύνων σε Φίλμ MD-EDFS Series

Ερώτημα

Articles

Products

Get In Touch

Σύστημα Ενεργοποιημένης Ιονικής Εξωδείας RIE

Εξαρτητική ιονική επεξεργασία (RIE)

Κύρια Συνδρομή:

Υλικά που υποστηρίζονται από την RIE:

Εφαρμογές σχετικές με RIE:

Περισσότερα Προϊόντα

Ερώτημα

Articles

Products

Get In Touch

ΣΥΝΔΕΘΕΙΤΕ ΜΑΖΙ ΜΑΣ