Εισαγωγή:
Το εξοπλισμός επίστρωσης με μαγνητρονική απόθεση είναι ένα ειδικό εργαστηριακό όργανο επίστρωσης που αναπτύχθηκε από την εταιρεία μας. Ο εξοπλισμός μπορεί να εξοπλιστεί με τροφοδοτικό συνεχούς ρεύματος (DC) και τροφοδοτικό ραδιοσυχνότητας (RF). Η ισχύς κυμαίνεται από 500 W έως 1000 W. Σε σύγκριση με τη συμβατική πλασματική απόθεση, η μαγνητρονική απόθεση προσφέρει πλεονεκτήματα όπως υψηλή ενέργεια, υψηλή ταχύτητα, υψηλό ρυθμό απόθεσης και μικρή αύξηση της θερμοκρασίας του δείγματος. Το μαγνητρονικό στόχο είναι εφοδιασμένο με υδρόψυκτο ενδιάμεσο στρώμα. Το ψυκτικό νερού απομακρύνει αποτελεσματικά τη θερμότητα και αποτρέπει τη συσσώρευση θερμότητας στην επιφάνεια του στόχου, επιτρέποντας έτσι στη μαγνητρονική επίστρωση να λειτουργεί σταθερά για μεγάλο χρονικό διάστημα. Μετά από συμπαγή σχεδιασμό, επιτεύχθηκε η ισορροπία μεταξύ όγκου και απόδοσης, ενώ η εμφάνιση είναι ελκυστική και οι λειτουργίες εκτενείς. Το σύνολο της μηχανής ελέγχεται μέσω οθόνης αφής και ενσωματωμένου προγράμματος επίστρωσης με ένα κουμπί, κάνοντάς την εύκολη στη χρήση και ιδανική για την παρασκευή λεπτών υμενίων στο εργαστήριο.
Εφαρμογή:
Μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την παρασκευή μονοστρωματικών ή πολυστρωματικών λεπτών φιλμ φερροηλεκτρικών υλικών, αγώγιμων φιλμ, φιλμ κραμάτων, φιλμ ημιαγωγών, κεραμικών φιλμ, διηλεκτρικών φιλμ, οπτικών φιλμ, κ.λπ.