Γρήγορη Θερμική Επεξεργασία Σύστημα RTP για επιπλέον παραγωγή διοδων SlC LED και MEMS , China Γρήγορη Θερμική Επεξεργασία Σύστημα RTP για επιπλέον παραγωγή διοδων SlC LED και MEMS Manufacturers, Suppliers, Factory

Περιγραφή Προϊόντος

Ταχεία Θερμική Επεξεργασία

Παρέχει αξιόπιστη εξοπλισμό RTP για σύνθετους ημιαγωγούς, SlC, LED και MEMS

Εφαρμογές στη βιομηχανία

* Αύξηση διοξειδίου, νιτρίδου
* Γρήγορη σύμφυση οχμικού επαφής
* Αναλοίωση σύμφυσης μετάλλευμα
* Αναλοίωση αναπαραγωγής
* Προ cess γαλλίου αρσενιδίου
* Άλλες διαδικασίες γρήγορης θερμικής μεταχείρισης

Rapid Thermal Processing Desktop RTP System for compound semiconductors SlC LED and MEMS details

Πλεονεκτήματα του προϊόντος

1. Η οικογένεια διαδικασιών καλύπτει 200-1250 ℃
2. Ενισχυμένο σύστημα διαχείρισης θερμοκηλίδων
3. Ειδικός RTP αλγόριθμος
4. Επαγγελματικό εργαλείο καλωβόλησης TC Wafer

Χαρακτηριστικό

* Επιθερμανση με φωτιά λαμπτήρας πλάγιος χρωματικότητας, ψύξη με χρήση αερίου ψύξης;
* Ελέγχος της θερμοκρασίας PlD για τη δύναμη του φωτιού, που μπορεί να ελέγχει με ακρίβεια την αύξηση θερμοκρασίας, εξασφαλίζοντας καλή αναπαραγωγικότητα και ομοιογένεια θερμοκρασίας;
* Το είσοδος των υλικών έχει θέσει στην επιφάνεια WAFER για να αποφεύγεται η παραγωγή κρύου σημείου κατά τη διαδικασία αναλλοίωσης και να εξασφαλίζεται καλή ομοιογένεια θερμοκρασίας του προϊόντος;
* Μπορούν να επιλεγονται και οι δύο μέθοδοι μεταχείρισης, με ατμόσφαιρα και με κενό, με προεπεξεργασία και καθαρισμό του σώματος;
* Δύο συνόλα διαδικασιακών αερίων είναι πρότυπα και μπορούν να επεκταθούν μέχρι τα προς 6 συνόλα διαδικασιακών αερίων;
* Η μέγιστη μέγεθος ενός μετρήσιμου δείγματος μονοκρύσταλλινης βαρύτητας είναι 12inches(300x300MM);
* Οι τρεις μέτριες ασφαλείας μέτριες ανοιχτής προστασίας ασφαλούς θερμοκρασίας, άδειας προστασίας ελέγχου θερμοκρασίας και ασφαλούς προστασίας επισφαλούς στάσης εξασφαλίζονται πλήρως για να εξασφαλίσουν την ασφάλεια του όργανου;

Συμπτωματολογία καμπύλων βαθμών 20

Rapid Thermal Processing Desktop RTP System for compound semiconductors SlC LED and MEMS manufacture

20 καμπύλες ελέγχου θερμοκρασίας σε 850 ℃

Rapid Thermal Processing Desktop RTP System for compound semiconductors SlC LED and MEMS factory

Συμπτωματολογία καμπύλων μέσης θερμοκρασίας 20

έλεγχος θερμοκρασίας 1250 ℃

Rapid Thermal Processing Desktop RTP System for compound semiconductors SlC LED and MEMS supplier

Έλεγχος θερμοκρασίας RTP 1000 ℃ διεργασίας

διεργασία 960 ℃, ελεγχόμενη από ινφρακόκκινο πυρόμετρο

Δεδομένα διεργασίας LED

Το RTD Wafer είναι ένας αισθητήρας θερμοκρασίας που χρησιμοποιεί ειδικές επεξεργασιακές τεχνικές για να ενσωματώσει αισθητήρες θερμοκρασίας (RTDs) σε συγκεκριμένες θέσεις στην επιφάνεια ενός φλιβού, επιτρέποντας τη μετρήσεις της θερμοκρασίας της επιφάνειας του φλιβού σε πραγματικό χρόνο.
Πραγματικές μετρήσεις θερμοκρασίας σε συγκεκριμένες θέσεις του φλιβού και η συνολική κατανομή της θερμοκρασίας του φλιβού μπορούν να πραγματοποιηθούν μέσω RTD Wafer. Μπορεί επίσης να χρησιμοποιηθεί για συνεχή επίβλεψη προσωρινών αλλαγών θερμοκρασίας στους φλιβούς κατά τη διάρκεια της διαδικασίας θερμικής αντιμετώπισης.

Εμφάνιση εργοστασίου

Προφίλ Εταιρείας

16 χρόνια εμπειρίας στην εξαγωγή εξοπλισμών! Μπορούμε να σας προσφέρουμε ολοκληρωμένη λύση για διαδικασίες και εξοπλισμού πρώτων/δευτερεύουσας φάσης ηλεκτρονικών σημιδιαφθορών!