 
  

| έργο    | Ειδικές προδιαγραφές  | παρατηρήσεις    | ||
| 1 | Γενική Περιγραφή του Συσκευασίου | Όνομα εξοπλισμού: Πλήρως αυτόματη μηχανή για ομοιόδεικτη χρήση κόλλης  | ||
| Μοντέλο εξοπλισμού: MD-2C2D6  | ||||
| Προδιαγραφές επεξεργασίας κυκλών: συμβατές με κανονικούς κύκλους 4/6-δυναριών  | ||||
| Ροή επεξεργασίας για ομοιόδεικτη χρήση κόλλης: Κοψιμό καλάθι → κεντροποίηση → ομοιόδεικτη χρήση κόλλης (ραντσάρισμα → ομοιόδεικτη χρήση κόλλης → αφαίρεση άκρων, πίσω  πλύσιμο) → θερμή πλάκα → κρύα πλάκα → τοποθέτηση σε καλάθι Ροή επεξεργασίας ανάπτυξης: Κοψιμό καλάθι → κεντροποίηση → ανάπτυξη (λύση ανάπτυξης → αποιονισμένο νερό, πίσω πλύσιμο → ξερασμός με αζώτιο) → θερμή πλάκα → κρύα πλάκα → τοποθέτηση σε καλάθι | ||||
| Συνολικές διαστάσεις (προσαρμοστικές): 2100mm (Π) * 1800mm (Β) * 2100mm (Υ)  | ||||
| Διαστάσεις χημικού καταστήματος (προσαρμοστικές): 1700(Π) * 800(Β) * 1600mm (Υ)  | ||||
| Συνολικό βάρος (προσεγγίζοντας): 1000kg  | ||||
| Ύψος εργαστηριακής μπάνκας: 1020 ± 50mm  | ||||
| 2 | Ενότητα κασέτας  | Ποσότητα: 2  | ||
| Συμβατή μέγεθος: 4/6 ίντσες  | ||||
| Ανίχνευση κασέτας: ανίχνευση με μικροαντιστάτη  | ||||
| Έξυπνη ανίχνευση εξωτερικής: Ναι, αντανακλαστικός αισθητήρας  | ||||
| 3 | ρομπότ | Ποσότητα: 1  | ||
| Τύπος: Ρομπότ διπλών χεριών με κενού παραλλαγής της τράπεζας  | ||||
| Βαθμός ελευθερίας: 4-άξονας (R1, R2, Z, T)  | ||||
| Υλικό δαχτυλίων: κεραμικό  | ||||
| Μέθοδος κατάκρεμσης υποβάθρου: μέθοδος εισαγωγής με διακανονισμό  | ||||
| Συνάρτηση χαρτογράφησης: Ναι  | ||||
| Ακρίβεια τοποθέτησης: ± 0,1mm  | ||||
| 4 | Ενότητα κεντρικής  | Ποσότητα: 1 σετ  | Προαιρετική αισθητική σύμφωνηση  | |
| Μέθοδος σύμφωνης: μηχανική σύμφωνη  | ||||
| Ακρίβεια κεντρικής: ± 0,2mm  | ||||
| 5 | Ομοιόμορφη ενότητα κόλλης | Ποσότητα: 2 σύνολα (τα παρακάτω είναι διαμορφώσεις για κάθε μονάδα)  | ||
| Ταχύτητα περιστροφής αξόνα: -5000rpm~5000rpm  | φορτικός καταστροφεάς  | |||
| Ακρίβεια περιστροφής αντλίας: ± 1γ.δ. (50γ.δ.~5000γ.δ.)  | ||||
| Ελάχιστος συντονισμός ταχύτητας περιστροφής αντλίας: 1γ.δ.  | ||||
| Μέγιστη επιτάχυνση περιστροφής αντλίας: 20000γ.δ./δευτ.  | φορτικός καταστροφεάς  | |||
| Ροπή καθύσματος: 1 σύνολο  | ||||
| Διαδρομή φωτορεζιστ: 2 διαδρομές  | ||||
| Διάμετρος στομιού φωτορεζιστ: 2,5mm  | ||||
| Θερμοαπομακρυντικό φωτορεζιστ: 23 ± 0,5 ℃  | επιλογικό  | |||
| Υδατοπαροχή με στόμιο: Ναι  | ||||
| RRC: Ναι  | ||||
| Buffer: Ναι, 200ml  | ||||
| Μέθοδος χρήσης κόλλας: επιλογή κεντρικής ρίψης και σάρωσης  | ||||
| Χεριά για αφαίρεση άκρων: 1 σύνολο  | ||||
| Διάμετρος στομιών αφαίρεσης άκρων: 0.2mm  | ||||
| Παρακολούθηση ροής υγρού αφαίρεσης άκρων: φλογομέτρο με float  | ||||
| Έκταση ροής υγρού αφαίρεσης άκρων: 5-50ml/λεπτό  | ||||
| Δικτύωμα αντιστρόφου πλύσιμου: 2 τρόποι (4/6 inch κάθε με 1 κανάλι)  | ||||
| Παρακολούθηση ροής αντιστρόφου πλύσιμου: φλογομέτρο με float  | ||||
| Έκταση ροής υγρού αντιστρόφου πλύσιμου: 20-200ml/λεπτό  | ||||
| Μέθοδος κατάκρεμψης χίπ: κατάκρεμψη με μικρό εμφύλιο κενού  | ||||
| Σήμα πίεσης κενού: ψηφιακός αισθητήρας πίεσης κενού  | ||||
| Υλικό χάρκας: PPS  | ||||
| Υλικό κυπέλλου: PP  | ||||
| Παρακολούθηση εξάτμισης κυπέλλου: ψηφιακός αισθητήρας πίεσης  | ||||
| 6 | Μονάδα ανάπτυξης | Εξοχλίδα: ναι  | ||
| Ποσότητα: 2 σύνολα (τα παρακάτω είναι διαμορφώσεις για κάθε μονάδα)  | ||||
| Ταχύτητα περιστροφής αξόνα: -5000rpm~5000rpm  | φορτικός καταστροφεάς  | |||
| Ακρίβεια περιστροφής αντλίας: ± 1γ.δ. (50γ.δ.~5000γ.δ.)  | ||||
| Ελάχιστος συντονισμός ταχύτητας περιστροφής αντλίας: 1γ.δ.  | ||||
| Μέγιστη επιτάχυνση περιστροφής αντλίας: 20000γ.δ./δευτ.  | φορτικός καταστροφεάς  | |||
| Βραχίονας ανάπτυξης: 1 σύνολο  | ||||
| Δικτύωμα ανάπτυξης: 2-δρόμος (φανερά/στηλοειδής στόμιο)  | ||||
| Φιλτράρισμα αναπτυκτικού: 0.2um  | ||||
| Έλεγχος θερμοκρασίας αναπτυκτικού: 23 ± 0.5 ℃  | επιλογικό  | |||
| Γamasma λύσης ροής εύρος: 100~1000ml/λεπτό  | ||||
| Κινητικός τρόπος του χεριού γαμασμού: σταθερό σημείο ή σάρωση  | ||||
| Χέρι γαμασμού: 1 σύνολο  | ||||
| Διαδρομή διαιωνιστικού νερού: 1 κυκλοφορία  | ||||
| Διάμετρος στομιού διαιωνιστικού νερού: 4mm (εσωτερικός διάμετρος)  | ||||
| Ροή διαιωνιστικού νερού εύρος: 100~1000ml/λεπτό  | ||||
| Διαδρομή ξηρανσης με αζώτιο: 1 κυκλοφορία  | ||||
| Διάμετρος στομιού αζωτίου: 4mm (εσωτερικός διάμετρος)  | ||||
| Ροή αζωτίου εύρος: 5-50L/λεπτό  | ||||
| Παρακολούθηση ροής γαμασμού, διαιωνιστικού νερού, αζωτίου: ροέμετρος με φλογέρα  | ||||
| Δικτύωμα αντιστρόφου πλύσιμου: 2 τρόποι (4/6 inch κάθε με 1 κανάλι)  | ||||
| Παρακολούθηση ροής αντιστρόφου πλύσιμου: φλογομέτρο με float  | ||||
| Έκταση ροής υγρού αντιστρόφου πλύσιμου: 20-200ml/λεπτό  | ||||
| Μέθοδος κατάκρεμψης χίπ: κατάκρεμψη με μικρό εμφύλιο κενού  | ||||
| Σήμα πίεσης κενού: ψηφιακός αισθητήρας πίεσης κενού  | ||||
| Υλικό χάρκας: PPS  | ||||
| Υλικό χάρκας: PPS  | ||||
| Υλικό κυπέλλου: PP  | ||||
| Παρακολούθηση εξάτμισης κυπέλλου: ψηφιακός αισθητήρας πίεσης  | ||||
| 7 | Μονάδα κολλώσεως | Ποσότητα: 2  | επιλογικό  | |
| Εμφάνιση θερμοκρασίας: δωμάτιο~180 ℃  | ||||
| Ομοιότητα θερμοκρασίας: Δωμάτιο~120 ℃± 0.75 ℃  120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ (Αφαίρεση 10mm από την άκρη, εκτός από το οριακό τρύπανο ejector pin) | ||||
| Ελάχιστο ποσό συντονισμού: 0.1 ° C  | ||||
| Μέθοδος ελέγχου θερμοκρασίας: συντονισμός PID  | ||||
| Περιοχή ύψους PIN: 0-20mm  | ||||
| Υλικό PIN: σώμα SUS304, καπάκι PIN από PI  | ||||
| Διάστημα ψησίματος: 0.2mm  | ||||
| Σήμα ειδοποίησης υπερθερμανσίας: ειδοποίηση θετικής και αρνητικής απόκλισης  | ||||
| Μέθοδος παροχής: Βουβούρισμα, 10 ± 2ml/ min  | ||||
| Κενότατη λειτουργία δωματίου: -5-20KPa  | ||||
| 8 | Μονάδα καυτήρα | Ποσότητα: 10  | ||
| Επιτρεπόμενος όροφος θερμοκρασίας: δωμάτιος θερμοκρασίας~250 ℃  | ||||
| Ομοιότητα θερμοκρασίας: Δωμάτιο~120 ℃± 0.75 ℃  120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃ (Αφαίρεση 10mm από την άκρη, εκτός από το οριακό τρύπανο ejector pin) | ||||
| Ελάχιστο ποσό συνταγματικής τροποποίησης: 0.1 ℃  | ||||
| Μέθοδος ελέγχου θερμοκρασίας: συντονισμός PID  | ||||
| Περιοχή ύψους PIN: 0-20mm  | ||||
| Υλικό PIN: σώμα SUS304, καπάκι PIN από PI  | ||||
| Διάστημα ψησίματος: 0.2mm  | ||||
| Σήμα ειδοποίησης υπερθερμανσίας: ειδοποίηση θετικής και αρνητικής απόκλισης  | ||||
| 9 | Μονάδα ψυγείου  | Ποσότητα: 2  | ||
| Επιτρεπόμενος όροφος θερμοκρασίας: 15-25 ℃  | ||||
| Μέθοδος ψύξης: ψύξη με κυκλική μπάμπα σταθερής θερμοκρασίας  | ||||
| 10 | Εφοδιασμός Χημικών | Αποθήκευση Photoresist: πνευματική κολλώδης μπάμπα * 4 σύνολα (Προαιρετική δεξαμενή ή ηλεκτρική κολλώδης μπάμπα)  | ||
| Όγκος εκχύσεως κόλλας: μέγιστα 12ml ανά σεσιόν, ακρίβεια ± 0.2ml  | ||||
| Αφαίρεση άκρων/πίσω μπάνιο/RRC εφοδιασμός: δεξαμενή πίεσης 18L * 2 (αυτόματη επανάπληρωση)  | ||||
| Παρακολούθηση επιπέδου υγρού για αφαίρεση άκρων/πίσω μπάνιο/RRC: φωτοηλεκτρικός αισθητήρας  | ||||
| Παρακολούθηση επιπέδου υγρού Photoresist: φωτοηλεκτρικός αισθητήρας  | ||||
| Έκριμα ομοιόμορφου κολλώδους: δεξαμενή έκριμα 10L  | ||||
| Εφοδιασμός αναπτυξιακού: δεξαμενή πίεσης 18L * 4 (Αποθηκευμένη στο ταμείο χημικών έξω από τη μηχανή)  | ||||
| Εφοδιασμός αποιονισμένου νερού: άμεσος εφοδιασμός από την εγκατάσταση  | ||||
| Ανάπτυξη επιτήρησης επιπέδου υγρών: φωτοελεκτρικός αισθητήρας  | ||||
| Έκριμα ανάπτυξης: έκριμα βιομηχανίας  | ||||
| Παροχή τακιφιέρ: πιεζοψύχρα 10L * 1, πιεζοψύχρα 2L * 1  | ||||
| Επιτήρηση επιπέδου τακιφιέρ: φωτοελεκτρικός αισθητήρας  | ||||
| 11 | σύστημα Ελέγχου | Μέθοδος ελέγχου: PLC  | ||
| Διεπαφή ανθρώπου-μηχανής: οθόνη αγγιασμού 17 ίντσες  | ||||
| Ανεξάρτητος παροχής δύναμης (UPS): Ναι  | ||||
| Ορισμός κωδικών κρυπτογράφησης για τους λειτουργούς συσκευών, τεχνικούς, διαχειριστές  | ||||
| Τύπος σήματος φωτιστικής πύργος: κόκκινο, κίτρινο, πράσινο 3 χρώματα  | ||||
| 12 | Δείκτες αξιοπιστίας συστήματος  | Uptime: ≥95%  | ||
| MTBF: ≥ 500h  | ||||
| MTTR: ≤ 4h  | ||||
| MTBA: ≥24h  | ||||
| Συντελεστής κατασπασμού: ≤ 1/10000  | ||||
| 13 | Άλλες λειτουργίες  | Κίτρινο φως: 4 σύνολα (θέση: πάνω από τη μονάδα αναμίξης κόλλης και ανάπτυξης)  | ||
| THC: Ναι, 22.5 ℃± 0.5 ℃, 45% ± 2%  | επιλογικό  | |||
| FFU: Τάξη 100, 5 σύνολα (προϊόν μονάδας και περιοχή ROBOT)  | ||||


Πνευματικά δικαιώματα © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Με επιφύλαξη παντός δικαιώματος